Изготовление слоя нижних обкладок конденсаторов, Напыление слоя Cr-Al - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Напыление слоя Cr-Al

Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации.

Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ.25200.00121.

Установить испарители на позицию напыления:

Для первого слоя (хром) - испаритель из молибденовой ленты;

Для второго слоя (алюминий) - испаритель из 6-и вольфрамовых проволок.

Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.

Определить сопротивление, которое необходимо напылить по формуле, где - удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки, N-число квадратов.

Опустить колпак.

Откачать рабочую камеру до давления 510-5 мм. рт. ст. согласно инструкции по эксплуатации.

Произвести отжиг испарителей.

Студить рабочую камеру в течение 1 часа при открытом затворе.

Закрыть затвор, разгерметизировать, поднять колпак.

Поместить на первый испаритель хром, на второй алюминий.

Подготовить подложкодержатель и контрольный образец - "Свидетель" к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:

    А) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе; Б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на подложкодержатель.

Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.

Проверить цепь контрольного образца - "Свидетеля" на отсутствие обрывов и коротких замыканий.

Опустить колпак. Произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.

Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 200100С.

Подать ток на молибденовый испаритель, наблюдать через смотровое окно и в момент, когда хром раскалится до бела открыть заслонку, толщину слоя нихром отслеживаем по свидетелю при достижении требуемого сопротивления закрыть заслонку.

Передвинуть карусель с испарителем на следующую позицию.

Подать на вольфрамовый испаритель ток, открыть заслонку, напылять алюминий в течение 1 минуты, закрыть заслонку.

Выключить все источники питания напылительного блока.

Продолжать нагрев подложки в течении 10 мин., затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий вакуум).

Студить подколпачное устройство до Т=50°С на подложке, закрыть затвор, разгерметизировать колпак.

Поднять колпак, вынуть подложку, поместить ее в специальную тару.

Проверить адгезию напыленного слоя.

Измерить удельное поверхностное сопротивление напыленных пленок.

Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по ее эксплуатации.

Требования Безопасности

    1. Установка и приборы, используемые при напылении, должны быть заземлены. 2. Установка находящаяся под напряжением должна быть под постоянным наблюдением. 3. Во избежание ожогов соблюдать осторожность при работе с нагретыми частями установки (нагреватель паромасляного насоса, подложки, нагреватель подложек, экраны). 4. При работе на установке пользоваться инструкцией по технике безопасности и промышленной санитарии УЭ0.019.230 и для операторов вакуумных напылительных процессов.

Оборудование: Установка Вакуумного Напыления УВН-71р-3 УРМ3.279.017, Вибропитатель НТО.599.000, Генератор Сигналов Звуковых Частот Г3-33, Омметр В7-15 ГОСТ 4235-80.

Инструмент: Пинцет МН 500-60, плоскогубцы ГОСТ 547-52, отвертки ГОСТ 17199-71, ключи, потенциометр КСМ 2-004.

Оснастка: Тара для подложек УЭ 7878-4229, испаритель УЭ 7893-4263, контрольный образец ("свидетель") УЭ 7893-4263.

Материалы: Спирт этиловый ректификованный высшего сорта ГОСТ 5962-67, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, хром ГОСТ 12766-67, алюминий ГОСТ 11069-84, напальчники ГОСТ 14681-69, перчатки хирургические ГОСТ 3-75.

Похожие статьи




Изготовление слоя нижних обкладок конденсаторов, Напыление слоя Cr-Al - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Предыдущая | Следующая