Изготовление слоя резисторов i группы, Общие положения, Напыление слоя кермет К50-С - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора
Общие положения
При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом.
Спирт хранить в закрытой колбе.
Контрольные образцы хранить в бюксе. Перед установкой в вакуумную камеру контрольные образцы протереть батистом, смоченным спиртом.
Резистивный сплав хранить в бюксе.
Испарители до момента установки их в вакуумную камеру хранить в бюксе.
После напыления сплошного слоя сплава РС-3001 производить контроль удельного поверхностного сопротивления напыленных пленок, контроль по внешнему виду на присутствие инородных включений.
Максимальная загрузка резистивного сплава в корпус вибропитателя составляет 5 .
Подложки после операции химической очистки допускается хранить перед напылением резистивного слоя не более 16 часов. Подложки, срок хранения которых превышает 16 часов, должны быть вновь очищены. Не допускается повторную очистку подложку производить более двух раз.
При проведении процесса пользоваться инструкцией по эксплуатации вакуумной установки и используемых приборов.
Напыление слоя кермет К50-С
Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации.
Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ 25200.00121.
Установить испаритель на позицию напыления.
Засыпать резистивный сплав кермет К50-С в корпус вибропитателя примерно на 2/3 его объема.
Подготовить подложкодержатель и контрольный образец - "Свидетель" к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:
- А) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе; Б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на по подложкодержатель.
Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.
Проверить цепь контрольного образца-свидетеля на отсутствие обрывов и коротких замыканий.
Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.
Определить сопротивление, которое необходимо напылить по формуле, где - удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки, N-число квадратов. При напылении резистивных слоев на подложки из ситалла, должно быть меньше заданного по чертежу на 17-22%.
Включить генератор ГЗ-33.
Отпустить колпак. Произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.
Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 20010°С.
Включить питание испарителя. Установить ток через испаритель 15030А и отжечь испаритель в течение 5 минут.
Установить рабочую частоту вибропитателя 235 Гц по указателю на генератор Г3-33.
Плавно установить напряжение на входе вибропитателя в пределах 30-34В по прибору на генераторе Г3-33.
Открыть заслонку.
Произвести напыление резистивной пленки, контролируя изменение сопротивления свидетеля. В процессе напыления следить, чтобы на испарителе не образовывалась горка резистивного сплава.
Закрыть заслонку и снять напряжение на входе вибропитателя по прибору на генераторе ГЗ-33 при достижении расчетной величины сопротивления "свидетеля" (=5000 Ом/?).
Выключить все источники питания напылительного блока.
Продолжать нагрев подложки в течении 40 минут, затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий вакуум).
Студить подколпачное устройство до T=50°С на подложке, закрыть затвор разгерметизировать колпак.
Поднять колпак, вынуть подложки, уложить их в тару.
Проверить адгезию напыленного слоя.
Измерить удельное поверхностное сопротивление напыленных пленок.
Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по ее эксплуатации.
Требования безопасности
- 1. Установка и приборы, используемые при напылении, должны быть заземлены. 2. Установка, находящаяся под напряжением, должна быть под постоянным наблюдением. 3. Во избежание ожогов соблюдать осторожность при работе с нагретыми частями установки (нагреватель паромасляного насоса, подложки, нагреватель подложек, экраны). 4. При работе на установке пользоваться инструкцией по технике безопасности и промышленной санитарии УЭ0.019.230 и для операторов вакуумных напылительных процессов.
Оборудование: Установка Вакуумного Напыления УВН-71р-3 УРМ3.279.017, Вибропитатель НТО.599.000, Генератор Сигналов Звуковых Частот Г3-33.
Инструмент: Плоскогубцы ГОСТ 547-52, отвертки ГОСТ 17199-71, ключи, потенциометр КСМ 2-004, пинцет МН 500-60.
Оснастка: Тара для подложек УЭ 7878-4229, испаритель УЭ 7893-4263, контрольный образец ("свидетель") УЭ 7893-4263.
Материалы: Спирт этиловый ректификованный высшего сорта ГОСТ 5962-67, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, резистивный сплав К50-С ЕТО.021.013 ТУ, напальчники ГОСТ 14681-69, перчатки хирургические ГОСТ 3-75.
Похожие статьи
-
Изготовление слоя технологических перемычек Напыление слоя Cr-Cu Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации....
-
Напыление слоя Cr-Al Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации. Подготовить вакуумную камеру к напылению в...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторизист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить подложку на столик центрифуги. Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить пластину на столик центрифуги Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин); Сушить фоторезистивную...
-
Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл). Произвести...
-
Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты...
-
Визуальный контроль под микроскопом на наличие дефектов (царапин, сколов, пятен, трещин) При наличии дефектов произвести отбраковку. Подложки, прошедшие...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторезист ФН-11, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500...
-
Настоящий технологический процесс устанавливает: - порядок выполнения работ по разборке, ремонту, сборке и контролю составных частей и деталей грузовых...
-
Заземляющие устройства тяговых подстанций. Общие требования - Электрификация участка железной дороги
На каждое находящееся в эксплуатации заземляющее устройство должен быть заведен паспорт, содержащий: Исполнительную схему устройства с привязками к...
