Механизмы образования пленок - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения
Создание пленок термическим методом, молекулярно-лучевой эпитаксией в вакууме или магнетронным, ионным в газовых средах происходит в следующей последовательности:
- 1. Атомы или молекулы переходят из конденсированного состояния в парообразное. 2. Пары вещества переносятся до подложки. 3. Атомы или молекулы конденсируются на поверхности подложки и образуют адатомы. 4. Образуются зародыши, происходит их рост, либо пленка растет послойно.
Во время первого этапа происходит переход атомов или молекул из конденсированного вещества в парообразное состояние. В основе этого процесса лежит два физических явления: парообразование и выбивание атомов из вещества высокоэнергетическими частицами
Рассмотрим первый процесс. Если парообразование идет из жидкой фазы, то это испарение, если из твердой фазы, минуя жидкую, то сублимация. После образования паров вещества мишени происходит их перенос от испарителя к поверхности подложки. В ходе переноса паров может произойти их взаимодействие с остаточной атмосферой вакуумной камеры, поэтому необходимо уменьшить давление паров до 10-3-10-7 Па, для достижения необходимой чистоты пленки.
После того, как атомы достигли поверхности подложки они могут адсорбироваться, отразиться от нее, либо через какое-то время испариться. Так как атомы обладают определенной энергией, то при конденсации на поверхности они интенсивно мигрируют, теряя энергию, пока не произойдет адсорбция с образованием адатомов. В результате происходит формирование скоплений, но при условии, что поток осаждаемых атомов больше потока реиспаряющихся атомов. Эти скопления могут разрастись до зародышей, либо может произойти послойный рост пленки.
Описание роста пленок представлено тремя типами: 1) зародышевый механизм роста пленок по модели Фольмера-Хирса-Паунда; 2) послойный механизм роста пленок по модели Косселя-Странского-Каишева; 3) спиральный (или дислокационный) механизм роста пленок по модели Бартона-Кабреры-Франка.
Похожие статьи
-
Рис. 2. Последовательность стадий роста пленки Образование покрытия начинается с возникновения зародышей. На первом этапе происходит столкновение атомов...
-
Послойный механизм роста происходит на ступенчатых подложках, имеющих кристаллическую структуру. Сначала осаждаемые атомы адсорбируются на поверхности в...
-
Нейтронообразующая мишень Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими...
-
1. Плоскостность. Требование, означающее строгую параллельность лицевой стороны, куда наносят пленку, к тыльной стороне. Это необходимо как для...
-
Неидеальный кристалл имеет различного рода отклонения от точной периодичности идеального. Обычно различают отклонения в виде точечных и линейных...
-
Методика проведения эксперимента Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые...
-
В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало,...
-
Целью данного исследования являлось 1. Определение влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней...
-
Рис. Общий вид основной вакуумной камеры: 1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5....
-
Применяемые в производстве вещества и материалы, даже очень чистые, за частую имеют некоторое количество чужеродных атомов, оказываясь на поверхности,...
-
Целью данного исследования было изучение шероховатости поверхности напыленных дисков. В качестве объектов исследования были взяты пять образцов дисков -...
-
В настоящее время электронно-лучевые пушки очень широко применяются в промышленности. Они используются для сварки, нанесения покрытий, плавки, в научных...
-
Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. В качестве объектов...
-
Низковольтные нейтронные генераторы имеют широкое применение в науке и в технике. Ими пользуются физики и химики, геологи и биологи, медики и инженеры....
-
Для получения пленок SiC использовалась вакуумная установка типа УРМ3, модернизированная с учетом особенностей предполагаемой методики получения....
-
Классификация теста По способу разрыхления все виды теста для мучных кондитерских изделий можно разделить на два вида: дрожжевое и бездрожжевое (или...
-
Спекание керамики Операция спекания осуществляется для придания изделиям их окончательной прочности, компактности и плотности материала, полного...
-
Физико-химические показатели при хранении молока и механической обработке - Химический состав молока
1). Изменение составных частей при хранении и транспортировании молока. 2). Изменение составных частей при механической обработке. 3). Изменение...
-
Пшеничная мука, химический состав и свойства При выработке мучных кондитерских изделий в основном используется пшеничная мука высшего и I сорта и в...
-
На поверхности, обработанной токарным резцом, образуются неровности в виде винтовых выступов и винтовых канавок , Подобные резьбе, вполне отчетливо...
-
При неблагоприятных условиях хранения в жирах протекают различные процессы, отрицательно влияющие на их пищевые качества. Большинство изменений жиров...
-
Для исследования радиофизических свойств радиопоглощающих полимерных материалов в настоящей работе было рассмотрено влияния весовой концентрации...
-
Исследование радиофизических свойств ненаполненных полимерных пленок В настоящее время существует потребность в создании радиопоглощающих материалов для...
-
Задание: спроектировать механизм подъема груза мостового крана общего назначения. Дано: грузоподъемность кг; скорость подъема ; высота подъема ; режим...
-
Хранить пшено нужно в чистых, хорошо вентилируемых, не зараженных амбарными вредителями помещениях, соблюдая санитарные нормы и правила. Тару с крупой...
-
Исходя из области применения радиопоглощающих полимерных материалов, можно утверждать, что наряду с радиофизическими характеристиками огромное значение...
-
Построение рычага Жуковского Для того, чтобы построить рычаг Жуковского, необходимо взять план скоростей звеньев механизма, повернуть его на 90 и,...
-
Консервирование пищевой продукт холодильной Лучшим способом консервирования является тот, который позволяет возможно более длительное время хранить...
-
Тестообразные массы - Образование и замес теста из пшеничной муки
Тестообразные массы можно рассматривать как дисперсные системы, состоящие из твердой, жидкой и газообразной фаз. Твердую фазу представляют лиофильные...
-
Суперфиниширование - Методы отделочной обработки поверхности
Суперфиниширование - отделочный метод обработки абразивными брусками. Рис. 7. Отделка абразивными брусками Для него характерны колебательные...
-
Полирование заготовок - Методы отделочной обработки поверхности
Полированием уменьшают шероховатость поверхности. Этим методом получают зеркальный блеск на соответствующих частях деталей, либо на деталях, применяемых...
-
Фреоны (другое их назначение хлорфторуглероды) представляет собой бесцветные газы или жидкости, без запаха, как правило, хорошо растворимые в...
-
Техника и методика формирования золь-гель мишеней Гель (ксерогель) из полимерного золя образуется в процессе полимеризации мономеров и полимеров,...
-
Образование цвета Цвет традиционно считается важнейшим критерием правильности проведения процесса копчения. По мнению потребителя, красивый...
-
Изготовление монокристаллических ферритовых пленок - Изготовление пластинчатых магнитопроводов
Тонкие ферритовые магнитные пленки монокристаллической структуры находят широкое применение в качестве элементов для магнитных логических и запоминающих...
-
Дизайнерские бумаги - Выбор и свойства бумаги
Сфера применения дизайнерских, или, как их еще называют, элитных бумаг очень широка. В первую очередь это, конечно же, рекламнопредставительская...
-
Угловая скорость ходового колеса: ,(11). Определим требуемое передаточное число: ,(13) Принимаем редуктор Ц3вкф-125 с передаточным числом ; диаметр...
-
Наиболее сильные изменения свойств наноматериалов и наночастиц наступают в диапазоне размеров кристаллитов порядка 10 - 100нм. Основные физические...
-
Технологический процесс выплавки феррохрома складывается из восстановления оксидов хрома и железа хромовой руды кремнием ферросиликохрома по реакциям: 2...
-
Сварка плавлением - Процессы сварки металлов плавлением
Сварка плавлением осуществляется нагревом свариваемых кромок до температуры плавления без сдавливания свариваемых деталей. При нагреве с повышением...
Механизмы образования пленок - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения