МРС с устройствами для дополнительной ионизации газа - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов
Часто для получения пленок высокой чистоты, без примеси газа, равномерного запыления глубоких канавок и отверстий с субмикронными размерами, необходимо обеспечить работу МРС при пониженном давлении рабочего газа.
Также пониженное давление необходимо в тех случаях, когда надо использовать эффекты ионной бомбардировки при осаждении пленок и покрытий, при этом надо увеличить концентрацию ионов в плазме около подложки, соответственно, повысить коэффициент ионизации газа и распыленного вещества.
В этих случаях применяются дополнительные устройства для ионизации газа.
Самый простой способ дополнительной ионизации заключается во введении вспомогательного накаленного катода, эмитирующего электроны в промежуток между мишенью и подложкой.
Но поскольку накаленные катоды нельзя эксплуатировать в среде реакционных газов, а также из-за сильного нагрева подложек тепловым излучением накаленных катодов, более предпочтительно применять для ионизации газа ненакаливаемые элементы и, в первую очередь, ВЧ и СВЧ устройства.
Наибольшее распространение получили ВЧ системы с индуктором (магнетронные системы с индукционной плазмой), охватывающим пространство между мишенью магнетрона и подложкой (рис.11). Частота питания индуктора составляет единицы-десятки мегагерц.
В системах данного типа достигнута высокая степень ионизации газовых и распыленных частиц, и существенно снижено рабочее давление плазмообразующего газа. В МРС с индукционным ионизатором используют как немодулированное ВЧ, так и импульсное или низкочастотное напряжение на мишень магнетрона и подложку.
![мрс с дополнительной вч ионизацией](/images/image011-2548.png)
Рис. 11. МРС с дополнительной ВЧ ионизацией
Применение импульсной модуляции позволяет снизить тепловую нагрузку на подложку, повысить равномерность распределения газа в системе, поднять электронную температуру в плазме индукционного разряда и увеличить ионный ток на подложку. СВЧ разряд с электронным циклотронным резонансом может существовать при весьма низких давлениях (< 0,1 Па), поэтому он также используется для дополнительной ионизации газов МРС.
Похожие статьи
-
Вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий В настоящее время существует множество различных способов нанесения покрытий. Наиболее...
-
Дальнейшее развитие МРС связано с переходом к системам с плоскими и коническими катодами. Первые попытки получить МРС с плоским катодом были предприняты...
-
Описанные выше МРС с несбалансированными магнетронами имеют одну мишень, что приводит к пространственной неоднородности потока распыленного материала....
-
Нанесение покрытий с повышенной твердостью и износоустойчивостью на плоские подложки, а также на другие изделия (сверла, хирургический инструмент и т....
-
Термин "физическое газофазное осаждение" описывает два основных способа нанесения покрытий: испарение и распыление. Первоначально метод ФГО применялся...
-
Цилиндрические коаксиальные магнетронные системы Первоначально для распыления различных материалов в основном использовались цилиндрические коаксиальные...
-
Цель работы - разработка оборудования для нанесения равномерных антидеструкционных покрытий на подложки большой площади (топливные и кислородные баки...
-
В зависимости от конструкции устройства в качестве теплостока может быть использован специальный радиатор, шасси или корпус устройства. Во всех случаях...
-
Теплопроводящая трубка представляет собой полую медную трубку, которая в вакуумной среде заполняется жидкостью и запаивается с обеих сторон. Эта жидкость...
-
Керамико-полимерные материалы на стеклотканевой или полиимидной основах применяются для изолирования посадочных поверхностей полупроводниковых приборов...
-
Стальной аппарат с мешалкой. Он состоит из корпуса и перемешивающего устройства с приводом. Корпус! включает в себя: цилиндрическую обечайку с приварным...
-
Способ охлаждения Для отвода тепла из охлаждаемых камер холодильника используют три различные системы: непосредственное, рассольное и воздушное...
-
Устройство и принцип работы основных аппаратов - Особенности переработки нефтепродуктов
Электродегидратор Электродегидратор 2ЭГ-160-2 представляет собой горизонтальный цилиндрический аппарат емкостью 200 м3, внутренним диаметром 3400 мм и...
-
Актуальность и современное состояние проблемы Теплопроводящий охлаждающий агрегат электронный Основными тенденциями электронных средств в...
-
Одна из основных тенденций современной микроэлектроники - увеличение степени интеграции, объединение на одном кристалле или в одном корпусе максимального...
-
Расчет толщины стенок (корпус, крышка, днище, рубашка) 1. Расчетные параметры: Расчетная температура стенок (1) Расчетное давление: А) внутри аппарата...
