Травление технологических перемычек, Контроль, Межоперационная очистка - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора
Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл).
Произвести травление меди в растворе.
Вынуть подложку из раствора, промыть дистиллированной водой.
Контролировать качество травления визуально под микроскопом МБС-9, при необходимости произвести повторное травление.
Погрузить подложку в посуду с травителем (состав: соляная кислота HCl, дистиллированная вода, соотношение 1: 1, с присадкой алюминия)
Произвести травление хрома в растворе.
Вынуть подложку из раствора, промыть дистиллированной водой.
Контролировать качество травления визуально под микроскопом МБС-9, при необходимости произвести повторное травление.
Промыть подложку дистиллированной водой.
Сушить подложку центрифугированием.
Поместить подложку в тару для транспортировки и хранения.
Требования безопасности
- 1. Все работы выполнять в белых халатах шапочках и тапочках. 2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно УЭ0.019.111И "Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории и микроэлектроники".
Меры предосторожности
- 1. Работать только в перчатках и напальчниках. 2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции.
Оборудование: Микроскоп тип МБС-1 ТУ3-3.201-71, шкаф вытяжной 2ШНЖТУ 95.7028-73, весы лабораторные квадратные модели ВЛК-500гТУ 25-06-1101-72, центрифуга, дистиллятор Д-4.
Инструмент: Термометр ртутный стеклянный до 1500С ГОСТ 9871-75, секундомер ГОСТ 5072-72, пинцет МН 500-60.
Оснастка: Фильтр "Факто" УЭ 7887-4165, кассета для подложек УЭ 7893-4411, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.
Материалы: Спирт этиловый ректификованный 1 сорт, соляная кислота ТУ 6-01-04689381-85-92, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, вода дистиллированная ГОСТ 6709-72, алюминий ГОСТ 11069-84, перчатки хирургические ГОСТ 3-75, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69, хромовый ангидрид (CrO3) ГОСТ 3776-68, кислота серная ГОСТ 2184-77.
Контроль
Контролировать качество полученной структуры под микроскопом МБС-1.
Отбраковывать подложки с дефектами.
Оборудование: Микроскоп МБС-1.
Инструмент: Пинцет МН500-60, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73.
Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73.
Межоперационная очистка
Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить в течение 5 мин.
Сушить подложку в парах спирта в течении 2-3 мин.
Поместить подложку в тару для хранения и транспортирования.
Оборудование: Электрическая плитка ЭПК-7А ГОСТ 306-69,
Инструмент: Пинцет МН500-60.
Оснастка: Кассета для подложек УЭ 7893-4411, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортирования УЭ 78934412-01, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.
Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69.
Похожие статьи
-
Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторизист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторезист ФН-11, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500...
-
Поместить подложку на столик центрифуги. Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Визуальный контроль под микроскопом на наличие дефектов (царапин, сколов, пятен, трещин) При наличии дефектов произвести отбраковку. Подложки, прошедшие...
-
Изготовление слоя технологических перемычек Напыление слоя Cr-Cu Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации....
-
Поместить пластину на столик центрифуги Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин); Сушить фоторезистивную...
-
Напыление слоя Cr-Al Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации. Подготовить вакуумную камеру к напылению в...
-
Общие положения При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом. Спирт хранить в...
-
Для организации ТО и ремонта топливной аппаратуры, составляют технологические карты, которые бывают постовыми и операционными. Согласно теме курсового...
-
Годовой объем работ по каждой операции в отдельности рассчитывают по формуле TГ =tnNКМр(чел/ч) ТГ=5,286*16,82*7000*0,5=311186,82 чел/ч Где t -...
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
В качестве заготовки для шестерни используем поковку, изготовленную на горячештамповочном кривошипном прессе. Существует ряд основных принципов...
-
Микросхема диэлектрический биполярный полупроводниковый Полупроводниковая ИС - это микросхема, которая представляет собой кристалл полупроводника, в...
-
В основе развития этого класса методов лежит утверждение, что анализ речи, основанный на модели слуха человека, будет более успешным, чем анализ,...
