Изготовление слоя нижних обкладок конденсаторов, Напыление слоя Cr-Al - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора
Напыление слоя Cr-Al
Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации.
Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ.25200.00121.
Установить испарители на позицию напыления:
Для первого слоя (хром) - испаритель из молибденовой ленты;
Для второго слоя (алюминий) - испаритель из 6-и вольфрамовых проволок.
Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.
Определить сопротивление, которое необходимо напылить по формуле, где - удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки, N-число квадратов.
Опустить колпак.
Откачать рабочую камеру до давления 510-5 мм. рт. ст. согласно инструкции по эксплуатации.
Произвести отжиг испарителей.
Студить рабочую камеру в течение 1 часа при открытом затворе.
Закрыть затвор, разгерметизировать, поднять колпак.
Поместить на первый испаритель хром, на второй алюминий.
Подготовить подложкодержатель и контрольный образец - "Свидетель" к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:
- А) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе; Б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на подложкодержатель.
Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.
Проверить цепь контрольного образца - "Свидетеля" на отсутствие обрывов и коротких замыканий.
Опустить колпак. Произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.
Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 200100С.
Подать ток на молибденовый испаритель, наблюдать через смотровое окно и в момент, когда хром раскалится до бела открыть заслонку, толщину слоя нихром отслеживаем по свидетелю при достижении требуемого сопротивления закрыть заслонку.
Передвинуть карусель с испарителем на следующую позицию.
Подать на вольфрамовый испаритель ток, открыть заслонку, напылять алюминий в течение 1 минуты, закрыть заслонку.
Выключить все источники питания напылительного блока.
Продолжать нагрев подложки в течении 10 мин., затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий вакуум).
Студить подколпачное устройство до Т=50°С на подложке, закрыть затвор, разгерметизировать колпак.
Поднять колпак, вынуть подложку, поместить ее в специальную тару.
Проверить адгезию напыленного слоя.
Измерить удельное поверхностное сопротивление напыленных пленок.
Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по ее эксплуатации.
Требования Безопасности
- 1. Установка и приборы, используемые при напылении, должны быть заземлены. 2. Установка находящаяся под напряжением должна быть под постоянным наблюдением. 3. Во избежание ожогов соблюдать осторожность при работе с нагретыми частями установки (нагреватель паромасляного насоса, подложки, нагреватель подложек, экраны). 4. При работе на установке пользоваться инструкцией по технике безопасности и промышленной санитарии УЭ0.019.230 и для операторов вакуумных напылительных процессов.
Оборудование: Установка Вакуумного Напыления УВН-71р-3 УРМ3.279.017, Вибропитатель НТО.599.000, Генератор Сигналов Звуковых Частот Г3-33, Омметр В7-15 ГОСТ 4235-80.
Инструмент: Пинцет МН 500-60, плоскогубцы ГОСТ 547-52, отвертки ГОСТ 17199-71, ключи, потенциометр КСМ 2-004.
Оснастка: Тара для подложек УЭ 7878-4229, испаритель УЭ 7893-4263, контрольный образец ("свидетель") УЭ 7893-4263.
Материалы: Спирт этиловый ректификованный высшего сорта ГОСТ 5962-67, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, хром ГОСТ 12766-67, алюминий ГОСТ 11069-84, напальчники ГОСТ 14681-69, перчатки хирургические ГОСТ 3-75.
Похожие статьи
-
Изготовление слоя технологических перемычек Напыление слоя Cr-Cu Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации....
-
Общие положения При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом. Спирт хранить в...
-
Поместить подложку на столик центрифуги. Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторизист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл). Произвести...
-
Поместить пластину на столик центрифуги Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин); Сушить фоторезистивную...
-
Визуальный контроль под микроскопом на наличие дефектов (царапин, сколов, пятен, трещин) При наличии дефектов произвести отбраковку. Подложки, прошедшие...
-
Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторезист ФН-11, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500...
-
Рассчитываем элементы схемы автогенератора, Расчет ГУНа - Разработка радиопередающего устройства
Для улучшения стабильности частоты целесообразно выбрать контур с высокой добротностью (Qнен - добротность ненагруженного контура ) и большим...
-
В качестве заготовки для шестерни используем поковку, изготовленную на горячештамповочном кривошипном прессе. Существует ряд основных принципов...
-
Устройство СИТОВ-1 предназначено для проверки технических характеристик тормоза грузовых вагонов после постройки или ремонта и используется в...
-
При всем многообразии применяемых в производстве ремонтных операций все же многие из них можно сгруппировать в типовые группы с одинаковым...
-
Микросхема диэлектрический биполярный полупроводниковый Полупроводниковая ИС - это микросхема, которая представляет собой кристалл полупроводника, в...
-
ПУ усиливает электрический сигнал, обеспечивая наибольшее отношение сигнал/шум. Основные требования, предъявляемые к ПУ - минимальные шумы, максимальный...
-
Заключение - Разработка радиопередающего устройства
Главной задачей данного курсового проекта было спроектировать РПУ, которое позволяет передавать цифровую информацию (код) с помощью частотной...
-
Выходной каскад для согласования с внешней нагрузкой выполнен по схеме эмиттерного повторителя. При этом RН=50 Ом и ток покоя выбирается достаточно...
-
Технологический анализ чертежа Деталь - колесо зубчатое, изготовляется из легированной стали 45Х ГОСТ 4543-71 (С=0,41% ; Si=0,17% ; Mn=0,5% ; Cr=0,8%),...
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
В результате выполнения данной работы была проведена разработка технологического процесса изготовления партии деталей, установлены и рассчитаны: материал...
-
При установлении нормы времени на выполнение данной операции определяется разряд квалификации работы по тарифно-квалификационному справочнику [2]. В...
-
Введение - Разработка технологического процесса изготовления зубчатого колеса
Одной из важнейших задач стоящих перед машиностроением, является всемерное повышение технического уровня производства. Решение этой задачи определяется...
-
Ужесточение условий работы масел в трансмиссиях, редукторах, за последние десятилетия привело к необходимости повышения противоизносных, противозадирных....
-
Качество и долговечность лакокрасочного покрытия кузовов в значительной мере зависят от правильного выбора и соблюдения режима сушки. Интенсифицировать...
-
Термином оптимальный синтез определяют процесс построения устройства с заданными свойствами, оптимально учитывающий совокупность технико-экономических...
-
Конструктивные, технологические и эксплуатационные преимущества миниатюрных радиотехнических устройств сопровождаются увеличением диссипативных потерь в...
-
При деповском и капитальном ремонте вагонов производится полный осмотр автосцепного устройства. При этом все его съемные узлы и детали независимо от...
-
Основная задача, которую преследуют ремонтные предприятия, это снижение себестоимости ремонта автомобилей и агрегатов при обеспечении гарантий...
-
При выборе оборудования для каждой технологической операции необходимо учитывать назначение обработки, габаритные размеры деталей размер партии...
-
В этом подразделе пояснительной записки необходимо выполнить планировку участка (отделения), имеющуюся на предприятии по месту практики. Планировка...
-
Расчет характеристик НВЛ начинается с введения исходных данных. Оно происходит следующим образом. Сначала вводится тип первого четырехполюсника (всего...
-
Результаты расчета НВЛ рассматриваются на одном примере. Исходные данные для примера: Тип первого четырехполюсника - 5 (отрезок линии с замкнутыми...
-
Разработка функциональной схемы устройства - Разработка автомобильной охранной сигнализации
Функциональная схема автомобильной сигнализации показана на рисунке 6. Функциональная схема брелока управляющего автомобильной сигнализацией показана на...
-
Выбор материала шатуна Для изготовления шатуна бензинового автомобильного двигателя (n=6000 об/мин) выбираем в качестве материала шатуна сталь 18Х2Н4МА,...
-
Для организации ТО и ремонта топливной аппаратуры, составляют технологические карты, которые бывают постовыми и операционными. Согласно теме курсового...
-
Разработка структурной схемы устройства - Разработка автомобильной охранной сигнализации
Структурная схема проектируемой автомобильной сигнализации изображена на рисунке 5. Рисунок 5 - Структурная схема автомобильной сигнализации...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
В связи с тем, что питание измерительных приборов осуществляется от сети напряжением 220 В и не исключается возможность одновременного прикосновения...
-
В данной работе разрабатывается микропроцессорная система минимальной конфигурацией, что предполагает использование управляющих сигналов, формируемых...
Изготовление слоя нижних обкладок конденсаторов, Напыление слоя Cr-Al - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора