Разработка аксиального установочного устройства - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов

Одним из основных параметров получаемой пленки является равномерность ее толщины по площади подложки. Поэтому для повышения равномерности пленки применяются специальные меры.

Наиболее простым способом снижения неравномерности распределения пленки по толщине является увеличение расстояния между подложкой и мишенью.

Однако это уменьшает скорость конденсации пленки, что отрицательно сказывается на ее свойствах. Кроме того, максимально возможное расстояние между подложкой и мишенью ограничено размерами рабочей камеры установки. На практике для повышения равномерности применяют систему, обеспечивающую вращение подложки. Для малогабаритных изделий возможно обеспечение вращения в двух плоскостях. Однако в случае кислородного бака представляется реализуемым вращение относительно только одной оси, совпадающей с осью вакуумной камеры.

Рис. 19. Крепление кислородного бака в вакуумной камере.

Перед нанесением покрытия кислородный бак помещается внутрь вакуумной камеры и устанавливается на опоры, позволяющие ему вращаться вдоль главной оси. Далее бак крепится винтами к валу аксиального установочного устройства, имеющего электрический привод. Электродвигатель размещен с внешней стороны крышки. Движение вводится в камеру через высоковакуумные вводы. В ходе проведения технологического процесса нанесения антидеструкционного покрытия кислородный бак вращается со скоростью 15 оборотов в минуту.

Похожие статьи




Разработка аксиального установочного устройства - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов

Предыдущая | Следующая