Описание установки напыления - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

общий вид основной вакуумной камеры

Рис. Общий вид основной вакуумной камеры:

    1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5. Защитная панель 6. Регулируемая опора 7. Каркас 8. Дверь камеры выгрузки 9. Камера выгрузки 10. Крышка камеры выгрузки
внутрикамерная оснастка

Рис. Внутрикамерная оснастка:

    1. Элементы системы нагрева 2. Механизм перемещения подложек 3. Система ионно-лучевой очистки 4. Система электронно-лучевого испарения 5. Система оптического контроля 6. Азотит 7. Система кварцевого контроля 8. Жалюзи 9. Система электронно-лучевого нагрева 10. Заслонка 11. Литник 12. Фланец Азотита

Длительность процесса напыления составляла 20с. Перед процессом нанесения сорбента диски прошли травление и отжиг. В процессе напыления перед нанесением титановой пленки все диски, за исключением №10-12, обезгаживались при температуре Т=850°С. Диски №10-12, на которых пыление проводилось Т=650-670°С, обезгаживались при Т=1100°С. Параметры процесса напыления и толщина слоя пленки представлены в таблице 1.

Таблица 1

№ мишени

Тобезг., °С

Тнапыл.,°С

№ паллеты

Толщина пленки, мкм

1

850

150

3

0,663

2

850

150

3

0,658

3

850

150

3

0,687

4

850

360

4

0,647

5

850

360

4

0,678

6

850

360

4

0,712

7

850

550

5

0,716

8

850

550

5

0,718

9

850

550

5

0,771

10

1100

650

6

0,653

11

1100

650

6

0,668

12

1100

650

6

0,747

Полученные образцы с нанесенным титановым покрытием были подвергнуты комплексным исследованиям по следующим направлениям:

    1. Рентгеновский дифракционный анализ; 2. Анализ микроструктуры и химического состава; 3. Анализ шероховатости поверхности.

Похожие статьи




Описание установки напыления - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Предыдущая | Следующая