Разработка магнетронной распылительной системы - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов
Как уже было сказано выше, дуальная магнетронная система представляет собой совокупность двух планарных магнетронов и системы питания магнетронов.
Система питания должна обеспечивать подачу положительного и отрицательного потенциала попеременно на оба магнетрона. То есть, в каждый момент времени один магнетрон является анодом, а другой - катодом. Каждый магнетрон состоит из магнитной системы, расположенной внутри корпуса, состоящего из платформы, боковых стенок, мишени и охладителя. Магнетрон находится внутри экрана, который крепится с помощью изоляторов.
Магнитная система состоит из магнитов, располагающихся на магнитопроводе. Конфигурация магнитного поля в пространстве между мишенью и подложкой оптимизирована по критерию максимальной ионизационной способности электронов плазмы над поверхностью мишени, что позволяет при необходимости работать с повышенными значениями тока разряда. Каждый магнетрон имеет специальный трубопровод для прокачки через него воды в целях охлаждения. Вода подводится к магнетрону от фланца ввода посредством медных трубок, используемых одновременно и для подачи питания.
При подключении к источнику питания корпус и мишень магнетрона соединяются с отрицательным выводом источника питания через трубопровод охлаждения, а положительный вывод источника питания подключается к корпусу установки и к "земле". Положительный вывод источника питания может подключаться к анодной системе.
На магнетронах посредством винтов закрепляются мишени из наносимого материала. В рассматриваемом случае мишени выполнены из нержавеющей стали, однако могут наноситься и другие металлы.
Размещение дуальной магнетронной системы внутри камеры показано на рис. 15.
![дуальная магнетронная система внутри вакуумной камеры](/images/image015-2112.png)
Рис. 15. Дуальная магнетронная система внутри вакуумной камеры
Планарные магнетроны крепятся на кронштейнах посредством винтов, при этом для смены мишеней нет необходимости демонтировать магнетроны. Кроме того, на тех же кронштейнах крепится ионный источник, применяемый для очистки поверхности.
В качестве рабочего газа применяется аргон, подаваемый к магнетронам посредством системы газонапуска.
При необходимо возможно отключение одного магнетрона и применение ДМС как обычной магнетронной системы с одним магнетроном.
Похожие статьи
-
Для получения тонких пленок и покрытий сложного состава с использованием простых исходных веществ применяются технологии распыления в среде реакционных...
-
Описанные выше МРС с несбалансированными магнетронами имеют одну мишень, что приводит к пространственной неоднородности потока распыленного материала....
-
Нанесение покрытий с повышенной твердостью и износоустойчивостью на плоские подложки, а также на другие изделия (сверла, хирургический инструмент и т....
-
Часто для получения пленок высокой чистоты, без примеси газа, равномерного запыления глубоких канавок и отверстий с субмикронными размерами, необходимо...
-
Дальнейшее развитие МРС связано с переходом к системам с плоскими и коническими катодами. Первые попытки получить МРС с плоским катодом были предприняты...
-
Цилиндрические коаксиальные магнетронные системы Первоначально для распыления различных материалов в основном использовались цилиндрические коаксиальные...
-
Термин "физическое газофазное осаждение" описывает два основных способа нанесения покрытий: испарение и распыление. Первоначально метод ФГО применялся...
-
Вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий В настоящее время существует множество различных способов нанесения покрытий. Наиболее...
-
Общие сведения об установке вакуумной металлизации типа УВМ-1200 Установка вакуумной металлизации УВМ-1200 разработана в 1970 г. в Научно -...
-
Цель работы - разработка оборудования для нанесения равномерных антидеструкционных покрытий на подложки большой площади (топливные и кислородные баки...
-
Теплопроводящая трубка представляет собой полую медную трубку, которая в вакуумной среде заполняется жидкостью и запаивается с обеих сторон. Эта жидкость...
-
При эксплуатации систем с трубопроводами в качестве запорной арматуры выступают задвижки и клапаны, предназначенные для необходимого перекрытия потока...
-
Разработка системы диагностики - Структура построения традиционной автозаправочной станции
Основные функциональные узлы контроллера Топаз 130 МК. КТРК состоит из перечисленных ниже функциональных узлов. На силовой плате расположены: - силовой...
-
Классификация шаговых двигателей - Разработка стенда управления шаговым двигателем
Биполярные и униполярные шаговые двигатели Биполярный двигатель имеет одну обмотку в каждой фазе, которая для изменения направления магнитного поля...
-
Одна из основных тенденций современной микроэлектроники - увеличение степени интеграции, объединение на одном кристалле или в одном корпусе максимального...
-
Система автоматизации управления ТРК и учета нефтепродуктов В связи с тем, что прием нефтепродуктов на АЗС не автоматизирован, возникает проблема с...
-
Функциональная схема системы автоматизации приведена на рис. Э1. В дополнение к существующим подсистемам включены следующие: АСК концентрации входящей...
-
Силовое напряжение 380 В общецеховой сети подводится к клеммам. Х1-1,2,3 шкафа PLC и далее к вводному автоматическому выключателю Q1 расположенному в...
-
Электровакуумный прибор, работа которого основана на взаимодействии электронного потока и бегущей волны, впервые предложил и запатентовал американский...
-
Способы изменения направления тока - Разработка стенда управления шаговым двигателем
При работе шагового двигателя требуется изменение направления маг-нитного поля независимо для каждой фазы. Изменение направления магнит-ного поля может...
-
Подбор материалов канализационной системы - Современные методы прокладки канализационных труб
В сооружении наружной канализационной системы наиболее ответственной работой является прокладка канализационных труб. Для прокладки канализационной...
-
КАМЕРА КОПТИЛЬНАЯ - Разработка аппарата холодного копчения
В коптильной камере и совершается то Таинство превращения простой рыбки в золотую с чудным цветом и бесподобными запахом и вкусом. Камера состоит из бака...
-
Разработка системы отпуска топлива - Структура построения традиционной автозаправочной станции
Для управления ТРК используется система отпуска топлива, в которую входит системный блок компьютера, дисплей, клавиатура, блоки сопряжения и коммутации,...
-
Наибольшее распространение получили следующие типы расходомеров: Электромагнитные (магнитно-индукционные). Они основаны на использовании закона ЭМИ...
-
Расчет тока уставки группы №1. Установлена мощность ламп P1 = 8*100 =800 Вт. Рабочий ток I1 равняется: I1 = P1 / U = 800/ 220 =3,64 A Принимаем ток...
-
Введение - Разработка системы поверки манометров
Одной из главных форм государственного метрологического надзора и ведомственного контроля, направленных на обеспечение единства измерений в стране, как...
-
Техническое задание - Разработка системы поверки манометров
1.1 Разработка системы поверки манометров. 1.2 Материалы научно-методических разработок кафедры ИСИТ 1.3 Назначение и цель 1.3.1 Данная система...
-
Секция нанесения конверсионного покрытия - Агрегат полимерных покрытий
1). Станция центрирования полосы №6. Металлическая конструкция с гидроцилиндром, двумя роликами и индуктивным определением кромок полосы. Диаметр роликов...
-
Разработка конструкции литниковой системы - Проект цеха стального литья на 10000 т
При выборе способа подвода расплава в форму и разработке конструкции литниковой системы учитываем, что расплав должен поступать в форму плавно, без...
-
Согласно международной классификации поврежденные трубопроводы подвергаются восстановлению путем нанесения на внутреннюю поверхность стенки трубопровода:...
-
При выполнении данной работы была спроектирована система автоматизированного управления установкой для нейтрализации азотной кислоты аммиаком. Была...
-
Основными признаками загрязнения топливной системы являются: - Затрудненный запуск двигателя; - Неустойчивая работа двигателя на холостом ходу и...
-
Hewlett Packard намеревается применить для охлаждения интегральных схем технологии, разработанные для струйных принтеров. Эта разработка позволит...
-
Проверку точности работы дискретного анализатора частотного спектра сигнала в разработанной системе защиты информации выполним путем сравнения модуля...
-
В зависимости от конструкции устройства в качестве теплостока может быть использован специальный радиатор, шасси или корпус устройства. Во всех случаях...
-
Проектируемая система адаптивного управления представляет собой комплексную систему автоматического регулирования, состоящую из двух подсистем,...
-
Перечень составных частей станка приведен в таблице 2.2. Таблица 2.2 - Перечень составных частей станка Наименование Обозначение Кол Примечание Станина...
-
В схеме (Приложение А) для поддержания температуры смеси в аппарате в диапазоне 130±10°С и конденсата сокового пара, поступающего в аппарат, в диапазоне...
-
К разряду вспомогательного оборудования в аппаратной части АСУТП относят то оборудование, которое обеспечивает нормальную работу основного оборудования...
-
АНАЛИЗ РЫНКА КОПТИЛЬНЫХ КАМЕР На рынке отечественного оборудования в настоящее время представлен достаточно широкий спектр коптильно-варочных камер с...
Разработка магнетронной распылительной системы - Нанесение антидеструкционных покрытий на топливные и кислородные баки космических аппаратов