Магнетронные системы с плоским катодом, МРС со сбалансированным магнитным полем - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов
Дальнейшее развитие МРС связано с переходом к системам с плоскими и коническими катодами. Первые попытки получить МРС с плоским катодом были предприняты для техники распыления в аномальном тлеющем разряде, когда создавали поперечное магнитное поле с прямыми силовыми линиями.
Существенным недостатком такой системы является то, что азимутальная неоднородность магнитного поля и незамкнутость поперечного дрейфа заряженных частиц, которые уходили на края электродов, затрудняло поддержание разряда при низких давлениях и делало его неравномерным.
Для повышения эффективности таких систем на плоскопараллельный промежуток накладывалось осесимметричное квадрупольное магнитное поле, имеющее радиальную составляющую. Оно создавало условие для азимутального дрейфа электронов вдоль поверхности электродов.
В работе [10] повысили эффективность генерации радиального магнитного поля, поместив катушки за плоскими электродами. Все эти методы делают конструкции МРС громоздкими и в промышленной технологии они не применяются.
МРС со сбалансированным магнитным полем
Дальнейшее развитие [11] МРС привело к созданию конструкций, в которых, для повышения эффективности, магнитная система имела магнитопровод, благодаря которому силовые линии магнитного поля имели замкнутую арочную форму. В таком магнитном поле поддерживался магнетронный разряд с замкнутым азимутальным дрейфом электронов.
В последующем катушки были заменены постоянными магнитами, что упростило систему МРС.
МРС с такой системой создания магнитного поля (рис.8 а), в которых силовые линии дважды пересекают катод-мишень, выходя из одного полюса и входя в другой, проходя только вблизи поверхности катода и не рассеиваясь в стороны, были названы сбалансированными.
В таких МРС плазменная область разряда прижата к поверхности катода (высота не превышает 3-6 см). При размещении подложки вне этой зоны, чтобы не затруднять поддержание разряда, до нее доходит мало заряженных частиц, в основном распыленные атомы мишени, из которых и образуется пленка.
Рис. 8. МРС с плоской мишенью и различными конфигурациями магнитного поля
А - сбалансированная магнитная система; б - несбалансированная с вертикальной составляющей поля, направленной к подложке;
В - несбалансированная с рассеиванием магнитного поля в сторону от подложки.
Плотность тока ионов, главным образом Ar+, идущих к подложке, ниже 1 мА/см2. Этого недостаточно для ионной очистки поверхности и существенного воздействия на рост пленок при напряжении смещения (Uсм) до - 100 В. При бульших Uсм появляются дефекты в кристаллической структуре, возрастают внутренние напряжения в пленке и концентрация поглощенного Ar. Поэтому МРС со сбалансированным полем получили широкое применение в технологиях нанесения покрытий, где необходимы щадящие условия для изделий.
Похожие статьи
-
Цилиндрические коаксиальные магнетронные системы Первоначально для распыления различных материалов в основном использовались цилиндрические коаксиальные...
-
Термин "физическое газофазное осаждение" описывает два основных способа нанесения покрытий: испарение и распыление. Первоначально метод ФГО применялся...
-
Вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий В настоящее время существует множество различных способов нанесения покрытий. Наиболее...
-
Цель работы - разработка оборудования для нанесения равномерных антидеструкционных покрытий на подложки большой площади (топливные и кислородные баки...
-
Оптическая система - Применение ионного микроскопа
Схема колонны СГИМ Для фокусировки и отклонения ионного пучка используется электростатическая оптическая схема, аналогичная системам со сфокусированным...
-
Аргон имеет низкое значение энтальпии, что делает его малопригодным для использования в качестве однокомпонентной плазмообразующей среды. Высокая...
-
Одна из основных тенденций современной микроэлектроники - увеличение степени интеграции, объединение на одном кристалле или в одном корпусе максимального...
-
Керамико-полимерные материалы на стеклотканевой или полиимидной основах применяются для изолирования посадочных поверхностей полупроводниковых приборов...
-
Согласно международной классификации поврежденные трубопроводы подвергаются восстановлению путем нанесения на внутреннюю поверхность стенки трубопровода:...
-
Общие вопросы При конструировании замедляющей системы обычно приходиться решать две основные задачи: 1. Выбор конструкции замедляющей системы ( диаметр и...
-
Рассмотрим конкретные задачи, которые роботы решают в настоящее время на промышленных предприятиях. Их можно разделить на три основных категории :...
-
Магнитный контроль - Неразрушающий контроль
Магнитный метод основан на использовании явления возникновения на поверхностях намагниченной детали в местах расположения дефектов магнитных полей...
-
Устройство и принцип работы основных аппаратов - Особенности переработки нефтепродуктов
Электродегидратор Электродегидратор 2ЭГ-160-2 представляет собой горизонтальный цилиндрический аппарат емкостью 200 м3, внутренним диаметром 3400 мм и...
-
Электровакуумный прибор, работа которого основана на взаимодействии электронного потока и бегущей волны, впервые предложил и запатентовал американский...
-
Электронно-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных...
-
Основана на использовании импульсов дугового разряда. Предложена советским специалистом М. М. Писаревским в 1948. Этот метод стал внедряться в...
-
Для определения коэффициента надо знать значение частной производной. Эти значения можно получить путем графического дифференцирования характеристик...
-
Основными признаками загрязнения топливной системы являются: - Затрудненный запуск двигателя; - Неустойчивая работа двигателя на холостом ходу и...
-
Теплопроводящая трубка представляет собой полую медную трубку, которая в вакуумной среде заполняется жидкостью и запаивается с обеих сторон. Эта жидкость...
-
Нанесение металлических покрытий, Никелирование - Технологические советы
Химическое покрытие одних металлов другими подкупает простотой технологического процесса. Действительно, если, например, необходимо химически...
-
Функциональная схема системы автоматизации приведена на рис. Э1. В дополнение к существующим подсистемам включены следующие: АСК концентрации входящей...
-
Теплоизоляция системы канализации - Современные методы прокладки канализационных труб
Чтобы труба не замерзла зимой, необходимо правильно определить глубину промерзания грунта (зависит от климата в данном регионе, а также от характера...
-
Системы автоматического регулирования, контроля и управления
Функциональные схемы систем автоматического регулирования, контроля и управления Под управлением понимают такую организацию процесса, которая...
-
Формирование интерференционного многослойного покрытия осуществлялось с помощью установки вакуумного напыления ВУ-1А (рисунок 4), оснащенной источником...
-
1.2.4.1 Техника и технология закачки газа в пласт Разработка Карачаганакского месторождения ведется с процессом рециркуляции газа в газоконденсатную...
-
Проводники, Магнитные материалы - Электротехника. Электротехническое материаловедение
Задача 1 . Сопоставьте размеры и вес медной (=58 м/(Оммм2), D =8,9 г/см3) проволоки сечением S М Мм 2 и биметаллической (сталь (=7,7 м/(Оммм2), D =8,9...
-
Аппараты процесса кристаллизации - Технология конструкционных материалов
Для получения продуктов в виде тонких пластинок или чешуек используют непрерывно действующие ленточные, вальцевые и дисковые кристаллизаторы, где...
-
НАЗНАЧЕНИЕ, УСТРОЙСТВО, РАБОТА - Тормозная система с пневматическим приводом
Назначение системы тормозов для снижения скорости и быстрой остановки автомобиля, а так же для удержания его на месте во время стоянки. Устройство...
-
Особенности проектирования систем управления ГПС - Виды автоматизированных производств
Состав и структура ГПС определяются содержанием выполняемого производственного процесса, который формируется на основе: конструктивно-технологических...
-
Изготовление магнитных сердечников из ферритов - Изготовление пластинчатых магнитопроводов
Ферриты - это металлокерамические материалы, представляющие собой химические соединения окиси железа с окислами других металлов (Mn, Ni, Ba, Co, Mg, Li,...
-
Технологическая схема системы УЛФ - Борьба с потерями на объектах нефтяной отрасли
Технологическая схема системы улавливания легких фракций углеводородов предусматривает сбор и компримирование газа, поступающего из резервуаров (рис.2)...
-
Опыт функционирования систем обслуживания производства на примере США
Совершенствование технологического оборудования в промышленности стран с развитой рыночной экономикой резко сократило время, затрачиваемое на...
-
В ходе данной работы необходимо установить свойства системы автоматического управления, определить ее временные и частотные характеристики, а также...
-
Системный подход позволяет найти оптимальное, в широком смысле, решение задачи Проектирования за счет всестороннего, целостного рассмотрения, как...
-
Ручная дуговая сварка металлическими электродами с покрытием Качество швов зависит не только от техники сварки, но и от других факторов, таких как состав...
-
Проектируемая система адаптивного управления представляет собой комплексную систему автоматического регулирования, состоящую из двух подсистем,...
-
Перечень рекомендуемых элементов систем качества приведен в таблице, приложенной к стандарту ИСО 9000 - 1. В эту таблицу включены следующие элементы: 1....
-
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О НАДЕЖНОСТИ АВТОМАТИЧЕСКИХ СИСТЕМ - Надежность систем автоматизации
Для оценки поведения автоматической системы в эксплуата-ционных условиях используется понятие надежности системы. При эксплуатации автоматическая система...
-
Введение - Электрическая структурная схема микропроцессорной системы
Характерная черта научно-технического прогресса, определяющего дальнейший мощный подъем общественно-технического производства: широкое внедрение...
-
Автоматическая система охранной сигнализации широко используется при оснащении различных типов помещений (жилые, производственные, складские, учреждения...
Магнетронные системы с плоским катодом, МРС со сбалансированным магнитным полем - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов