Напыление пленок при помощи электронно-лучевого испарения - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения
В настоящее время электронно-лучевые пушки очень широко применяются в промышленности. Они используются для сварки, нанесения покрытий, плавки, в научных исследованиях. Суть этого процесса заключается в преобразовании кинетической энергии электронного пучка в тепловую в месте воздействия. Так как исходный электронный луч обладает огромной мощностью и энергией, то возможны разнообразные виды термического воздействия: разогрев до необходимых температур, плавление и испарение с заданной скоростью. Благодаря тому, что процесс происходит в вакууме, обеспечивается чистота обрабатываемого материала.
За счет того, что электронный луч обладает большой удельной мощностью, легок в управлении, локален в месте нагрева, он превосходит многие методы напыления. Также его достоинством является то, что он не вносит примесей в материал, работает как в агрессивной среде, так и в инертной. Благодаря хорошей фокусировке пучка электронов можно получить большую концентрацию мощности, до 5х 108 Вт/см 2 И высокую температуру, что позволяет испарять с большой скоростью даже тугоплавкие металлы.
В качестве источника электронов служит электронная пушка (рис. 3), состоящая из вольфрамового термокатода и фокусирующей системы.
Рис. 3. Электронная пушка
Электроны, проходя эту систему, ускоряются за счет разности потенциалов и формируют электронный луч. Магнитное поле создает отклоняющую систему, которая направляет луч в сторону мишени, где в месте падения луча происходит локальный разогрев и испарение. Поток испарившихся частиц осаждается на подложке, находящейся на определенном расстоянии от мишени, и образует пленку. За счет электромагнита, можно перемещать луч вдоль мишени, предотвращая образование в ней кратера. Для беспрепятственного прохождения электронного пучка до объекта необходимо наличие в камере напыления высокого вакуума.
Чаще всего электронно-лучевой испаритель (рис. 4, 5) состоит из следующих частей: электронной пушки, отклоняющей системы и водоохлаждаемого тигля различной емкости, что позволяет непрерывно работать без добавления испаряемого материала.
Рис. 4. Схема электронно-лучевого испарителя
Рис. 5. Схема создания электронного луча и поворотный рабочий стол
Для минимизации влияния остаточного газа на прохождение электронного луча и исключения загрязнений необходим уровень вакуума 10-4 Па.
Похожие статьи
-
Методика проведения эксперимента Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые...
-
В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало,...
-
Целью данного исследования являлось 1. Определение влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней...
-
Рис. Общий вид основной вакуумной камеры: 1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5....
-
Нейтронообразующая мишень Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими...
-
Целью данного исследования было изучение шероховатости поверхности напыленных дисков. В качестве объектов исследования были взяты пять образцов дисков -...
-
Рис. 2. Последовательность стадий роста пленки Образование покрытия начинается с возникновения зародышей. На первом этапе происходит столкновение атомов...
-
1. Плоскостность. Требование, означающее строгую параллельность лицевой стороны, куда наносят пленку, к тыльной стороне. Это необходимо как для...
-
Низковольтные нейтронные генераторы имеют широкое применение в науке и в технике. Ими пользуются физики и химики, геологи и биологи, медики и инженеры....
-
Создание пленок термическим методом, молекулярно-лучевой эпитаксией в вакууме или магнетронным, ионным в газовых средах происходит в следующей...
-
Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. В качестве объектов...
-
Применяемые в производстве вещества и материалы, даже очень чистые, за частую имеют некоторое количество чужеродных атомов, оказываясь на поверхности,...
-
Электронно-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных...
-
Послойный механизм роста происходит на ступенчатых подложках, имеющих кристаллическую структуру. Сначала осаждаемые атомы адсорбируются на поверхности в...
-
Неидеальный кристалл имеет различного рода отклонения от точной периодичности идеального. Обычно различают отклонения в виде точечных и линейных...
-
Предварительно нами выполнены физико-химические исследования свойств основных ферросплавов Аксуйского ферросплавного завода. Использовались: -...