-
Основными признаками загрязнения топливной системы являются: - Затрудненный запуск двигателя; - Неустойчивая работа двигателя на холостом ходу и...
-
Hewlett Packard намеревается применить для охлаждения интегральных схем технологии, разработанные для струйных принтеров. Эта разработка позволит...
-
Обоснование выбора теплообменника В нефтеперерабатывающей, нефтехимической, химической, газовой и других отраслях промышленности наибольшее...
-
Плазменная технология - молодая отрасль промышленности, интенсивное ее развитие началось в 50-х годах нашего столетия и бурно продолжается в разных...
-
Общие сведения, Назначение и характеристики аппаратов - Проектирование перемешивающего устройства
Назначение и характеристики аппаратов Химические аппараты предназначены для проведения различных технологических процессов в химической, нефтехимической,...
-
Опрокидывающийся пищеварочный котел КПЭ-60 (рис. 6) состоит из варочного сосуда 1 и наружного корпуса 2, на съемном днище, которого смонтированы три тэна...
-
В процессах нефти - и газопереработки для обеспечения необходимой температуры в аппаратах требуется подводить или отводить тепло. Для этого на...
-
Охлажденный автоматика хладагент Для улучшения работы холодильной установки предлагаю подобрать дополнительное оборудование. Выбираю следующее...
-
Контроль калибрами - Средства для измерения и контроля линейных размеров
Калибры - это тело или устройство, предназначенные для проверки соответствия размеров изделий или их конфигурации установленным допуском. К числу...
-
Сварочный аппарат Малыш своими руками - Самодельные сварочные аппараты
Сварочный аппарат работает от сети 220 В и обладает высокими электротехническими характеристиками. Благодаря применению новой формы магнитопровода вес...
-
Цель этапа - установление принципиальных конструктивно-технологических решений проектируемых изделий. Выбор и обоснование материалов для школьной формы...
-
ПРИНЦИПЫ КОНСТРУИРОВАНИЯ САМОДЕЛЬНЫХ СВАРОЧНЫХ АППАРАТОВ - Самодельные сварочные аппараты
В зависимости от используемого для сварки типа тока, различают сварочные аппараты постоянного и переменного тока. Сварочные аппараты с использованием...
-
НАЗНАЧЕНИЕ, УСТРОЙСТВО, РАБОТА - Тормозная система с пневматическим приводом
Назначение системы тормозов для снижения скорости и быстрой остановки автомобиля, а так же для удержания его на месте во время стоянки. Устройство...
-
Заключение - Разработка анализатора спектра для комплексной защиты объектов информатизации
В результате дипломного проектирования было выполнено: - проанализированы известные технические решения по защите информации в канале связи с...
-
Электронно-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных...
-
Производство полуфабрикатов из овощей Технологическая схема производства полуфабрикатов в виде сырых очищенных и нарезанных овощей состоит из сортировки...
-
Устройство и принцип работы кондиционеров - Техника и технологии кондиционирования воздуха
Устройство. Основными узлами любого местного автономного кондиционера (как и любой холодильной машины) являются: - Компрессор - сжимает рабочую среду -...
-
Выбор и эксплуатация рабочих жидкостей - Рабочие жидкости для гидросистем
Выбор рабочих жидкостей для гидросистемы машины определяется: - диапазоном рабочих температур; - давлением в гидросистеме; - скоростями движения...
-
Назначение - Спиральный теплообменный аппарат
Спиральные теплообменники используются в спиртовой, пищевой, фармацевтической, нефтяной, химической, ЖКХ и других отраслях промышленности, где требуется...
-
Продовольственное сырье, пищевые продукты и полуфабрикаты, используемые для приготовления сложных горячих блюд из мяса птицы, должны соответствовать...
-
Характеристика обрабатываемых деталей. Обоснование вида и толщины покрытий Серебро широко применяется в гальванотехнике. Серебро - ковкий, пластичный...
-
Введение - Аппараты ИК-нагрева
В громадной таинственной книге, называемой "Кулинария", насчитываются сотни тысяч рецептов блюд, приготовление которых всегда считалось высоким...
-
Ориентировочный расчет теплообменного аппарата для подогрева раствора перед подачей в выпарной аппарат Таблица 3.4 Основные данные для расчета...
-
Морозильный аппарат МШ предназначен для замораживания рыбы, полуфабрикатов и рыбной кулинарии. Рыба замораживается в блочных формах 800 * 250 * 65 мм до...
МРС с устройствами для дополнительной ионизации газа - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов