Описание установки напыления - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения
Рис. Общий вид основной вакуумной камеры:
- 1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5. Защитная панель 6. Регулируемая опора 7. Каркас 8. Дверь камеры выгрузки 9. Камера выгрузки 10. Крышка камеры выгрузки
Рис. Внутрикамерная оснастка:
- 1. Элементы системы нагрева 2. Механизм перемещения подложек 3. Система ионно-лучевой очистки 4. Система электронно-лучевого испарения 5. Система оптического контроля 6. Азотит 7. Система кварцевого контроля 8. Жалюзи 9. Система электронно-лучевого нагрева 10. Заслонка 11. Литник 12. Фланец Азотита
Длительность процесса напыления составляла 20с. Перед процессом нанесения сорбента диски прошли травление и отжиг. В процессе напыления перед нанесением титановой пленки все диски, за исключением №10-12, обезгаживались при температуре Т=850°С. Диски №10-12, на которых пыление проводилось Т=650-670°С, обезгаживались при Т=1100°С. Параметры процесса напыления и толщина слоя пленки представлены в таблице 1.
Таблица 1
№ мишени |
Тобезг., °С |
Тнапыл.,°С |
№ паллеты |
Толщина пленки, мкм |
1 |
850 |
150 |
3 |
0,663 |
2 |
850 |
150 |
3 |
0,658 |
3 |
850 |
150 |
3 |
0,687 |
4 |
850 |
360 |
4 |
0,647 |
5 |
850 |
360 |
4 |
0,678 |
6 |
850 |
360 |
4 |
0,712 |
7 |
850 |
550 |
5 |
0,716 |
8 |
850 |
550 |
5 |
0,718 |
9 |
850 |
550 |
5 |
0,771 |
10 |
1100 |
650 |
6 |
0,653 |
11 |
1100 |
650 |
6 |
0,668 |
12 |
1100 |
650 |
6 |
0,747 |
Полученные образцы с нанесенным титановым покрытием были подвергнуты комплексным исследованиям по следующим направлениям:
- 1. Рентгеновский дифракционный анализ; 2. Анализ микроструктуры и химического состава; 3. Анализ шероховатости поверхности.
Похожие статьи
-
В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало,...
-
Целью данного исследования являлось 1. Определение влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней...
-
Целью данного исследования было изучение шероховатости поверхности напыленных дисков. В качестве объектов исследования были взяты пять образцов дисков -...
-
В настоящее время электронно-лучевые пушки очень широко применяются в промышленности. Они используются для сварки, нанесения покрытий, плавки, в научных...
-
Методика проведения эксперимента Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые...
-
Рис. 2. Последовательность стадий роста пленки Образование покрытия начинается с возникновения зародышей. На первом этапе происходит столкновение атомов...
-
Создание пленок термическим методом, молекулярно-лучевой эпитаксией в вакууме или магнетронным, ионным в газовых средах происходит в следующей...
-
Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. В качестве объектов...
-
1. Плоскостность. Требование, означающее строгую параллельность лицевой стороны, куда наносят пленку, к тыльной стороне. Это необходимо как для...
-
Нейтронообразующая мишень Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими...
-
Послойный механизм роста происходит на ступенчатых подложках, имеющих кристаллическую структуру. Сначала осаждаемые атомы адсорбируются на поверхности в...
-
Применяемые в производстве вещества и материалы, даже очень чистые, за частую имеют некоторое количество чужеродных атомов, оказываясь на поверхности,...
-
Низковольтные нейтронные генераторы имеют широкое применение в науке и в технике. Ими пользуются физики и химики, геологи и биологи, медики и инженеры....
-
Неидеальный кристалл имеет различного рода отклонения от точной периодичности идеального. Обычно различают отклонения в виде точечных и линейных...
-
Формирование интерференционного многослойного покрытия осуществлялось с помощью установки вакуумного напыления ВУ-1А (рисунок 4), оснащенной источником...
-
Выбор схемы базирования и описание работы приспособления Анализируя техническое задание, эскиз детали под выполняемую операцию из ГОСТ 21495-76 выбираем...
-
Сведения о технике безопасности 1. При осмотре, очистке от пыли кожухов электродвигателя и аппаратуры управления без отключения и остановки...
-
Фреоны (другое их назначение хлорфторуглероды) представляет собой бесцветные газы или жидкости, без запаха, как правило, хорошо растворимые в...
-
Описание процесса приготовления цементного клинкера в трубной шаровой мельнице Измельчение материалов в цементном производстве - один из технологических...
-
Основными факторами, которые влияют на процесс термического разложения пирита являются: - температура обжига, °С (Х1); - продолжительность обжига, время,...
-
Электронно-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных...
-
Описание технологического процесса Современные прокатные цеха являются важнейшим звеном металлургического производства, в значит, степени определяющим...
-
Хранить пшено нужно в чистых, хорошо вентилируемых, не зараженных амбарными вредителями помещениях, соблюдая санитарные нормы и правила. Тару с крупой...
-
Предварительно нами выполнены физико-химические исследования свойств основных ферросплавов Аксуйского ферросплавного завода. Использовались: -...
-
Классификация теста По способу разрыхления все виды теста для мучных кондитерских изделий можно разделить на два вида: дрожжевое и бездрожжевое (или...
-
Результаты электронномикроскопического анализа феррохрома Нами проведен электронномикроскопический анализ ферросплавов. Задачами...
-
Описание поточной схемы - Исследование свойств смеси нефтей месторождений Тенгиз-Жанажол
С такой схемой переработки имеют в своем составе установки, на которых с помощью различных деструктивных и каталитических процессов можно получить...
-
Консервирование пищевой продукт холодильной Лучшим способом консервирования является тот, который позволяет возможно более длительное время хранить...
-
Работа металла поверхностей нагрева - Описание работы нагревательных котлов
Особенностью ГЖК является высокая плотность теплового потока в жаровой трубе котла, которая примерно в 3-4 раза выше, чем у водотрубных котлов. Именно за...
-
Электронная установка выполняет функцию управления, контроля и мониторирования машины. Для выполнения этих функций электронная установка оснащена...
-
Холодильная автоматизированная установка состоит из трех компрессоров (КМ), оснащенных устройствами автоматической защиты, маслоотделителя (МО), сборника...
-
При неблагоприятных условиях хранения в жирах протекают различные процессы, отрицательно влияющие на их пищевые качества. Большинство изменений жиров...
-
Техника и методика формирования золь-гель мишеней Гель (ксерогель) из полимерного золя образуется в процессе полимеризации мономеров и полимеров,...
-
Лучевые способы сварки - Сварочное производство. Сварка плавлением
Электронно-лучевая сварка. Сущность процесса состоит в том, что свариваемые детали, собранные без зазора, помещают в вакуумную камеру и подают на них...
-
При значительных напряжениях в конкурсе необходима установка линзового компенсатора. Определение коэффициента у, определяющего гибкость компенсатора Где...
-
Этапы анализа данных - Анализ медико-биологических данных помощью Microsoft Excel и СПП STADIA 6.2
В процессе анализа данных, как правило, присутствуют следующие основные этапы: 1. Ввод данных Введенные данные обычно отражаются в форме электронной...
-
Основным технологическим средством автоматизации проектирования в машиностроении является цифровая ЭВМ, оперирующая с информацией, представленной в...
-
Для получения пленок SiC использовалась вакуумная установка типа УРМ3, модернизированная с учетом особенностей предполагаемой методики получения....
-
Необходимым требованием экономического развития страны является коренная организационно-хозяйственная реформа всех звеньев народнохозяйственного...
-
Статистические пакеты - Анализ медико-биологических данных помощью Microsoft Excel и СПП STADIA 6.2
Стандартные статистические методы включены в состав популярных электронных таблиц, таких как Excel, Lotus 1-2-3, Quattro Pro, а также в математические...
Описание установки напыления - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения