Изготовление слоя диэлектрика, Изготовление слоя технологических перемычек - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора
Изготовление слоя технологических перемычек
Напыление слоя Cr-Cu
Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации.
Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ.25200.00121.
Установить испарители на позицию напыления:
Для первого слоя (хром) - испаритель из молибденовой ленты;
Для второго слоя (медь) - испаритель из 6-и вольфрамовых проволок.
Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.
Опустить колпак.
Откачать рабочую камеру до давления 510-5 мм. рт. ст. согласно инструкции по эксплуатации.
Произвести отжиг испарителей.
Студить рабочую камеру в течение 1 часа при открытом затворе.
Закрыть затвор, разгерметизировать, поднять колпак.
Поместить на первый испаритель хром, на второй медь.
Подготовить подложкодержатель и контрольный образец - "Свидетель" к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:
- А) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе; Б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на подложкодержатель.
Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.
Проверить цепь контрольного образца - "Свидетеля" на отсутствие обрывов и коротких замыканий.
Опустить колпак. Произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.
Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 200100С.
Подать ток на молибденовый испаритель, наблюдать через смотровое окно и в момент, когда хром раскалится до бела открыть заслонку, толщину слоя отслеживаем по свидетелю при достижении требуемого сопротивления закрыть заслонку.
Передвинуть карусель с испарителем на следующую позицию.
Подать на вольфрамовый испаритель ток, открыть заслонку, напылять медь в течение 1 минуты, закрыть заслонку.
Выключить все источники питания напылительного блока.
Продолжать нагрев подложки в течении 10 мин., затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий вакуум).
Студить подколпачное устройство до Т=50°С на подложке, закрыть затвор, разгерметизировать колпак.
Поднять колпак, вынуть подложку, поместить ее в специальную тару.
Проверить адгезию напыленного слоя.
Измерить удельное поверхностное сопротивление напыленных пленок.
Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по ее эксплуатации.
Требования Безопасности
- 1. Установка и приборы, используемые при напылении, должны быть заземлены. 2. Установка находящаяся под напряжением должна быть под постоянным наблюдением. 3. Во избежание ожогов соблюдать осторожность при работе с нагретыми частями установки (нагреватель паромасляного насоса, подложки, нагреватель подложек, экраны). 4. При работе на установке пользоваться инструкцией по технике безопасности и промышленной санитарии УЭ0.019.230 и для операторов вакуумных напылительных процессов.
Оборудование: Установка Вакуумного Напыления УВН-71р-3 УРМ3.279.017, Вибропитатель НТО.599.000, Генератор Сигналов Звуковых Частот Г3-33, Омметр В7-15 ГОСТ 4235-80.
Инструмент: Пинцет МН 500-60, плоскогубцы ГОСТ 547-52, отвертки ГОСТ 17199-71, ключи, потенциометр КСМ 2-004.
Оснастка: Тара для подложек УЭ 7878-4229, испаритель УЭ 7893-4263, контрольный образец ("свидетель") УЭ 7893-4263.
Материалы: Спирт этиловый ректификованный высшего сорта ГОСТ 5962-67, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, хром ГОСТ 12766-67, медь ГОСТ 3547-68, напальчники ГОСТ 14681-69, перчатки хирургические ГОСТ 3-75.
Фотолитография и травление
Поместить подложку на столик центрифуги.
Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин, время вращения - 1 минута.
Повторить операцию для всех пластин.
Сушить подложки в термостате в течение 15 минут при.
Совместить подложку с фотошаблоном №3, экспонировать в течение 1 минуты.
Приготовить раствор проявителя: 1% KOH, 99% H2O.
Проявить изображение схемы, поместив подложку в держателе в фарфоровую чашку с раствором проявления.
Промыть подложку в потоке дистиллированной воды в течение 1 минуты.
Сушить подложку до полного высыхания струей сжатого воздуха, пропущенного через фильтр "Фасто".
Произвести контроль изображения. Изображение должно быть четким с ровными краями, без разрывов.
Поместить пластину в термостат, дубить в течение 5 минут при.
Извлечь подложку из шкафа и охладить в течение 10 минут в темном месте.
Проверить качество фоторезистивного слоя под микроскопом при 25-кратном увеличении. Слой должен быть гладким, равномерным, глянцевым, без пузырей и отслоений.
Произвести травление меди в растворе (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл).
Промыть проточной дистиллированной водой в течение 1 минуты.
Проконтролировать качество травления визуально под микроскопом.
Произвести травление хрома в растворе концентрированной соляной кислоты с присадкой Al.
Промыть проточной дистиллированной водой.
Проконтролировать качество проявление визуально под микроскопом.
Удалить фоторезистивную маску в диоксане.
Промыть дистиллированной водой в течение 1 минуты.
Контролировать качество удаления фоторезиста визуально под микроскопом.
При необходимости повторить операцию удаления фоторезиста.
Провести окончательную очистку подложки. Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить 1 минуту, сушить в парах спирта.
Поместить подложки в тару для хранения и транспортировки.
Требования безопасности
- 1. Все работы выполнять в белых халатах шапочках и тапочках. 2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно следующим инструкциям:
- А) УЭ0.019.111И "Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории и микроэлектроники". Б)"Инструкция по эксплуатации установки проявления фоторезиста ПФ". В)"Инструкция по эксплуатации установки нанесения фоторезиста ПНФ".
Меры предосторожности
- 1. Работать только в перчатках и напальчниках. 2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции. 3. Все работы с диоксаном производить в вытяжном шкафу.
Оборудование: Микроскоп тип МБС-1 ТУ3-3.201-71, установка нанесения фоторезиста ПНФ-1, установка сушки и дубления фоторезиста УСДФ-192М2.250.00Ф, шкаф вытяжной 2ШНЖТУ 95.7028-73, весы лабораторные квадратные модели ВЛК-500гТУ 25-06-1101-72, установка совмещения и экспонирования ЭМ-526Я2М2.252.05 ФО, дистиллятор Д-4.
Инструмент: Термометр ртутный стеклянный до 1500С ГОСТ 9871-75, секундомер ГОСТ 5072-72, пинцет МН 500-60.
Оснастка: Фильтр "Факто" УЭ 7887-4165, кассета для подложек УЭ 7893-4411, фторопластовая ванна для травления УЭ 5682-4694.
Материалы: Фоторезист ФН-11 ТУ 6-14-631-71, спирт этиловый ректификованный 1 сорт, диоксан сцинтилляционный ГОСТ 10455-75, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, вода дистиллированная ГОСТ 6709-72, плавиковая кислота ГОСТ 10484-73, перчатки хирургические ГОСТ 3-75, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69, калий едкий чешуированный ТУ 6-18-5О-86, кислота соляная ГОСТ 3118-77, хромовый ангидрид (CrO3) ГОСТ 3776-68, кислота серная ГОСТ 2184-77.
Контроль
Контролировать качество полученной структуры под микроскопом МБС-1.
Отбраковывать подложки с дефектами.
Оборудование: Микроскоп МБС-1.
Инструмент: Пинцет МН500-60, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73.
Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73.
Оборудование: Электрическая плитка ЭПК-7А ГОСТ 306-69,Инструмент: Пинцет МН500-60.
Оснастка: Кассета для подложек УЭ 7893-4411, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортирования УЭ 78934412-01, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.
Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69.
Похожие статьи
-
Напыление слоя Cr-Al Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации. Подготовить вакуумную камеру к напылению в...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторизист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить подложку на столик центрифуги. Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Общие положения При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом. Спирт хранить в...
-
Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл). Произвести...
-
Визуальный контроль под микроскопом на наличие дефектов (царапин, сколов, пятен, трещин) При наличии дефектов произвести отбраковку. Подложки, прошедшие...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторезист ФН-11, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500...
-
Поместить пластину на столик центрифуги Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин); Сушить фоторезистивную...
-
Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты...
-
В качестве заготовки для шестерни используем поковку, изготовленную на горячештамповочном кривошипном прессе. Существует ряд основных принципов...
-
Технологический анализ чертежа Деталь - колесо зубчатое, изготовляется из легированной стали 45Х ГОСТ 4543-71 (С=0,41% ; Si=0,17% ; Mn=0,5% ; Cr=0,8%),...
-
В результате выполнения данной работы была проведена разработка технологического процесса изготовления партии деталей, установлены и рассчитаны: материал...
