Окисление - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

Обычно первый этап изготовления полупроводниковых приборов включает окисление внешней поверхности пластины, которое позволяет получить тонкую пленку (около одного микрона) диоксида кремния. Эта пленка защищает поверхность кремния от проникновения посторонних химических веществ и служит маской для последующего процесса диффузии. Возможность создавать ("выращивать") на кремнии химически устойчивую защитную пленку диоксида кремния делает кремниевые пластины наиболее широко применяемыми полупроводниковыми подложками.

Окисление, обычно называемое термическим окислением, представляет собой процесс, который выполняют в высокотемпературных диффузионных печах. Защитная пленка диоксида кремния выращивается в атмосфере, содержащей либо кислород (сухое окисление), либо кислород в смеси с водяным паром (жидкостное окисление). Температура в печах поддерживается в диапазоне от 800 до. Также могут добавляться хлористые соединения в виде хлористого водорода (HCl) для контроля нежелательных примесей. На современных предприятиях наблюдается тенденция к применению вертикальных печей окисления. Вертикальные печи лучше соответствуют требованиям строгого контроля загрязнений, большему размеру пластин и делают возможной более равномерную технологическую обработку. Они также позволяют экономить драгоценное место чистых помещений.

Похожие статьи

• Сухое окисление, Жидкостное окисление - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  Кремниевые пластины, подвергаемые окислению, сначала очищаются с помощью детергента и водного раствора, растворителей с ксилолом, изопропиловым спиртом...

• Общие сведения - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  Описание технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов - как дискретных схем (полупроводниковых схем, содержащих только один активный...

• Способы пайки. - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  Способы пайки классифицируют в зависимости от используемых источников нагрева. Наиболее распространены в промышленности пайка в печах, индукционная,...

• Материалы для пайки. - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  Припой. Припои для пайки, заполняющие зазор в расплавленном состоянии между соединяемыми заготовками, должны отвечать следующим требованиям: 1)...

• Типы паяных соединений - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  Основными типами паяных соединений являются стыковые и внахлестку. Остальные разновидности соединений являются комбинациями перечисленных. Например,...

• Физическая сущность процесса пайки. - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  Пайкой называется технологический процесс соединения металлических за - готовок без их расплавления посредством введения между ними расплавленного...

• Подготовка деталей к пайке, Используемая литература - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

  1. Механическая обработка (подгонка деталей друг к другу и создание шероховатости с помощью шкурки) 2. Обезжиривание поверхностей, подготавливаемых для...

• ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ, Разработка технологии изготовления опоры ножа, Технологический контроль чертежа детали, Анализ технологичности конструкции детали - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Разработка технологии изготовления опоры ножа Одна из основных деталей измельчителя является опора ножа представленная на рисунке 3.1 Рисунок 3.1 - Опора...

• Для изготовления детали выбран сплав Д1. Какой химический состав этого сплава? Опишите, каким видам термической обработки он подвергается. В чем сущность процесса старения? - Технологии в металлургии

  Сплав Д1 - относится к числу дюралюминов. Такой вид сплавов обладает достаточно высокой прочностью, пластичностью и относится к числу нормальных...

• Маршрутная технология процесса изготовления деталей - Ремонт токарного станка

  Выбор заготовки: при выборе заготовки для механической обработки заменяемой детали нужно учитывать технические требования, предъявляемые к детали....

• Выбор способа изготовления заготовки, Выбор структуры технологического процесса - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Выбор вида заготовки зависит от конструктивных форм деталей, их назначения, условий их работы в собранной машине, испытываемых напряжений. Существует...

• Составление технических условий на изготовление изделия - Технология сборки и сварки передней рамы фронтального погрузчика МоАЗ 40484

  1) Подготовка деталей на сборку и сварку. Все детали, поступающие на сборку, должны быть изготовлены в соответствие с чертежами, отклонения от плоскости...

• Изготовление стержней - Технология литейного производства

  Стержни применяют в основном для выполнения в отливках отверстий и полостей, а также наружных поверхностей отливок сложной конфигурации. При заливке...

• ВВЕДЕНИЕ - Технология изготовления пластиковых окон

  Современное окно - это сложная инженерная конструкция, к которой предъявляются очень высокие требования и от которой во многом зависит комфорт и дизайн...

• Разработка технологий изготовления форм, Описания технического процесса изготовления полуформ, Сборка формы - Проблема повышения качества отливок

  Описания технического процесса изготовления полуформ Проектируемая отливка изготавливается на автоматической формовочной линии Л - 22821. Такие линии...

• Технология изготовления стойки гидромотора, Заготовка - Конструктивная проработка козлового контейнерного перегружателя грузоподъемностью 40т

  Заготовка Для изготовления заготовок листов под стойку гидромотора применим гидроабразивную резку металла. Этот метод позволяет качественно резать не...

• РАЗМЕТКА И СОЕДИНЕНИЕ ДЕТАЛЕЙ - Технология изготовления шезлонга

  На разметку надо обращать самое большое внимание. Большинство ошибок при изготовлении происходит из-за неправильной разметки. Производится разметка на...

• Разработка технологической схемы сборки ротора - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Сборочный процесс является заключительным этапом изготовления изделия, в нем проявляются результаты всех предыдущих технологических процессов. Сборку...

• Техническое нормирование времени операций - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Расчет норм штучно-калькуляционного времени выполнен по методике [11]. Штучно-калькуляционное время Тшт. к.=tо+tв+tтех+tор+tп+tпз, мин. (3.17) Где tо -...

• Выбор производственного процесса изготовления продукта, Технология производства - Проектирование производства и систем управления мини-пекарень

  Технология производства Основным сырьем для производства хлебопродуктов является мука, вода, соль и дрожжи. Это те компоненты, без которых ничего не...

• Выбор режущего инструмента - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Режущие инструменты выбраны для каждого перехода, предусмотренного в маршруте обработки детали. В соответствии с методикой изложенной в [13]. Результаты...

• Технология получения заготовки, Возможные способы получения заготовки - Разработка технологического процесса изготовления детали "зубчатое колесо"

  Возможные способы получения заготовки Виды обработка металлов давлением Процессы обработки металлов давлением по назначению подразделяют на два вида: 1)...

• Аннотация, Технологический анализ для определения процесса изготовления детали, Технология получения заготовки - Разработка технологического процесса изготовления детали "зубчатое колесо"

  Аносов В. М. Разработка технологического процесса изготовления детали "зубчатое колесо" - Челябинск: ЮУрГУ, ТВ, 2006, 39 стр., 30 илл. Библиография...

• Выбор металлорежущего оборудования - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Выбор металлорежущих станков для обработки детали осуществлен на основании методики, изложенной в [13] с учетом следующих факторов: - вид обработки; -...

• ОКРАШИВАНИЕ МАСЛЯНЫМИ КРАСКАМИ И ЭМАЛЯМИ - Технология изготовления шезлонга

  Прежде всего, необходимо выполнить заделку поврежденных поверхностей (трещины, царапины, отколы, отверстия и т. д.). Крупные отверстия заделываются...

• Конструкция кокиля., Особенности технологии изготовления отливок в кокилях. - Специальные виды литья

  По конструкции различают кокили неразъемные вытряхные(рис. 5,а) и разъемные с горизонтальным (рис. 5,б) и вертикальным (рис. 5, в) разъемами. Разъемные...

• ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР МЕТОДОВ И ОБОРУДОВАНИЯ ИЗМЕЛЬЧЕНИЯ ДРЕВЕСНЫХ ОТХОДОВ - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Измельчение древесных отходов необходимо для обеспечения надежного и устойчивого процесса ее сжигания. Кроме того, однородный фракционный состав...

• Изготовление форм, Общие сведения - Технология литейного производства

  Общие сведения Процесс изготовления литейных форм называется формовкой. Он осуществляется в формовочных отделениях литейного цеха. Стержни изготовляют в...

• Плавка с окислением. - Конструкция и принцип работы елктропечи

  Рассмотрим ход плавки с окислением. После окончания периода расплавления начинается окислительный период, задачи которого заключаются в следующем:...

• Производство стали в мартеновских печах - Новые технологии производства чугуна и стали

  В мартеновских печах сжигают мазут или предварительно подогретые газы с использованием горячего дутья. Печь имеет рабочее (плавильное) пространство и две...

• Изготовление призм - Изготовление клиньев и линз. Центрирование и фасетирование линз

  Примерная обобщенная схема технологического процесса изготовления наиболее распространенной прямоугольной призмы типа АР-900 из прессовки указана на...

• ИНСТРУМЕНТЫ - Технология изготовления шезлонга

  Для выполнения работ вам потребуются следующие инструменты: А) разметочные: складной метр, рулетка, метровая линейка, угольник, рейсмус, шило; Б)...

• Нормирование технологического процесса - Технология изготовления вала

  Нормой времени называется время, необходимое для выполнения операций в определенных организационно-технологических условиях, исходя из рационального...

• ХАРАКТЕРИСТИКА ДРЕВЕСИНЫ - Технология изготовления шезлонга

  Основным материалом для изготовления дачной мебели, безусловно, является древесина или фабрикаты на ее основе. Прочность древесины находится в прямой...

• ЗАКЛЮЧЕНИЕ, ЛИТЕРАТУРА - Технология изготовления шезлонга

  Целью курсовой работы являлась разработка и изготовление шезлонга. Конструкция такой дачной мебели может быть самой незамысловатой, а лучших условий для...

• Технология изготовления детали - Автоматизация технологических процессов сварки на предприятии "АтлантЭнерго"

  Сварка корневого слоя шва выполняется сварщиками в количестве не менее 3-х. Сварка заполняющих и облицовочного слоев шва выполняется двумя сварщиками....

• Разработка общего вида измельчителя и описание принципа его действия - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Основной частью роторного измельчителя (см. рис.2.4) являются два массивных, горизонтально расположенных ротора (2) установленными в сварном коробе (1)....

• Ориентировочный расчет и конструирование приводного вала измельчителя, Предварительный выбор подшипников приводного вала - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Расчет диаметра вала.[7] Dmin = 3 16ЧTkЧ103/рЧ[фk], мм (2.5) Где Tk - крутящий момент на валу, Нм; [фk]- допустимое напряжение при кручении...

• КОНСТРУКТОРСКАЯ ЧАСТЬ, Разработка привода ротора измельчителя, Разработка кинематической схемы, Энергокинематический расчет привода, Подбор электродвигателя - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  Разработка привода ротора измельчителя Разработка кинематической схемы Кинематическая схема роторного привода представлена на рисунке 2.1 Рисунок 2.1 -...

• ЗАКЛЮЧЕНИЕ - Разработка конструкции и элементов технологии изготовления измельчителя древесных отходов

  В данной работе разработан роторный измельчитель. В литературном обзоре рассмотрены различные методы и виды измельчителей древесной отходов, принципы их...

Окисление - Технологии изготовления кремниевых полупроводниковых приборов

Предыдущая | Следующая