Травление технологических перемычек, Контроль, Межоперационная очистка - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл).

Произвести травление меди в растворе.

Вынуть подложку из раствора, промыть дистиллированной водой.

Контролировать качество травления визуально под микроскопом МБС-9, при необходимости произвести повторное травление.

Погрузить подложку в посуду с травителем (состав: соляная кислота HCl, дистиллированная вода, соотношение 1: 1, с присадкой алюминия)

Произвести травление хрома в растворе.

Вынуть подложку из раствора, промыть дистиллированной водой.

Контролировать качество травления визуально под микроскопом МБС-9, при необходимости произвести повторное травление.

Промыть подложку дистиллированной водой.

Сушить подложку центрифугированием.

Поместить подложку в тару для транспортировки и хранения.

Требования безопасности

    1. Все работы выполнять в белых халатах шапочках и тапочках. 2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно УЭ0.019.111И "Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории и микроэлектроники".

Меры предосторожности

    1. Работать только в перчатках и напальчниках. 2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции.

Оборудование: Микроскоп тип МБС-1 ТУ3-3.201-71, шкаф вытяжной 2ШНЖТУ 95.7028-73, весы лабораторные квадратные модели ВЛК-500гТУ 25-06-1101-72, центрифуга, дистиллятор Д-4.

Инструмент: Термометр ртутный стеклянный до 1500С ГОСТ 9871-75, секундомер ГОСТ 5072-72, пинцет МН 500-60.

Оснастка: Фильтр "Факто" УЭ 7887-4165, кассета для подложек УЭ 7893-4411, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.

Материалы: Спирт этиловый ректификованный 1 сорт, соляная кислота ТУ 6-01-04689381-85-92, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, вода дистиллированная ГОСТ 6709-72, алюминий ГОСТ 11069-84, перчатки хирургические ГОСТ 3-75, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69, хромовый ангидрид (CrO3) ГОСТ 3776-68, кислота серная ГОСТ 2184-77.

Контроль

Контролировать качество полученной структуры под микроскопом МБС-1.

Отбраковывать подложки с дефектами.

Оборудование: Микроскоп МБС-1.

Инструмент: Пинцет МН500-60, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73.

Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73.

Межоперационная очистка

Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить в течение 5 мин.

Сушить подложку в парах спирта в течении 2-3 мин.

Поместить подложку в тару для хранения и транспортирования.

Оборудование: Электрическая плитка ЭПК-7А ГОСТ 306-69,

Инструмент: Пинцет МН500-60.

Оснастка: Кассета для подложек УЭ 7893-4411, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортирования УЭ 78934412-01, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.

Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69.

Похожие статьи




Травление технологических перемычек, Контроль, Межоперационная очистка - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора

Предыдущая | Следующая