Фотолитография №1, травление №1 (для верхних обкладок конденсаторов, проводников и контактных площадок) - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора
Поместить подложку на столик центрифуги;
Нанести фоторезист ФН-11, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин, время вращения - 1 минута;
Повторить операцию для всех пластин;
Сушить подложки в термостате в течение 15 мин, при Т = 90°С;
Совместить подложку с фотошаблоном №4, экспонировать в течении 1 мин;
Приготовить раствор проявителя: 1% KOH, 99% H2O.
Проявить изображение схемы, поместив подложку в держателе в фарфоровую чашку с раствором проявителя. При непрерывном покачивании чашки следить за проявлением, время проявления 60-120 сек;
Промыть подложку в потоке дистиллированной воды в течение 1 минуты;
Сушить подложку до полного высыхания струей сжатого воздуха, пропущенного через фильтр "Фасто";
Произвести контроль изображения. Изображение должно быть четким с ровными краями, без разрывов;
Поместить пластину в термостат, дубить в течение 5 минут при 120°С.
Извлечь подложку из шкафа и охладить в течение 10 мин в темном месте;
Проверить качество фоторезистивного слоя под микроскопом при 25-кратном увеличении. Слой должен быть гладким, равномерным, глянцевым, без пузырей и отслоений;
Произвести травление никеля (Ni) в растворе: НNО3: Н2О (1:
1);
Промыть проточной дистиллированной водой;
Проконтролировать качество травления визуально под микроскопом;
Произвести травление алюминия (Al) в растворе: Н3РО4: Н2О (6: 4);
Промыть проточной дистиллированной водой;
Произвести травление хрома (Cr) в растворе: НС1 с присадкой Al;
Промыть проточной дистиллированной водой;
Проконтролировать качество травления визуально под микроскопом. В случае необходимости повторить предыдущие два пункта;
Удалить фоторезистивную маску в диоксане;
Промыть дистиллированной водой в течение 1 мин;
Контролировать качество удаления фоторезиста визуально под микроскопом;
При необходимости повторить операцию удаления фоторезиста;
Похожие статьи
-
Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл). Произвести...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторизист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить подложку на столик центрифуги. Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить пластину на столик центрифуги Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин); Сушить фоторезистивную...
-
Визуальный контроль под микроскопом на наличие дефектов (царапин, сколов, пятен, трещин) При наличии дефектов произвести отбраковку. Подложки, прошедшие...
-
Изготовление слоя технологических перемычек Напыление слоя Cr-Cu Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации....
-
Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты...
-
Напыление слоя Cr-Al Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации. Подготовить вакуумную камеру к напылению в...
-
Общие положения При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом. Спирт хранить в...
-
Технологический анализ чертежа Деталь - колесо зубчатое, изготовляется из легированной стали 45Х ГОСТ 4543-71 (С=0,41% ; Si=0,17% ; Mn=0,5% ; Cr=0,8%),...
-
При установлении нормы времени на выполнение данной операции определяется разряд квалификации работы по тарифно-квалификационному справочнику [2]. В...
-
Конструктивные, технологические и эксплуатационные преимущества миниатюрных радиотехнических устройств сопровождаются увеличением диссипативных потерь в...
-
Термином оптимальный синтез определяют процесс построения устройства с заданными свойствами, оптимально учитывающий совокупность технико-экономических...
-
Два варианта такого устройства, соответствующие горизонтальному либо вертикальному расположению отрезка НВЛ в устройстве, показаны на рис. 2.24,а, б . С...
-
Устройство СИТОВ-1 предназначено для проверки технических характеристик тормоза грузовых вагонов после постройки или ремонта и используется в...
-
В этом подразделе пояснительной записки необходимо выполнить планировку участка (отделения), имеющуюся на предприятии по месту практики. Планировка...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
Два варианта замыкания полюсов линии по горизонтали изображены на рис. 2.16, а, б; они соответствуют горизонтальному и вертикальному положениям отрезка...
-
В качестве заготовки для шестерни используем поковку, изготовленную на горячештамповочном кривошипном прессе. Существует ряд основных принципов...
-
Линия передачи, в которой распространяется Т-волна, описывается дифференциальными уравнениями DU / dx = - Z П * I; dI / dx = - Y П * U, (2.22) Где U, I...
-
Одной из важнейших задач современного производства является внедрение в производственный процесс новейших прикладных компьютерных технологий. Это вызвано...
-
Минимальная ширина проводников для ДПП, изготовляемых электрохимическим методом при фотохимическом способе получения рисунка Bmin=b 1min+0,03, (3.2) Где...
-
Учитывая все вышеперечисленное, можно сделать вывод, что при коротких линиях аналоговых ВОСПИ для исключения искажений сигнала необходимо использовать...
-
Автокад. Общие сведения При проектировании полиимидного носителя для высоковольтного драйвера была использована система AutoCAD 12 for Windows фирмы...
-
Исходя из функционального назначения, гильзы цилиндров относятся к главным элементам поршневых ДВС и являются наиболее ответственной деталью ЦПГ. Стенки...
-
Микросхема диэлектрический биполярный полупроводниковый Полупроводниковая ИС - это микросхема, которая представляет собой кристалл полупроводника, в...
-
Экспериментальные исследования искажений сигнала производились двухмодовым и одномодовым методами. В качестве регистрирующей аппаратуры использовался...
-
Операция наплавочная - Устройство, назначение и диагностика двигателя
В ремонтном производстве широкое распространение получила автоматическая наплавка под флюсом, в среде углекислого газа и автоматическая вибродуговая...
-
Перед снятием батареи э. п. с. приводят в нерабочее состояние, выключают рубильник батареи или выключатели распределительного щита и вынимают...
-
В результате выполнения данной работы была проведена разработка технологического процесса изготовления партии деталей, установлены и рассчитаны: материал...
-
Рассчитываем элементы схемы автогенератора, Расчет ГУНа - Разработка радиопередающего устройства
Для улучшения стабильности частоты целесообразно выбрать контур с высокой добротностью (Qнен - добротность ненагруженного контура ) и большим...
-
А) расходы на техническое обслуживание устройств автоблокировки Б) расходы на техническое обслуживание устройств электрической централизации В) расходы...
-
А) на 1 км развернутой длины контактной сети Б) на 1 км эксплуатационной длины дистанции В) на 1 пущенный поезд Г) на 1000 т-км брутто В качестве основы...
-
СЭл. Трл. 3 = СЭл. Рез + СЭл = 480982 + 1938218 = 2419200 /грн/год/; СТ, Трл. 3 = СТ, Рез + СТ = 2419200 + 1310301 = 3729501 /грн/год/. Суммарная...
-
Исходные данные для расчета Исходные данные принимают в соответствии с заданием на курсовое проектирование. Исходные данные: Наименование проектируемого...
-
Исходные данные для разработки ТПГОС Разработка технологического плана-графика обработки судна (ТПГОС) является одной из основных задач оперативного...
-
Для разработки технологических процессов сборки необходимо иметь исходную информацию, которая, согласно ГОСТ 14.303-73 подразделяется на: Базовую;...
-
А) срока эксплуатации контактной сети Б) климатических условий В) категории дистанции электроснабжения Г) количества нетяговых потребителей Численность...
-
А) в составе специфических прямых производственных расходов Б) в составе общепроизводственных расходов В) в составе общехозяйственных расходов Г) в...
-
Расчет характеристик НВЛ начинается с введения исходных данных. Оно происходит следующим образом. Сначала вводится тип первого четырехполюсника (всего...
Фотолитография №1, травление №1 (для верхних обкладок конденсаторов, проводников и контактных площадок) - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора