Экспериментальная часть, Методика проведения эксперимента - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Методика проведения эксперимента

Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые диски осуществлялось на установке "Белиза-2М 2-5" из навески иодидного титана ТИ-1.

Установка "Белиза-2М 2-5" предназначена для нанесения слоя сорбента на металлические подложки диаметром различного диаметра методом электронно-лучевого испарения. Для высоковакуумной откачки обеих камер применяются турбомолекулярные насосы. В технологической камере в дополнение к турбомолекулярному насосу применяется криопанель (азотит) открытого типа с возможностью заливки жидкого азота. Для предварительной откачки камер и обеспечения работы турбомолекулярных насосов используются "сухие" механические насосы.

Загрузка паллет с подложками в технологическую камеру, тигля с испаряемым материалом, осуществляется оператором вручную.

После загрузки тигля с испаряемым материалом, очищенный азотит становится на позицию нанесения покрытия (рабочую позицию).

Откачка технологической камеры на рабочий вакуум и заполнение азотита жидким азотом осуществляется вручную.

По достижении рабочего давления осуществляется плавление испаряемого материала (формирование капли) и его обезгаживание в ручном режиме. Заслонка ЭЛИ при этом закрывает тигель. За процессом плавления ведется визуальный контроль.

Процесс обезгаживания подложек осуществляется пошагово. Паллета с подложками на позиции обезгаживания подвергается бомбардировке расфокусированным электронным пучком. Нагрев паллеты электронным пучком может осуществляться до температуры от 800 до 1100 ОС (может меняться в зависимости от требований к процессу). Контроль температуры нагрева паллет осуществляется пирометром. Перед обезгаживанием давление в основной камере должно быть не более 2,7 х 10-4 Па. При обезгаживании давление в камере не должно быть выше 1,33 х 10-3 Па. Если давление в камере выше указанного значения - выключается ЭЛН до восстановления остаточного давления не более 2,7 х 10-4 Па. Газовый состав камеры напыления контролируется масс - спектрометром.

В процессе последовательного обезгаживания все предыдущие паллеты, которые прошли операцию обезгаживания, охлаждаются в вакууме естественным способом.

После обезгаживания паллета устанавливается на позицию стабилизации температуры перед напылением. На позиции стабилизации установлен нагреватель, который регулирует температуру паллеты в диапазоне 350 до 500О С, контроль температуры пирометром.

Как только температура подложек паллеты достигла заданной температуры, она перемещается в позицию нанесения покрытия.

После завершения процесса напыления на все подложки паллеты могут находиться в технологической камере в вакууме в течение необходимого времени.

Похожие статьи




Экспериментальная часть, Методика проведения эксперимента - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения

Предыдущая | Следующая