Изготовление слоя диэлектрика, Изготовление слоя технологических перемычек - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Изготовление слоя технологических перемычек

Напыление слоя Cr-Cu

Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации.

Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ.25200.00121.

Установить испарители на позицию напыления:

Для первого слоя (хром) - испаритель из молибденовой ленты;

Для второго слоя (медь) - испаритель из 6-и вольфрамовых проволок.

Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.

Опустить колпак.

Откачать рабочую камеру до давления 510-5 мм. рт. ст. согласно инструкции по эксплуатации.

Произвести отжиг испарителей.

Студить рабочую камеру в течение 1 часа при открытом затворе.

Закрыть затвор, разгерметизировать, поднять колпак.

Поместить на первый испаритель хром, на второй медь.

Подготовить подложкодержатель и контрольный образец - "Свидетель" к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:

    А) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе; Б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на подложкодержатель.

Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.

Проверить цепь контрольного образца - "Свидетеля" на отсутствие обрывов и коротких замыканий.

Опустить колпак. Произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.

Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 200100С.

Подать ток на молибденовый испаритель, наблюдать через смотровое окно и в момент, когда хром раскалится до бела открыть заслонку, толщину слоя отслеживаем по свидетелю при достижении требуемого сопротивления закрыть заслонку.

Передвинуть карусель с испарителем на следующую позицию.

Подать на вольфрамовый испаритель ток, открыть заслонку, напылять медь в течение 1 минуты, закрыть заслонку.

Выключить все источники питания напылительного блока.

Продолжать нагрев подложки в течении 10 мин., затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий вакуум).

Студить подколпачное устройство до Т=50°С на подложке, закрыть затвор, разгерметизировать колпак.

Поднять колпак, вынуть подложку, поместить ее в специальную тару.

Проверить адгезию напыленного слоя.

Измерить удельное поверхностное сопротивление напыленных пленок.

Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по ее эксплуатации.

Требования Безопасности

    1. Установка и приборы, используемые при напылении, должны быть заземлены. 2. Установка находящаяся под напряжением должна быть под постоянным наблюдением. 3. Во избежание ожогов соблюдать осторожность при работе с нагретыми частями установки (нагреватель паромасляного насоса, подложки, нагреватель подложек, экраны). 4. При работе на установке пользоваться инструкцией по технике безопасности и промышленной санитарии УЭ0.019.230 и для операторов вакуумных напылительных процессов.

Оборудование: Установка Вакуумного Напыления УВН-71р-3 УРМ3.279.017, Вибропитатель НТО.599.000, Генератор Сигналов Звуковых Частот Г3-33, Омметр В7-15 ГОСТ 4235-80.

Инструмент: Пинцет МН 500-60, плоскогубцы ГОСТ 547-52, отвертки ГОСТ 17199-71, ключи, потенциометр КСМ 2-004.

Оснастка: Тара для подложек УЭ 7878-4229, испаритель УЭ 7893-4263, контрольный образец ("свидетель") УЭ 7893-4263.

Материалы: Спирт этиловый ректификованный высшего сорта ГОСТ 5962-67, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, хром ГОСТ 12766-67, медь ГОСТ 3547-68, напальчники ГОСТ 14681-69, перчатки хирургические ГОСТ 3-75.

Фотолитография и травление

Поместить подложку на столик центрифуги.

Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин, время вращения - 1 минута.

Повторить операцию для всех пластин.

Сушить подложки в термостате в течение 15 минут при.

Совместить подложку с фотошаблоном №3, экспонировать в течение 1 минуты.

Приготовить раствор проявителя: 1% KOH, 99% H2O.

Проявить изображение схемы, поместив подложку в держателе в фарфоровую чашку с раствором проявления.

Промыть подложку в потоке дистиллированной воды в течение 1 минуты.

Сушить подложку до полного высыхания струей сжатого воздуха, пропущенного через фильтр "Фасто".

Произвести контроль изображения. Изображение должно быть четким с ровными краями, без разрывов.

Поместить пластину в термостат, дубить в течение 5 минут при.

Извлечь подложку из шкафа и охладить в течение 10 минут в темном месте.

Проверить качество фоторезистивного слоя под микроскопом при 25-кратном увеличении. Слой должен быть гладким, равномерным, глянцевым, без пузырей и отслоений.

Произвести травление меди в растворе (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл).

Промыть проточной дистиллированной водой в течение 1 минуты.

Проконтролировать качество травления визуально под микроскопом.

Произвести травление хрома в растворе концентрированной соляной кислоты с присадкой Al.

Промыть проточной дистиллированной водой.

Проконтролировать качество проявление визуально под микроскопом.

Удалить фоторезистивную маску в диоксане.

Промыть дистиллированной водой в течение 1 минуты.

Контролировать качество удаления фоторезиста визуально под микроскопом.

При необходимости повторить операцию удаления фоторезиста.

Провести окончательную очистку подложки. Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить 1 минуту, сушить в парах спирта.

Поместить подложки в тару для хранения и транспортировки.

Требования безопасности

    1. Все работы выполнять в белых халатах шапочках и тапочках. 2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно следующим инструкциям:
      А) УЭ0.019.111И "Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории и микроэлектроники". Б)"Инструкция по эксплуатации установки проявления фоторезиста ПФ". В)"Инструкция по эксплуатации установки нанесения фоторезиста ПНФ".
    3. Диоксан - бесцветная прозрачная жидкость со слабым приятным запахом. Ядовит. Легко воспламеняется. С водой и органическими растворителями смешивается во всех соотношениях. Проникает в организм человека через дыхательные пути и кожу.

Меры предосторожности

    1. Работать только в перчатках и напальчниках. 2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции. 3. Все работы с диоксаном производить в вытяжном шкафу.

Оборудование: Микроскоп тип МБС-1 ТУ3-3.201-71, установка нанесения фоторезиста ПНФ-1, установка сушки и дубления фоторезиста УСДФ-192М2.250.00Ф, шкаф вытяжной 2ШНЖТУ 95.7028-73, весы лабораторные квадратные модели ВЛК-500гТУ 25-06-1101-72, установка совмещения и экспонирования ЭМ-526Я2М2.252.05 ФО, дистиллятор Д-4.

Инструмент: Термометр ртутный стеклянный до 1500С ГОСТ 9871-75, секундомер ГОСТ 5072-72, пинцет МН 500-60.

Оснастка: Фильтр "Факто" УЭ 7887-4165, кассета для подложек УЭ 7893-4411, фторопластовая ванна для травления УЭ 5682-4694.

Материалы: Фоторезист ФН-11 ТУ 6-14-631-71, спирт этиловый ректификованный 1 сорт, диоксан сцинтилляционный ГОСТ 10455-75, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, вода дистиллированная ГОСТ 6709-72, плавиковая кислота ГОСТ 10484-73, перчатки хирургические ГОСТ 3-75, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69, калий едкий чешуированный ТУ 6-18-5О-86, кислота соляная ГОСТ 3118-77, хромовый ангидрид (CrO3) ГОСТ 3776-68, кислота серная ГОСТ 2184-77.

Контроль

Контролировать качество полученной структуры под микроскопом МБС-1.

Отбраковывать подложки с дефектами.

Оборудование: Микроскоп МБС-1.

Инструмент: Пинцет МН500-60, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73.

Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73.

Оборудование: Электрическая плитка ЭПК-7А ГОСТ 306-69,Инструмент: Пинцет МН500-60.

Оснастка: Кассета для подложек УЭ 7893-4411, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортирования УЭ 78934412-01, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.

Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69.

Похожие статьи




Изготовление слоя диэлектрика, Изготовление слоя технологических перемычек - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Предыдущая | Следующая