-
Резанье металлов - это обработка путем снятия стружки. В процессе обработки рабочее движение сообщаемое заготовке и режущему инструменту обеспечивает...
-
Классификация теста По способу разрыхления все виды теста для мучных кондитерских изделий можно разделить на два вида: дрожжевое и бездрожжевое (или...
-
Хранить пшено нужно в чистых, хорошо вентилируемых, не зараженных амбарными вредителями помещениях, соблюдая санитарные нормы и правила. Тару с крупой...
-
Полирование заготовок - Методы отделочной обработки поверхности
Полированием уменьшают шероховатость поверхности. Этим методом получают зеркальный блеск на соответствующих частях деталей, либо на деталях, применяемых...
-
Пластмассы. Основные характеристики пластмасс - Пластмассы. Их свойства и области применения
Пластические массы (пластмассы, пластики) -- материалы на основе природных или синтетических полимеров, способные под влиянием нагревания и давления...
-
Термином "золь-гель технология" обозначают технологию получения технически ценных неорганических и органо-неорганических материалов (катализаторы,...
-
Электронная микроскопия - Обработка на сверлильных станках
Появление электронного микроскопа, имеющего разрешающую способность, в десятки раз большую, чем световой микроскоп, позволило подробно изучить такие...
-
Выбор системы электропривода - Электропривод механизма передвижения тележки козлового крана
Для привода крановых механизмов возможно применение различных двигателей и систем электропривода. В настоящее время на кранах применяют простые системы...
-
Сопротивление якоря горячее. Ом, Где ф= 75°С - перегрев обмоток двигателя относительно начальной температуры (15°С). Коэффициент полезного действия при...
-
Техника и методика формирования золь-гель мишеней Гель (ксерогель) из полимерного золя образуется в процессе полимеризации мономеров и полимеров,...
-
При неблагоприятных условиях хранения в жирах протекают различные процессы, отрицательно влияющие на их пищевые качества. Большинство изменений жиров...
-
Для получения пленок SiC использовалась вакуумная установка типа УРМ3, модернизированная с учетом особенностей предполагаемой методики получения....
-
Консервирование пищевой продукт холодильной Лучшим способом консервирования является тот, который позволяет возможно более длительное время хранить...
-
Задание: спроектировать механизм подъема груза мостового крана общего назначения. Дано: грузоподъемность кг; скорость подъема ; высота подъема ; режим...
-
На поверхности, обработанной токарным резцом, образуются неровности в виде винтовых выступов и винтовых канавок , Подобные резьбе, вполне отчетливо...
-
Для исследования радиофизических свойств радиопоглощающих полимерных материалов в настоящей работе было рассмотрено влияния весовой концентрации...
-
Исследование радиофизических свойств ненаполненных полимерных пленок В настоящее время существует потребность в создании радиопоглощающих материалов для...
-
Принцип работы системы и функциональная схема САР В данной работе рассматривается система автоматического регулир Ования температуры воды в баке. Схема...
-
Введение - Взвешенная плавка никелевого концентрата
При химических реакциях изменяется состояние электронов в атомах и молекулах реагирующих веществ, разрываются старые химические связи и возникают новые,...
-
К факторам, влияющим на здоровье и работоспособность человека в процессе труда, относятся: Производственный микроклимат - сочетание температуры,...
-
Материалы, применяемые при ремонте козлового крана Все материалы, применяемые для ремонта металлоконструкций, по своим механическим и качественным...
-
Свойства масляных СОЖ условно разделяют на пять групп: физико-химические и функциональные свойства; химическая активность; эксплуатационные и...
-
Для технологического процесса изготовления пластмасс наиболее важны физические и механические свойства пластических масс. В связи с этим рассмотрим...
-
Теория автоматического управления (ТАУ) -- научная дисциплина, предметом изучения которой являются информационные процессы, протекающие в автоматических...
Напыление пленок при помощи электронно-лучевого испарения - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения