Изготовление слоя резисторов i группы, Общие положения, Напыление слоя кермет К50-С - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Общие положения

При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом.

Спирт хранить в закрытой колбе.

Контрольные образцы хранить в бюксе. Перед установкой в вакуумную камеру контрольные образцы протереть батистом, смоченным спиртом.

Резистивный сплав хранить в бюксе.

Испарители до момента установки их в вакуумную камеру хранить в бюксе.

После напыления сплошного слоя сплава РС-3001 производить контроль удельного поверхностного сопротивления напыленных пленок, контроль по внешнему виду на присутствие инородных включений.

Максимальная загрузка резистивного сплава в корпус вибропитателя составляет 5 .

Подложки после операции химической очистки допускается хранить перед напылением резистивного слоя не более 16 часов. Подложки, срок хранения которых превышает 16 часов, должны быть вновь очищены. Не допускается повторную очистку подложку производить более двух раз.

При проведении процесса пользоваться инструкцией по эксплуатации вакуумной установки и используемых приборов.

Напыление слоя кермет К50-С

Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации.

Подготовить вакуумную камеру к напылению в соответствии с УЭ 25200.00121.

Установить испаритель на позицию напыления.

Засыпать резистивный сплав кермет К50-С в корпус вибропитателя примерно на 2/3 его объема.

Подготовить подложкодержатель и контрольный образец - "Свидетель" к установке в вакуумную камеру в следующем порядке:

    А) протереть подложкодержатель батистом, смоченным спиртом и уложить их на столе; Б) достать пинцетом контрольный образец из бюкса и установить его на по подложкодержатель.

Установить и закрепить подложки в подложкодержатель пользуясь пинцетом.

Проверить цепь контрольного образца-свидетеля на отсутствие обрывов и коротких замыканий.

Проверить работу заслонки. Заслонка должна свободно открываться и закрываться.

Определить сопротивление, которое необходимо напылить по формуле, где - удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки, N-число квадратов. При напылении резистивных слоев на подложки из ситалла, должно быть меньше заданного по чертежу на 17-22%.

Включить генератор ГЗ-33.

Отпустить колпак. Произвести откачку воздуха из камеры до давления 20-30 делений по термопарному вакуумметру.

Включить нагрев подложек. Установить ток накала нагревателя, обеспечивающий нагрев подложек до температуры 20010°С.

Включить питание испарителя. Установить ток через испаритель 15030А и отжечь испаритель в течение 5 минут.

Установить рабочую частоту вибропитателя 235 Гц по указателю на генератор Г3-33.

Плавно установить напряжение на входе вибропитателя в пределах 30-34В по прибору на генераторе Г3-33.

Открыть заслонку.

Произвести напыление резистивной пленки, контролируя изменение сопротивления свидетеля. В процессе напыления следить, чтобы на испарителе не образовывалась горка резистивного сплава.

Закрыть заслонку и снять напряжение на входе вибропитателя по прибору на генераторе ГЗ-33 при достижении расчетной величины сопротивления "свидетеля" (=5000 Ом/?).

Выключить все источники питания напылительного блока.

Продолжать нагрев подложки в течении 40 минут, затем выключить нагрев, студить подколпачное устройство до Т=80°С (при откачке на высокий вакуум).

Студить подколпачное устройство до T=50°С на подложке, закрыть затвор разгерметизировать колпак.

Поднять колпак, вынуть подложки, уложить их в тару.

Проверить адгезию напыленного слоя.

Измерить удельное поверхностное сопротивление напыленных пленок.

Опустить колпак, откачать воздух из камеры до давления 15-20 делений по термопарному вакуумметру и выключить установку согласно инструкции по ее эксплуатации.

Требования безопасности

    1. Установка и приборы, используемые при напылении, должны быть заземлены. 2. Установка, находящаяся под напряжением, должна быть под постоянным наблюдением. 3. Во избежание ожогов соблюдать осторожность при работе с нагретыми частями установки (нагреватель паромасляного насоса, подложки, нагреватель подложек, экраны). 4. При работе на установке пользоваться инструкцией по технике безопасности и промышленной санитарии УЭ0.019.230 и для операторов вакуумных напылительных процессов.

Оборудование: Установка Вакуумного Напыления УВН-71р-3 УРМ3.279.017, Вибропитатель НТО.599.000, Генератор Сигналов Звуковых Частот Г3-33.

Инструмент: Плоскогубцы ГОСТ 547-52, отвертки ГОСТ 17199-71, ключи, потенциометр КСМ 2-004, пинцет МН 500-60.

Оснастка: Тара для подложек УЭ 7878-4229, испаритель УЭ 7893-4263, контрольный образец ("свидетель") УЭ 7893-4263.

Материалы: Спирт этиловый ректификованный высшего сорта ГОСТ 5962-67, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-72, резистивный сплав К50-С ЕТО.021.013 ТУ, напальчники ГОСТ 14681-69, перчатки хирургические ГОСТ 3-75.

Похожие статьи




Изготовление слоя резисторов i группы, Общие положения, Напыление слоя кермет К50-С - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Предыдущая | Следующая