-
Рассчитываем элементы схемы автогенератора, Расчет ГУНа - Разработка радиопередающего устройства
Для улучшения стабильности частоты целесообразно выбрать контур с высокой добротностью (Qнен - добротность ненагруженного контура ) и большим...
-
Нанесение защитной пленки диэлектрика (Si02) - Электроника и схемотехника аналоговых устройств
После формирования кремниевой подложки наступает этап создания сложнейшей полупроводниковой структуры. Для этого в кремний нужно внедрить так называемые...
-
Устройство СИТОВ-1 предназначено для проверки технических характеристик тормоза грузовых вагонов после постройки или ремонта и используется в...
-
При установлении нормы времени на выполнение данной операции определяется разряд квалификации работы по тарифно-квалификационному справочнику [2]. В...
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
Введение - Разработка технологического процесса изготовления зубчатого колеса
Одной из важнейших задач стоящих перед машиностроением, является всемерное повышение технического уровня производства. Решение этой задачи определяется...
-
При деповском и капитальном ремонте вагонов производится полный осмотр автосцепного устройства. При этом все его съемные узлы и детали независимо от...
-
В этом подразделе пояснительной записки необходимо выполнить планировку участка (отделения), имеющуюся на предприятии по месту практики. Планировка...
-
Термином оптимальный синтез определяют процесс построения устройства с заданными свойствами, оптимально учитывающий совокупность технико-экономических...
-
Основная задача, которую преследуют ремонтные предприятия, это снижение себестоимости ремонта автомобилей и агрегатов при обеспечении гарантий...
-
Выходной каскад для согласования с внешней нагрузкой выполнен по схеме эмиттерного повторителя. При этом RН=50 Ом и ток покоя выбирается достаточно...
-
Выбор и обоснование принципиальной схемы предварительного усилителя ФПУ В соответствии со структурной схемой приведенной ранее, ФПУ конструктивно делится...
-
Учитывая все вышеперечисленное, можно сделать вывод, что при коротких линиях аналоговых ВОСПИ для исключения искажений сигнала необходимо использовать...
-
Устройство освещения - Технологическое проектирование станции технического обслуживания автомобилей
Для агрегатно-механического участка применяют естественное и искусственное освещение, естественный свет лучше по своему спектральному составу, чем...
-
Заключение - Разработка радиопередающего устройства
Главной задачей данного курсового проекта было спроектировать РПУ, которое позволяет передавать цифровую информацию (код) с помощью частотной...
-
Солнечный светофор состоит из солнечной электростанции и светодиодного светофора Т.7. Солнечная электростанция состоит из: - Корпус-моноблок с крышкой и...
-
Современный процесс разработки технического устройства можно разбить на следующие составные части: Научно-исследовательская работа (НИР);...
-
Принципы построения ВОСПИ Оптические волокна производятся разными способами, они обеспечивают передачу оптического излучения на разных длинах волн, имеют...
-
В данной работе разрабатывается микропроцессорная система минимальной конфигурацией, что предполагает использование управляющих сигналов, формируемых...
-
Расположение тяговой территории выбирается таким образом, чтобы обеспечить уборку локомотивов от поездов и подачу их к составам с минимальной затратой...
-
Разработка функциональной схемы устройства - Разработка автомобильной охранной сигнализации
Функциональная схема автомобильной сигнализации показана на рисунке 6. Функциональная схема брелока управляющего автомобильной сигнализацией показана на...
-
Выбор материала шатуна Для изготовления шатуна бензинового автомобильного двигателя (n=6000 об/мин) выбираем в качестве материала шатуна сталь 18Х2Н4МА,...
-
Для организации ТО и ремонта топливной аппаратуры, составляют технологические карты, которые бывают постовыми и операционными. Согласно теме курсового...
-
Разработка структурной схемы устройства - Разработка автомобильной охранной сигнализации
Структурная схема проектируемой автомобильной сигнализации изображена на рисунке 5. Рисунок 5 - Структурная схема автомобильной сигнализации...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
Защитное заземление - преднамеренное электрическое соединение с землей или ее эквивалентом металлических нетоковедущих частей, которые могут оказаться...
-
Электробезопасность Электричество широко применяется во всех отраслях народного хозяйства, в быту, в медицине и т. д. Поэтому вопросам...
Изготовление слоя диэлектрика, Изготовление слоя технологических перемычек - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора