Заключение - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало, что использование титана, в качестве сорбента для мишеней является наиболее приемлемым. Но вопросы, касающиеся фазового состава напыленного слоя, влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней, шероховатость получаемой поверхности, наличия примесей в пленке остаются неизвестными. В связи с этим, в ходе экспериментальной части дипломной работы были произведены исследования напыленного слоя, а именно:

    1. Рентгеновский дифракционный анализ. Целью исследования было определение влияния температуры дисков на позициях обезгаживания и напыления на структурные параметры молибденовых подложек, сорбента мишеней и сопоставление структурных параметров сорбента и молибденовых подложек мишеней, полученных при различных режимах напыления. В результате были определены характеристики кристаллической структуры пленки, напыленных при различных температурах подложки. Материал пленки всех образцов представлен одной фазой б-Ti. Материал сорбента всех мишеней текстурирован. Степень текстуры близка для всех образцов, и не зависит от температуры молибденового диска, степень дефектности решетки пленки, снижается с увеличением температуры подложки. Изменений периода кристаллической решетки и параметра В 400 молибденовых подложек после напыления титанового сорбента по сравнению с материалом дисков после травления и отжига не отмечено. Исключение составляют подложки мишеней, напыленных при температурах 650°С, что обусловлено повышенной температурой обезгаживания подложек перед напылением. 2. Исследование шероховатости поверхности. Целью исследования было определение шероховатости поверхностей напыленных дисков и сравнение с диском без нанесения слоя Ti. В результате оказалось, что степень шероховатости растет с увеличением температуры подложки в момент напыления и больше по сравнению с образцом без нанесенного слоя. 3. Анализ микроструктуры и химического состава. Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней и молибденового диска при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. Результаты показали, что микроструктура напыленных дисков примерно идентична, за исключением образца мишени с температурой подложки на момент напыления 650°С, где имеются ярко выраженные зерна. Исследования химического состава показывают, что и в мишенях, и в молибденовом диске, помимо элементов основы, а именно титана и молибдена, присутствует кислород и углерод, источниками которых, по всей вероятности, являются вода и следы смазки проката, не до конца удаленных из материала, в процессе отжига.

Похожие статьи




Заключение - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Предыдущая | Следующая