Экспериментальная часть, Методика проведения эксперимента - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения
Методика проведения эксперимента
Объектами настоящего исследования были мишени, напыленные при различных температурах. Нанесение покрытия на молибденовые диски осуществлялось на установке "Белиза-2М 2-5" из навески иодидного титана ТИ-1.
Установка "Белиза-2М 2-5" предназначена для нанесения слоя сорбента на металлические подложки диаметром различного диаметра методом электронно-лучевого испарения. Для высоковакуумной откачки обеих камер применяются турбомолекулярные насосы. В технологической камере в дополнение к турбомолекулярному насосу применяется криопанель (азотит) открытого типа с возможностью заливки жидкого азота. Для предварительной откачки камер и обеспечения работы турбомолекулярных насосов используются "сухие" механические насосы.
Загрузка паллет с подложками в технологическую камеру, тигля с испаряемым материалом, осуществляется оператором вручную.
После загрузки тигля с испаряемым материалом, очищенный азотит становится на позицию нанесения покрытия (рабочую позицию).
Откачка технологической камеры на рабочий вакуум и заполнение азотита жидким азотом осуществляется вручную.
По достижении рабочего давления осуществляется плавление испаряемого материала (формирование капли) и его обезгаживание в ручном режиме. Заслонка ЭЛИ при этом закрывает тигель. За процессом плавления ведется визуальный контроль.
Процесс обезгаживания подложек осуществляется пошагово. Паллета с подложками на позиции обезгаживания подвергается бомбардировке расфокусированным электронным пучком. Нагрев паллеты электронным пучком может осуществляться до температуры от 800 до 1100 ОС (может меняться в зависимости от требований к процессу). Контроль температуры нагрева паллет осуществляется пирометром. Перед обезгаживанием давление в основной камере должно быть не более 2,7 х 10-4 Па. При обезгаживании давление в камере не должно быть выше 1,33 х 10-3 Па. Если давление в камере выше указанного значения - выключается ЭЛН до восстановления остаточного давления не более 2,7 х 10-4 Па. Газовый состав камеры напыления контролируется масс - спектрометром.
В процессе последовательного обезгаживания все предыдущие паллеты, которые прошли операцию обезгаживания, охлаждаются в вакууме естественным способом.
После обезгаживания паллета устанавливается на позицию стабилизации температуры перед напылением. На позиции стабилизации установлен нагреватель, который регулирует температуру паллеты в диапазоне 350 до 500О С, контроль температуры пирометром.
Как только температура подложек паллеты достигла заданной температуры, она перемещается в позицию нанесения покрытия.
После завершения процесса напыления на все подложки паллеты могут находиться в технологической камере в вакууме в течение необходимого времени.
Похожие статьи
-
В настоящее время электронно-лучевые пушки очень широко применяются в промышленности. Они используются для сварки, нанесения покрытий, плавки, в научных...
-
Рис. 2. Последовательность стадий роста пленки Образование покрытия начинается с возникновения зародышей. На первом этапе происходит столкновение атомов...
-
Рис. Общий вид основной вакуумной камеры: 1. Светофор 2. Кронштейн для подъема крышки 3. Крышка технологической камеры 4. Технологическая камера 5....
-
1. Плоскостность. Требование, означающее строгую параллельность лицевой стороны, куда наносят пленку, к тыльной стороне. Это необходимо как для...
-
В настоящей дипломной работе была изучена научно-техническая литература по созданию тонкопленочных покрытий. Изучение литературных источников показало,...
-
Целью данного исследования являлось 1. Определение влияния температуры подложки во время нанесения покрытия на структурные параметры сорбента мишеней...
-
Создание пленок термическим методом, молекулярно-лучевой эпитаксией в вакууме или магнетронным, ионным в газовых средах происходит в следующей...
-
Неидеальный кристалл имеет различного рода отклонения от точной периодичности идеального. Обычно различают отклонения в виде точечных и линейных...
-
Нейтронообразующая мишень Нейтронообразующая мишень представляет собой подложку, на которую наносят активный слой металла, обладающего хорошими...
-
Применяемые в производстве вещества и материалы, даже очень чистые, за частую имеют некоторое количество чужеродных атомов, оказываясь на поверхности,...
-
Целью данного исследования было изучение шероховатости поверхности напыленных дисков. В качестве объектов исследования были взяты пять образцов дисков -...
-
Низковольтные нейтронные генераторы имеют широкое применение в науке и в технике. Ими пользуются физики и химики, геологи и биологи, медики и инженеры....