-
Таблица 5 - Описание выбранного режущего инструмента Номер и наименование операции Название режущего инструмента ГОСТ или ТУ на режущий инструмент...
-
Пожарная безопасность - Разработка и исследование алгоритма очистки речевого сигнала
Особое внимание к пожарной безопасности является обоснованным, так как в случае пожара будет нанесен значительный материальный ущерб (даже если в...
-
Введение - Разработка и исследование алгоритма очистки речевого сигнала
Алгоритм очистка речевой сигнал Записанный или передаваемый по проводным или радиоканалам с помощью различных технических средств, звуковой, в частности,...
-
Анализ характеристик объекта проектирования трудовой деятельности человека, производственной среды Фотоприемное устройство является модулем приемной...
-
Учитывая все вышеперечисленное, можно сделать вывод, что при коротких линиях аналоговых ВОСПИ для исключения искажений сигнала необходимо использовать...
-
Конструктивные, технологические и эксплуатационные преимущества миниатюрных радиотехнических устройств сопровождаются увеличением диссипативных потерь в...
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
В результате выполнения данной работы была проведена разработка технологического процесса изготовления партии деталей, установлены и рассчитаны: материал...
-
Рассчитываем элементы схемы автогенератора, Расчет ГУНа - Разработка радиопередающего устройства
Для улучшения стабильности частоты целесообразно выбрать контур с высокой добротностью (Qнен - добротность ненагруженного контура ) и большим...
-
При установлении нормы времени на выполнение данной операции определяется разряд квалификации работы по тарифно-квалификационному справочнику [2]. В...
-
Очистка и мойка двигателя автомобиля - обязательная операция, предшествующая его ремонту в любых автосервисах и на станциях техобслуживания. Она во...
-
Технологический анализ чертежа Деталь - колесо зубчатое, изготовляется из легированной стали 45Х ГОСТ 4543-71 (С=0,41% ; Si=0,17% ; Mn=0,5% ; Cr=0,8%),...
-
Введение - Разработка технологического процесса изготовления зубчатого колеса
Одной из важнейших задач стоящих перед машиностроением, является всемерное повышение технического уровня производства. Решение этой задачи определяется...
-
Требования по технике безопасности к инструменту приспособлениям и основному технологическому оборудованию Все рабочие места должны быть в чистоте, не...
-
К методам этого типа относятся, прежде всего, класс методов обработки зашумленных речевых сигналов, которые используют квазипериодичность речевого...
-
Заключение - Разработка радиопередающего устройства
Главной задачей данного курсового проекта было спроектировать РПУ, которое позволяет передавать цифровую информацию (код) с помощью частотной...
-
В настоящей главе анализируются особенности методов, основанных на вычитании амплитудных спектров, для очистки речевых сигналов от стационарных и...
-
Современный процесс разработки технического устройства можно разбить на следующие составные части: Научно-исследовательская работа (НИР);...
-
В настоящей главе анализируются особенности, свойства и характеристики речевых сигналов. Виды шумов акустических помех и искажений, а так же особенности...
-
Выбор материала шатуна Для изготовления шатуна бензинового автомобильного двигателя (n=6000 об/мин) выбираем в качестве материала шатуна сталь 18Х2Н4МА,...
-
Разработка функциональной схемы устройства - Разработка автомобильной охранной сигнализации
Функциональная схема автомобильной сигнализации показана на рисунке 6. Функциональная схема брелока управляющего автомобильной сигнализацией показана на...
-
Разработка структурной схемы устройства - Разработка автомобильной охранной сигнализации
Структурная схема проектируемой автомобильной сигнализации изображена на рисунке 5. Рисунок 5 - Структурная схема автомобильной сигнализации...
-
СХЕМА КОНТРОЛЯ ЧЕТНОСТИ (НЕЧЕТНОСТИ) - Цифровые устройства и микропроцессоры
Схема применяется для выявления одиночных ошибок, вызванных помехами в линии связи или в блоках памяти. Метод основан на подсчете числа единиц в...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
В связи с тем, что питание измерительных приборов осуществляется от сети напряжением 220 В и не исключается возможность одновременного прикосновения...
Травление технологических перемычек, Контроль, Межоперационная очистка - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора