Электрохимическое анодирование Al - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты CH3COOH, 40 гр. этилового спирта, 10 гр. малоновой кислоты HOOCCH2COOH в расчете на литр дистиллированной воды).

На зажимы подать напряжение необходимое для окисления алюминия (плотность тока на одну подложку 1 А/дм2, температура электролита 20-40°С).

Окислять подложку на глубину 0,1 мкм.

Выключить напряжение.

Подложку промыть дистиллированной водой.

Сушить подложку центрифугированием.

Проверить качество слоя диэлектрика визуально под микроскопом и отбраковать некачественные подложки.

Поместить подложку в специальную тару.

Требования безопасности

    1. Все работы выполнять в белых халатах шапочках и тапочках. 2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно УЭ0.019.111И "Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории и микроэлектроники".

Меры предосторожности

    1. Работать только в перчатках и напальчниках. 2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции.

Оборудование: Микроскоп тип МБС-1 ТУ3-3.201-71, шкаф вытяжной 2ШНЖТУ 95.7028-73, весы лабораторные квадратные модели ВЛК-500гТУ 25-06-1101-72, ванна электролитическая КВУ-19, блок питания GPR-3520HD.

Инструмент: Термометр ртутный стеклянный до 1500С ГОСТ 9871-75, секундомер ГОСТ 5072-72, пинцет МН 500-60.

Оснастка: Фильтр "Факто" УЭ 7887-4165, кассета для подложек УЭ 7893-4411, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.

Материалы: Спирт этиловый ректификованный 1 сорт, сульфосалициловая кислота ГОСТ 4478-78, кислота борная ГОСТ 18704-78, кислота уксусная ГОСТ 19814-74, малоновая кислота ТУ 6-09-2608-77, перчатки хирургические ГОСТ 3-75, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69.

Похожие статьи




Электрохимическое анодирование Al - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Предыдущая | Следующая