Заключение - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения
В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало, что использование титана, в качестве сорбента для мишеней является наиболее приемлемым. Но вопросы, касающиеся фазового состава напыленного слоя, влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней, шероховатость получаемой поверхности, наличия примесей в пленке остаются неизвестными. В связи с этим, в ходе экспериментальной части дипломной работы были произведены исследования напыленного слоя, а именно:
- 1. Рентгеновский дифракционный анализ. Целью исследования было определение влияния температуры дисков на позициях обезгаживания и напыления на структурные параметры молибденовых подложек, сорбента мишеней и сопоставление структурных параметров сорбента и молибденовых подложек мишеней, полученных при различных режимах напыления. В результате были определены характеристики кристаллической структуры пленки, напыленных при различных температурах подложки. Материал пленки всех образцов представлен одной фазой б-Ti. Материал сорбента всех мишеней текстурирован. Степень текстуры близка для всех образцов, и не зависит от температуры молибденового диска, степень дефектности решетки пленки, снижается с увеличением температуры подложки. Изменений периода кристаллической решетки и параметра В 400 молибденовых подложек после напыления титанового сорбента по сравнению с материалом дисков после травления и отжига не отмечено. Исключение составляют подложки мишеней, напыленных при температурах 650°С, что обусловлено повышенной температурой обезгаживания подложек перед напылением. 2. Исследование шероховатости поверхности. Целью исследования было определение шероховатости поверхностей напыленных дисков и сравнение с диском без нанесения слоя Ti. В результате оказалось, что степень шероховатости растет с увеличением температуры подложки в момент напыления и больше по сравнению с образцом без нанесенного слоя. 3. Анализ микроструктуры и химического состава. Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней и молибденового диска при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. Результаты показали, что микроструктура напыленных дисков примерно идентична, за исключением образца мишени с температурой подложки на момент напыления 650°С, где имеются ярко выраженные зерна. Исследования химического состава показывают, что и в мишенях, и в молибденовом диске, помимо элементов основы, а именно титана и молибдена, присутствует кислород и углерод, источниками которых, по всей вероятности, являются вода и следы смазки проката, не до конца удаленных из материала, в процессе отжига.
Похожие статьи
-
Целью данного исследования являлось 1. Определение влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней...
-
Целью данного исследования было изучение шероховатости поверхности напыленных дисков. В качестве объектов исследования были взяты пять образцов дисков -...
-
Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. В качестве объектов...
-
1. Плоскостность. Требование, означающее строгую параллельность лицевой стороны, куда наносят пленку, к тыльной стороне. Это необходимо как для...
-
Рис. Общий вид основной вакуумной камеры: 1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5....
-
Нейтронообразующая мишень Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими...
-
В настоящее время электронно-лучевые пушки очень широко применяются в промышленности. Они используются для сварки, нанесения покрытий, плавки, в научных...
-
Рис. 2. Последовательность стадий роста пленки Образование покрытия начинается с возникновения зародышей. На первом этапе происходит столкновение атомов...
-
Применяемые в производстве вещества и материалы, даже очень чистые, за частую имеют некоторое количество чужеродных атомов, оказываясь на поверхности,...
-
Создание пленок термическим методом, молекулярно-лучевой эпитаксией в вакууме или магнетронным, ионным в газовых средах происходит в следующей...
-
Методика проведения эксперимента Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые...
-
Низковольтные нейтронные генераторы имеют широкое применение в науке и в технике. Ими пользуются физики и химики, геологи и биологи, медики и инженеры....
-
Послойный механизм роста происходит на ступенчатых подложках, имеющих кристаллическую структуру. Сначала осаждаемые атомы адсорбируются на поверхности в...
-
Неидеальный кристалл имеет различного рода отклонения от точной периодичности идеального. Обычно различают отклонения в виде точечных и линейных...
-
Для получения пленок SiC использовалась вакуумная установка типа УРМ3, модернизированная с учетом особенностей предполагаемой методики получения....
-
Предварительно нами выполнены физико-химические исследования свойств основных ферросплавов Аксуйского ферросплавного завода. Использовались: -...
-
На поверхности, обработанной токарным резцом, образуются неровности в виде винтовых выступов и винтовых канавок , Подобные резьбе, вполне отчетливо...
-
Заключение, Литература - Изоморфизм и варизонные структуры карбида кремния
В результате исследования АСМ пленок SiC на подложках 6H - SiC было выявлено увеличение процесса консолидации центров роста на поверхности образцов при...
-
Консервирование пищевой продукт холодильной Лучшим способом консервирования является тот, который позволяет возможно более длительное время хранить...
-
Заключение - Исследование рычажного механизма долбежного станка
В ходе выполнения курсового проекта (работы) мы исследовали механизм долбежного станка и синтез кулачкового механизма. Курсовая работа по ТММ по своему...
-
Хранить пшено нужно в чистых, хорошо вентилируемых, не зараженных амбарными вредителями помещениях, соблюдая санитарные нормы и правила. Тару с крупой...
-
Результаты электронномикроскопического анализа феррохрома Нами проведен электронномикроскопический анализ ферросплавов. Задачами...
-
Классификация теста По способу разрыхления все виды теста для мучных кондитерских изделий можно разделить на два вида: дрожжевое и бездрожжевое (или...
-
Для исследования радиофизических свойств радиопоглощающих полимерных материалов в настоящей работе было рассмотрено влияния весовой концентрации...
-
Заключение - Методы подготовки поверхности
Совершенно справедливо утверждать, что качество машины заложено в поверхностном слое детали. Методами литья, ковки, штамповки, прокатки, сварки,...
-
Исследование радиофизических свойств ненаполненных полимерных пленок В настоящее время существует потребность в создании радиопоглощающих материалов для...
-
При неблагоприятных условиях хранения в жирах протекают различные процессы, отрицательно влияющие на их пищевые качества. Большинство изменений жиров...
-
Для стадии дробления известняка важнейшими является свойство дробимость и водопоглощения. Дробимость характеризует относительную сопротивляемость породы...
-
В связи с развитием нефтегазовой отрасли потребность в эффективных материалах для изготовления труб нефтяного и газового сортаментов резко возрастает....
-
Таким образом, в данной дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию порошкового активного материала, с пониженной...
-
Производство аммиака на большинстве отечественных и зарубежных азотнотуковых заводов осуществляется в настоящее время путем синтеза азота и водорода под...
-
Электронно-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных...
-
В процессе написания курсовой были изучены следующие вопросы: 1. Химический состав, пищевая, биологическая и энергетическая ценность мясных баночных...
-
Угловая скорость ходового колеса: ,(11). Определим требуемое передаточное число: ,(13) Принимаем редуктор Ц3вкф-125 с передаточным числом ; диаметр...
-
Противоречивыми являются данные по магнитным свойствам ферросплавов. В литературе приводятся различные температурные точки магнитных превращений...
-
Материалы, применяемые при ремонте козлового крана Все материалы, применяемые для ремонта металлоконструкций, по своим механическим и качественным...
-
Пшеничная мука, химический состав и свойства При выработке мучных кондитерских изделий в основном используется пшеничная мука высшего и I сорта и в...
-
Охрана окружающей среды, Заключение - Производство шлакоблоков
Требования к охране окружающей среды при производстве бетона и бетонных изделий регламентированы Федеральным законом от 4 мая 1999 г. N 96-ФЗ "Об охране...
-
Для технологического процесса изготовления пластмасс наиболее важны физические и механические свойства пластических масс. В связи с этим рассмотрим...
-
Припуск - слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в целях достижения заданных свойств обрабатываемой поверхности детали. Припуск на обработку...
Заключение - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения