Литературный обзор, Нейтронообразующая мишень, Подложки - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Нейтронообразующая мишень

Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими сорбционными свойствами по отношению к изотопам водорода, насыщенный дейтерием, тритием или их смесью. Процесс изготовления состоит из следующих этапов: механическая обработка подложек и навесок металла-сорбента; обезжиривание, химическое травление подложки; вакуумный отжиг и очистка поверхностей подложки; распыление металла-сорбента и нанесение пленки на подложку; насыщение тонких пленок металлов-сорбентов изотопами водорода; измерение (контроль) параметров мишени.

Подложки

Подложка служит для фиксации нанесенного слоя пленки. В идеальном случае взаимодействия между пленкой и подложкой не происходит, но при этом обеспечивается необходимая механическая жесткость пленки и адгезия. Но на практике подложка может оказать значительное влияние на свойства тонкой пленки. Чаще всего подложка имеет прямоугольную или круглую форму, однако они могут иметь форму цилиндров, прутков, лент и т. д.

В основном подложки подбираются так, чтобы их свойства позволяли создать пленку с нужными характеристиками: они не должны мешать обработке пленки или ее использованию; должны отсутствовать дефекты, а поверхность должна быть атомно-гладкой. Несмотря на то, что большинство подложек хрупкие (например, стеклянные), они обладают достаточно высокой твердостью, определенной стойкостью к воздействию механических и термических напряжений. Подложки из благородных металлов или полимерные подложки, как правило, обладают стойкостью к воздействию химических реагентов. Монокристаллические подложки используются для изготовления эпитаксиальных монокристаллических пленок и для целого ряда устройств (гетеропереходов, сверхрешеток и т. д.). Таким образом, свойства пленок неразрывно связаны со свойствами подложек для них.

Похожие статьи




Литературный обзор, Нейтронообразующая мишень, Подложки - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Предыдущая | Следующая