-
Расчет выходного усилителя Расчет К-цепи по постоянному току включает выбор режимов транзисторов и расчет сопротивлений резисторов, обеспечивающих...
-
При установлении нормы времени на выполнение данной операции определяется разряд квалификации работы по тарифно-квалификационному справочнику [2]. В...
-
Рассчитываем элементы схемы автогенератора, Расчет ГУНа - Разработка радиопередающего устройства
Для улучшения стабильности частоты целесообразно выбрать контур с высокой добротностью (Qнен - добротность ненагруженного контура ) и большим...
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
В качестве заготовки для шестерни используем поковку, изготовленную на горячештамповочном кривошипном прессе. Существует ряд основных принципов...
-
Технологический анализ чертежа Деталь - колесо зубчатое, изготовляется из легированной стали 45Х ГОСТ 4543-71 (С=0,41% ; Si=0,17% ; Mn=0,5% ; Cr=0,8%),...
-
Методы испытания ОК на стойкость к воздействию внешних факторов приведены в табл. 5. Таблица 5. Методы испытания ОК на стойкость к воздействию внешних...
-
Экспериментальные исследования искажений сигнала производились двухмодовым и одномодовым методами. В качестве регистрирующей аппаратуры использовался...
-
Схема питания устройства представлена на рисунке 5.5. Рисунок 5.5 Микросхема LP2980 - микромощный стабилизатор напряжения с очень низким собственным...
-
Определим граничную частоту усиления ФПУ. Коэффициент усиления К цепи, как функцию передачи информации линейной цепи, представить в операторной форме...
-
ПУ усиливает электрический сигнал, обеспечивая наибольшее отношение сигнал/шум. Основные требования, предъявляемые к ПУ - минимальные шумы, максимальный...
-
Таблица 5 - Описание выбранного режущего инструмента Номер и наименование операции Название режущего инструмента ГОСТ или ТУ на режущий инструмент...
-
Выходной каскад для согласования с внешней нагрузкой выполнен по схеме эмиттерного повторителя. При этом RН=50 Ом и ток покоя выбирается достаточно...
-
Расположение тяговой территории выбирается таким образом, чтобы обеспечить уборку локомотивов от поездов и подачу их к составам с минимальной затратой...
-
При всем многообразии применяемых в производстве ремонтных операций все же многие из них можно сгруппировать в типовые группы с одинаковым...
-
К выполнению ремонтных работ допускаются лица не моложе 16 лет, а к выполнению работ, связанных с использованием этилированного бензина и с ремонтом...
-
Заключение - Разработка радиопередающего устройства
Главной задачей данного курсового проекта было спроектировать РПУ, которое позволяет передавать цифровую информацию (код) с помощью частотной...
-
Устройство освещения - Технологическое проектирование станции технического обслуживания автомобилей
Для агрегатно-механического участка применяют естественное и искусственное освещение, естественный свет лучше по своему спектральному составу, чем...
-
Для реальных структур Сопротивление эмиттерного перехода мало (сотни омов), а сопротивление коллекторного перехода составляет сотни килоом. Допустим, в...
-
Входная и выходная характеристики транзистора с ОЭ несколько отличаются от характеристик транзистора с ОБ. Входной характеристикой транзистора,...
-
Расчет элементов эквивалентной схемы - Разработка радиопередающего устройства
Резистивная и реактивная составляющая входного сопротивления транзистора Zвх=rвх+jXвх Zвх=2.131+j-0.112 Мощность возбуждения Коэффициент усиления...
-
В данной работе разрабатывается микропроцессорная система минимальной конфигурацией, что предполагает использование управляющих сигналов, формируемых...
-
Описание структурной схемы - Разработка радиопередающего устройства
Рис. 1. Структурная схема РПУ. Проектирование любого устройства начинается с составления структурной схемы. Структурных схем частотной манипуляции много,...
-
Выбор материала шатуна Для изготовления шатуна бензинового автомобильного двигателя (n=6000 об/мин) выбираем в качестве материала шатуна сталь 18Х2Н4МА,...
-
Для организации ТО и ремонта топливной аппаратуры, составляют технологические карты, которые бывают постовыми и операционными. Согласно теме курсового...
-
Годовой объем работ по каждой операции в отдельности рассчитывают по формуле TГ =tnNКМр(чел/ч) ТГ=5,286*16,82*7000*0,5=311186,82 чел/ч Где t -...
-
Выбор и обоснование принципиальной схемы предварительного усилителя ФПУ В соответствии со структурной схемой приведенной ранее, ФПУ конструктивно делится...
-
Учитывая все вышеперечисленное, можно сделать вывод, что при коротких линиях аналоговых ВОСПИ для исключения искажений сигнала необходимо использовать...
-
Общие положения о хранении - Оценка работы транспортного терминала
Договор хранения (ст. 886) По договору хранения одна сторона (хранитель) обязуется хранить вещь, переданную ей другой стороной (поклажедателем), и...
Изготовление слоя резисторов i группы, Общие положения, Напыление слоя кермет К50-С - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора