Введение - Электронно-лучевой синтез TiO2 покрытий с использованием золь-гель мишеней

Интерференционные покрытия применяют для получения высоких коэффициентов отражения (зеркальные покрытия), для увеличения пропускания и контрастности (просветляющие покрытия), для спектрального и энергетического разделения и сложения оптических сигналов в их хроматической коррекции (узко - и широкополосные отрезающие фильтры), для изменения поляризации излучения (интерференционные поляризаторы). На современном этапе прослеживается тенденция формирования оптических покрытий не только с необходимыми оптическими характеристиками, но и с высокими эксплуатационными параметрами: стойкостью к лазерному излучению, к деградации под действием внешних условий эксплуатации и временно стабильностью. Самыми стойкими и стабильными материалами являются тугоплавкие оксиды и полупроводники. Наряду с традиционными методами термического резистивного испарения широкое распространение получил метод электронно-лучевого испарения, позволяющий получать пленки и покрытия на основе тугоплавких оксидов металлов и полупроводников.

В качестве слоев с высоким показателем преломления применяют покрытия на основе TiO2 и других тугоплавких окислов. Оптическим слоем с низким показателем преломления обладают пленки на основе ZnS и SiO2. Конструкции таких покрытий и технологии их изготовления позволяют формировать многослойные функциональные структуры: поляризационные системы, узкополосные и широкополосные фильтры, защитные и просветляющие покрытия, которые могут работать в широком диапазоне длин волн.

Важным свойством таких покрытий является их высокая эксплуатационная стойкость и долговечность. Однако, покрытия не лишены некоторых недостатков: низкая лучевая стойкость, пористость, невысокая стабильность оптических параметров. В этой связи важными научно-техническими задачами с точки зрения их практического применения являются:

    - Разработка физико-химических основ изготовления мишеней для электронно-лучевого синтеза на основе золь-гель технологий, которые обладают стабильностью оптических свойств при их вакуумном напылении; - Изучение особенностей электронно-лучевого формирования и свойства покрытий на основе TiO2 из мишеней по золь-гель технологии.

В процессе исследования планируется изучение электронно-лучевого метода синтеза. Электронные-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных и прикладных исследований, в том числе в нанотехнологиях. Сущность электронно-лучевого воздействия состоит в том, что кинетическая энергия электронного пучка (импульсного или непрерывного) превращается в зоне обработки в тепловую. А благодаря возможности концентрации тепловой энергии во всем диапазоне термического воздействия, необходимого для распыления практически любого материала и ведения процесса в вакууме, обеспечиваются чистота обрабатываемого материала, а также полная автоматизация оборудования. определения и анализа оптических и спектральных постоянных пленок диоксида титана, как оптических слоев с высоким показателем преломления.

Похожие статьи




Введение - Электронно-лучевой синтез TiO2 покрытий с использованием золь-гель мишеней

Предыдущая | Следующая