Требования, предъявляемые к подложкам - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

1. Плоскостность. Требование, означающее строгую параллельность лицевой стороны, куда наносят пленку, к тыльной стороне. Это необходимо как для литографии, так и для уменьшения температурных градиентов во время термообработки пленки. 2. Отсутствие пор, трещин, впадин, углублений в подложке. Данное требование является необходимым, чтобы исключить разрывы в пленке и предотвратить загрязнения, которые могут привести к избыточному газовыделению в вакуум. 3. Высокие значения температур рекристаллизации и плавления. Высокие значения температур рекристаллизации и плавления необходимы для создания стабильных пленок при высоких температурах. Также это необходимо для того, чтобы в пленках не было фазовых и структурных превращений по вине подложки. 4. Близость значений коэффициентов термического расширения пленки и подложки. Данное требование необходимо, чтобы исключить появление термических напряжений, которые могут привести к повреждению пленки при ее отжиге, нагреве и термоциклировании. 5. Оптимальная теплопроводность. Для избегания перегрева и отвода тепла от пленки необходима хорошая теплопроводность подложки. 6. Стойкость к термоударам и термическим напряжениям.

Означает способность подложек без напряжений выдерживать высокие температурные градиенты.

Похожие статьи

• Зародышевый механизм роста пленок - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Рис. 2. Последовательность стадий роста пленки Образование покрытия начинается с возникновения зародышей. На первом этапе происходит столкновение атомов...

• Заключение - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало,...

• Рентгено-дифракционный анализ - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Целью данного исследования являлось 1. Определение влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней...

• Литературный обзор, Нейтронообразующая мишень, Подложки - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Нейтронообразующая мишень Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими...

• Экспериментальная часть, Методика проведения эксперимента - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Методика проведения эксперимента Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые...

• Исследование шероховатости поверхности - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Целью данного исследования было изучение шероховатости поверхности напыленных дисков. В качестве объектов исследования были взяты пять образцов дисков -...

• Механизмы образования пленок - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Создание пленок термическим методом, молекулярно-лучевой эпитаксией в вакууме или магнетронным, ионным в газовых средах происходит в следующей...

• Введение - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Низковольтные нейтронные генераторы имеют широкое применение в науке и в технике. Ими пользуются физики и химики, геологи и биологи, медики и инженеры....

• Напыление пленок при помощи электронно-лучевого испарения - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  В настоящее время электронно-лучевые пушки очень широко применяются в промышленности. Они используются для сварки, нанесения покрытий, плавки, в научных...

• Описание установки напыления - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Рис. Общий вид основной вакуумной камеры: 1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5....

• Химическая неоднородность - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Применяемые в производстве вещества и материалы, даже очень чистые, за частую имеют некоторое количество чужеродных атомов, оказываясь на поверхности,...

• Послойный и спиральный рост пленок - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Послойный механизм роста происходит на ступенчатых подложках, имеющих кристаллическую структуру. Сначала осаждаемые атомы адсорбируются на поверхности в...

• Исследование мишеней сканирующим электронным микроскопом - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. В качестве объектов...

• Строение и свойства напыляемой поверхности - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

  Неидеальный кристалл имеет различного рода отклонения от точной периодичности идеального. Обычно различают отклонения в виде точечных и линейных...

• Процессы, происходящие в пшене при хранении, Идентификация и фальсификация пшена - Надежность потребительских свойств пшена шлифованного и их оценка

  Хранить пшено нужно в чистых, хорошо вентилируемых, не зараженных амбарными вредителями помещениях, соблюдая санитарные нормы и правила. Тару с крупой...

• Расчет параметров передачи, Требования, предъявляемые при работе с домкратом - Проектирование домкрата

  Коэффициент полезного действия винтового механизма, учитывающий суммарные потери в винтовой паре и на пяте: З= 0,53*0,6=0,318, Где зР- КПД резьбовой пары...

• Требования, предъявляемые к прикладным материалам /8/ - Конфекционирование материалов для пальто женского "деми" из полушерстяной ткани

  При изготовлении данного изделия необходимо применять плечевые накладки и подокатники. Плечевые накладки - накладки, используемые для придания четкой,...

• Требования, предъявляемые к армированным ниткам - Конфекционирование материалов для пальто женского "деми" из полушерстяной ткани

  К армированным ниткам торговых номеров 44ЛХ, 36ЛХ и 50ЛХ (для отделочных строчек) предъявляют следующие требования: 1. Массовая доля хлопкового волокна...

• Магнитные свойства ферросплавов - Изучение физико-химических свойств ферросплавов и рассчет электродуговой печи на производство ферросилиция

  Противоречивыми являются данные по магнитным свойствам ферросплавов. В литературе приводятся различные температурные точки магнитных превращений...

• Производство азота., Технология производства., Основные факторы риска при производстве азота., Техника безопасности при производстве азота. - Техника безопасности на азотных комбинатах

  Технология производства. В настоящее время азот на химических комбинатах добывают из атмосферного воздуха его разделением на фракции в специальных...

• Физические свойства алюминия - Особенности выплавки алюминиевых сплавов

  Алюминий(лат. Aluminium, от alumen - квасцы) - химический элемент III гр. периодической системы, атомный номер 13, атомная масса 26,98154....

• Требования промышленной безопасности при эксплуатации домкратов, Требования безопасности при работе с гидравлическими домкратами, Общие требования охраны труда - Конструктивные особенности разных типов гидравлических домкратов

  Требования безопасности при работе с гидравлическими домкратами 1. Осуществляйте подъем медленно и чаще проводите проверку 2. Старайтесь на стоять на...

• Изменение жиров при хранении. Современные представления о механизме окисления жиров - Химический состав молока

  При неблагоприятных условиях хранения в жирах протекают различные процессы, отрицательно влияющие на их пищевые качества. Большинство изменений жиров...

• Замес теста и способы его разрыхления, Классификация теста, Сущность процессов, происходящих при замесе теста - Образование и замес теста из пшеничной муки

  Классификация теста По способу разрыхления все виды теста для мучных кондитерских изделий можно разделить на два вида: дрожжевое и бездрожжевое (или...

• Требования к материалам, используемым для получения отливок, Литейные свойства сплавов - Заготовительное и литейное производство

  Состав материалов должен обеспечивать получение в отливке заданных физико-механических и физико-химических свойств; свойства и структура должны быть...

• Введение, Понятие о температуре и о температурных шкалах - Общие сведения об измерениях температуры

  Температурой называют величину, характеризующую тепловое состояние тела. Согласно кинетической теории температуру определяют как меру кинетической...

• Стабилизация тока и скорость спада тока - Разработка стенда управления шаговым двигателем

  Для регулировки момента требуется регулировать силу тока в обмотках. В любом случае, ток должен быть ограничен, чтобы не превысить рас-сеиваемую мощность...

• Особенности титановых сплавов - Титан и титановые сплавы

  Одним из важных преимуществ титановых сплавов перед алюминиевыми и магниевыми сплавами является жаропрочность, которая в условиях практического...

• Топливо для двигателей с искровым зажиганием. Требования к ним - Эксплуатационные материалы

  . По этим характеристикам можно устанавли-вать вид топлива, обеспечение им соответствующего сме-сеобразования, характер его сгорания, устойчивость к...

• Пластмассовые уплотнители и амортизаторы. - Пластмассы. Их свойства и области применения

  Детали уплотнений из пластмасс находят очень широкое применение. Это объясняется тем, что пластмассы обеспечивают не только высокую герметичность...

• Свойства полиэтилентерефталата - Проект завода по производству преформ - заготовок для ПЭТ бутылок, изготавливаемых из полимера (полиэтилентерефталата)

  Полиэтилентерефталат обладает высокой механической прочностью и ударостойкостью, устойчивостью к истиранию и многократным деформациям при растяжении и...

• Выбор системы управления преобразователя, выбор аппаратуры - Электрооборудование механизма подъема мостового крана

  Выбираю преобразователь КТЭ 320/220 А (440 В) Семейство продуктов КТЭ Тип изделия или компонента Привод с регулируемой частотой вращения Специальное...

• Расчет защитного заземления - Изучение физико-химических свойств ферросплавов и рассчет электродуговой печи на производство ферросилиция

  Заземляющие устройства предварительно рассчитывают. Цель расчета определить основные параметры заземляющего устройства: число, размеры и размещение...

• Технология ремонта, Материалы, применяемые при ремонте козлового крана - Конструктивная проработка козлового контейнерного перегружателя грузоподъемностью 40т

  Материалы, применяемые при ремонте козлового крана Все материалы, применяемые для ремонта металлоконструкций, по своим механическим и качественным...

• Свойства масляных СОЖ и методы их оценки, Физико-химические свойства СОЖ, Краткие сведения о важнейших физико-химических свойствах масляных СОЖ - Исследования температурной стойкости и окисляемости смазочно-охлаждающих жидкостей

  Свойства масляных СОЖ условно разделяют на пять групп: физико-химические и функциональные свойства; химическая активность; эксплуатационные и...

• Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны - Сварка вертикальных швов стенки резервуара для хранения нефтепродуктов

  Вентиляцией называется комплекс взаимосвязанных устройств и процессов для создания требуемого воздухообмена в производственных помещениях. Основное...

• Физические и механические свойства пластмасс - Проектирование и реализация демонстрационных моделей пластиковых окон

  Для технологического процесса изготовления пластмасс наиболее важны физические и механические свойства пластических масс. В связи с этим рассмотрим...

• Особенности работы электростартеров и требования к электростартерам - Характеристика стартеров и организация их ремонта

  Электростартер получает питание от аккумуляторной батареи - автономного источника электроэнергии ограниченной мощности. Вследствие внутреннего падения...

• ПОТРЕБИТЕЛЬСКИЕ СВОЙСТВА ДЕТСКОЙ ОБУВИ - Технология производства детской обуви

  Обувь является составной частью комплекта одежды. Для детей выпускаются различные виды обуви: круглосезонная, летняя, зимняя, весенне-осенняя. А также -...

• Факторы, сохраняющие качество мясных консервов - Потребительские свойства и пищевая ценность продуктов переработки мяса

  Одним из способов повышения качества мясных консервов является использование новых видов тары. Тара должна выдерживать нагрев до высоких температур и...

Требования, предъявляемые к подложкам - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Предыдущая | Следующая