-
Цель данного исследования состояла в исследовании мишеней при помощи сканирующего микроскопа и определения наличия примесей в них. В качестве объектов...
-
Послойный механизм роста происходит на ступенчатых подложках, имеющих кристаллическую структуру. Сначала осаждаемые атомы адсорбируются на поверхности в...
-
Предварительно нами выполнены физико-химические исследования свойств основных ферросплавов Аксуйского ферросплавного завода. Использовались: -...
-
Техника и методика формирования золь-гель мишеней Гель (ксерогель) из полимерного золя образуется в процессе полимеризации мономеров и полимеров,...
-
Электронно-лучевые пучки широко используются в технологическом оборудовании для нагрева, сварки, плавки, размерной обработки, распыления, фундаментальных...
-
Хранить пшено нужно в чистых, хорошо вентилируемых, не зараженных амбарными вредителями помещениях, соблюдая санитарные нормы и правила. Тару с крупой...
-
Смазывание - это нанесение смазочного материала на трущиеся поверхности для уменьшения сопротивления трению и повышению износостойкости трущихся...
-
Классификация теста По способу разрыхления все виды теста для мучных кондитерских изделий можно разделить на два вида: дрожжевое и бездрожжевое (или...
-
Структура и задачи ремонтно-механической службы Технологический процесс в цехе, краткий анализ основных механического оборудования. Первоначальное...
-
При неблагоприятных условиях хранения в жирах протекают различные процессы, отрицательно влияющие на их пищевые качества. Большинство изменений жиров...
-
Специальные способы литья под давлением - Характеристика литья под давлением
Литье под давлением с использованием вакуума. Для осуществления данного способа литья используют разные методы вакуумирования полости пресс-формы и...
-
ВВЕДЕНИЕ - Электрический привод производственного механизма
Электрическим приводом называется электромеханическое устройство, предназначенное для приведения в движение рабочих органов машин и управления их...
-
Термином "золь-гель технология" обозначают технологию получения технически ценных неорганических и органо-неорганических материалов (катализаторы,...
-
Пластмассы. Основные характеристики пластмасс - Пластмассы. Их свойства и области применения
Пластические массы (пластмассы, пластики) -- материалы на основе природных или синтетических полимеров, способные под влиянием нагревания и давления...
-
Производство аммиака на большинстве отечественных и зарубежных азотнотуковых заводов осуществляется в настоящее время путем синтеза азота и водорода под...
-
Технология производства. В настоящее время азот на химических комбинатах добывают из атмосферного воздуха его разделением на фракции в специальных...
-
Организация производства - Организация работы ресторана при гостинице на 75 мест
Все производственные помещения предприятий общественного питания можно подразделить на заготовочные, доготовочные, подсобные и вспомогательные....
-
Полирование заготовок - Методы отделочной обработки поверхности
Полированием уменьшают шероховатость поверхности. Этим методом получают зеркальный блеск на соответствующих частях деталей, либо на деталях, применяемых...
-
К технологическим свойствам пластмасс относят: текучесть, влажность, время отверждения, дисперсность, усадку, таблетируемость, объемные характеристики....
-
Выделим в столбе воздуха вертикальной высоты Н элемент dz, ограниченный сечениями 1-1 и 2-2, так чтобы в пределах выделенного элемента объемный вес...
-
Резанье металлов - это обработка путем снятия стружки. В процессе обработки рабочее движение сообщаемое заготовке и режущему инструменту обеспечивает...
-
Техника безопасности на предприятии - это совокупность мероприятий организационного и технического характера, которые направлены на предотвращение на...
-
Исследования сорбционных испытаний газопоглотителей на основе титан-ванадиевого сплава На основе выбранного порошка титан-ванадиевого сплава было...
-
Расчет себестоимости Расчетная себестоимость принята 1кг ферросплава равна 15000 тг/кг Расчет затрат на проведение исследований В данном разделе...
-
Аннотация В статье в общем виде разработан расчетно-экспериментальный метод исследования косвенного измерения толщины слоя нагара на поверхностях камер...
-
Методика приготовления опытных сплавов Для приготовления опытных сплавов использовалась электрическая печь сопротивления шахтного типа мощностью 10 КВт с...
-
Консервирование пищевой продукт холодильной Лучшим способом консервирования является тот, который позволяет возможно более длительное время хранить...
-
Надежность - это комплексное свойство технического объекта (приборы, устройства, машины, системы); состоит в его способности выполнять заданные функции,...
Экспериментальная часть, Методика проведения эксперимента - Механизмы образования и свойства поверхности, созданной при помощи электронно-лучевого испарения