Варіанти методів CVD - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
Різноманіття варіантів методу хімічного осадження з газової фази логічно виходить із "класичного" CVD, у якому реакційне середовище формується температурним полем об'єму ссреактора, у якому потік газу-носія забезпечує транспорт прекурсора в приадсобційний прошарок нагрітої до температури термічного розкладання реагенту підкладки. Класичний CVD процесс може проводитися як при нормальному атмосферному, так і при зниженому тиску (low pressure LP CVD). Використаннянизького тиску дозволяє отримувати плівки з високою однорідністю по товщині на підкладках складної форми з розвиненим рельєфом поверхні.
Спрей-піроліз є варіантом класичного CVD, у якому в якості речовини-носія виступає розчинник комплексу прекурсору. Транспорт здійснюється подачею аерозолю розчину на нагріту підкладку. Реакційна зона обмежується паровою подушкою в області підкладки, товщина якої практично збігається з приадсорбційною зоною. Це дозволяє проводити осадження практично в лабораторних умовах під витяжкою. Незважаючи на простоту виконання, метод дозволяє одержувати добрі результати. При проведенні піролітичного осадження велике значення має дисперсність аерозолю. Збільшення дисперсності досягається конструктивними рішеннями розпилю-вальної форсунки, а також застосуванням нових технологічних рішень. Наприклад, використанням ультразвукових диспергаторів (ultrasonic - US CVD).
На відміну від класичних, останнімчасом поширються різноманітні варіанти методу, в яких для покращення умов осадження застосовується активація процессу з допомогою полів різної природи. Таким є зокрема хімічне осадження з газової фази активоване високочастотною плазмою (PA CVD). В ньому високочастотний плазмовий розряд у парах прекурсору дозволяє мінімізувати витрату або практично відмовитися від газу-носія. У зоні розряду, у безпосередній близькості від підкладки, молекули речовини реагенту знаходяться або в збудженому, або в іонізованому стані. Це докорінно змінює картину осадження, не змінюючи її сутності. Вся зона розряду і є предадсорбційной зоною, відповідно до нашого визначення. Високочастотне електромагнітне поле дозволяє цілком зберегти всі переваги класичного методу CVD, додаючи при цьому нові можливості. Наприклад, значно знижуються температурні пороги осадження, поліпшуються параметри епітаксії. Це дозволяє досягти добрих результатів.
Іншим варіантом методу з зовнішньою активацією є хімічне осадження з газової фази активоване лазерним випромінюванням (L CVD). Воно може, у залежності від типу використовуваного лазерного джерела розділятися на резонансне і теплове. При резонансному осадженні використовується близькість робочої частоти лазерного джерела до характеристичних смуг ІЧ - спектрів координаційних сполук. При МО й ОМ осадженні ця ситуація зустрічається досить часто. При тепловому осадженні використовується для переходу в газову фазу і термічного розкладання прекурсорів теплова енергія лазерного випромінювання, поглинута об'ємом газової фази або матеріалом мішені. Предадсорбційною областю є шлях променя лазерного випромінювання в об'ємі газової фази прекурсору. L CVD реалізовані, наскільки нам відомо, у лабораторних умовах і потенціал широкого промислового застосування ще недостатньо розкритий.
Альтернативним є варіант L CVD в об'ємі (LV CVD). Лазерний промінь спрямований на підкладку, поміщену в газове середовище комплексу. Нами отриманий осад Al2O3 [6] на стінках кварцової кювети, у якій була напущена пара ацетилацетонату алюмінію.
Лазерне випромінювання відкриває широкі можливості для активації процессу осадження. Таким, зокрема є варіант L CVD на мішені (LT CVD) [7]. Лазерний промінь спрямований на мішень, на якій нанесений прошарок прекурсору. Нами отриманий відбиток лазерного променя на мішені - підкладці, на яку попередньо був нанесений прошарок бета-дикетонату міді.
Хімічне осадження може відбуватися не лише на нагрітій до відповідної температури підкладки. Воно може відбуватися також на виконанні температурних умов розкладу летких комплексів в об'ємі. Це є основою для хімічного осадження з газової фази у варіанті об'ємної кристалізації (порошко-утворення) [8]. Варіант хімічної кристалізації в о'ємі реалізований нами у вигляді водневого пальника, усередину полум'я якого подавався потік парів комплексу з інертни газом. Піроліз і кристалізація відбувалися безпосередньо в полум'ї. Може розглядатися, як варіант CVD, де в ролі субстрату виступають центри первинної кристалізації. Адсорбційною зоною є область массиву росту речовини. Приадсорбційною зоною є вся зона полум'я, вона ж є і зоною реакції.
Похожие статьи
-
CVD - технології ВТНП - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
Хімічне осадження з газової фази є методом осадження металів і/або сполук, що містять метал, на поверхні або в об'ємі з метою одержання функціональних...
-
На рис.2.3 представлено схема експериментальної установки для осадження плівок з абляційної плазми, отриманої при лазерній дії. В установці застосований...
-
Основні методи одержання надпровідних плівок Існує достатньо велике число технологій отримання тонких плівок, які умовно можуть бути розділені на фізичні...
-
Чутливість надпровідної петлі СКВІДів до зміни енергії озволяє використовувати їх у якості датчиків енергії [11]. Передача енергії надпровідному...
-
Особливості кристалічної структури Аналіз вже наявних відомостей про будову і склад ВТНП дозволив зробити ряд узагальнень. По-перше, практично всі вони є...
-
Сквід СКВІД (SQUID) - надпровідниковий квантовий інтерференційний пристрій, являє собою дуже чутливий вимірювальний універсального призначення, у якому...
-
Методи катодного i iонно-плазмового розпилення матеріалів мають ряд переваг перед методами термічного випаровування у вакуумі, однак їх використання в...
-
З хімічної точки зору, безпрецедентні труднощі при отриманні сучасних класів ВТНП-матеріалів безпосередньо пов'язані з хімічною і структурною складністю...
-
1. Зроблено огляд літератури по проблемі методів отримання надпровідних плівок для надпровідних ІС. 2. На даний час великий інтерес виготовленню ВТНП...
-
Найважливіші фундаментальні характеристики ВТНП-фаз природним чином визначаються особливостями їх кристалічної структури, розглянутої вище. Синтез фаз з...
-
Вступ - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
У новітній історії природознавства важко назвати подію, яка викликала б такий величезний суспільний і науковий інтерес, як відкриття високотемпературних...
-
Проволочные методы Соединения проволокой является в настоящее время, к сожалению, пока наиболее распространенным способом монтажа ИМС. Рассмотрим...
-
Мета роботи: набуття практичних навичок щодо використання методів статистичних рішень в задачах діагностування авіаційної техніки. Стислі теоретичні...
-
Одной из важнейших задач современного производства является внедрение в производственный процесс новейших прикладных компьютерных технологий. Это вызвано...
-
На IBM PC наиболее популярны редакторы Cool Edit Pro (Syntrillium) Sound Forge (Sonic Foundry), WaveLab (Steinberg) и системы многодорожечной записи SAW...
-
Теоретические основы Сигнал, поступающий с выхода канала постоянного тока (КПТ), должен быть отождествлен на приемной стороне с "0" или "1". Необходимо...
-
При регистрации методом стробирования посылка регистрируется в середине, то допускается смещение любого значащего момента на величину 0,5ф 0 =м , где М -...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
Коэффициент отражения в конце линии: В случае согласования линии связи R Н = Z и стало быть K R = 0! В зависимости от значения R Н и Z меняется знак...
-
Цель и метод расчета, состав теплопоступлений В данном курсовом проекте цель теплотехнического расчета эксплуатационная, поскольку по результатам этого...
-
В этой технологии ОВ выполняются на временной подложке, затем присоединяются к концам балочных выводов ленты-носителя, что существенно снижает стоимость...
-
1. Аддитивный (additive). Основан на утвеpждении Фуpье о том, что любое пеpиодическое колебание можно пpедставить в виде суммы чистых тонов...
-
В этом подразделе, на основании сведений, полученных при прохождении преддипломной практики, необходимо отразить, кем и как планируется отбор вагонов в...
-
Многогранность структуры авторемонтного производства, выполняемых работ и используемого технологического оборудования предопределяют многообразие видов...
-
В зависимости от числа постов для данного вида ТО иуровня ихспециализации различают два основных метода организации работ по ТО автомобилей - метод...
-
В практике работы АТП обычно применяются два метода организации технологического процесса ТО автомобилей: на универсальных и на специализированных...
-
Апертурний метод розрахунку поля випромінювання - Будова та можливості дзеркальних антен
У апертурному полі випромінювання дзеркальної антени знаходиться по відомому полю в її розкриві. У цьому методі, як випромінююча розглядається плоска...
-
Рис 3 : 1 - сформированный шарик из припоя 5%Sn-0.5%Pb; 2 - слой фазового состава Cr+Cu; 3 - стекло; 4 - первоначально осажденный припой; 5 -...
-
S/PDIF (Sony/Philiрs Digital Interface Format - формат цифрового интерфейса фирм Sony и Philiрs) - цифровой интерфейс для бытовой радиоаппаратуры....
-
1. Монтаж. Состоит в выpезании из записи одних участков, вставке дpугих, их замене, pазмножении и т. п. Hазывается также pедактиpованием. Все совpеменные...
-
Составление выражения для операторного изображения искомой функции Рис. 7 Схема замещения для операторного метода При составлении операторной схемы все...
-
Непосредственно процессу программирования ПЗУ должны предшествовать: А) выбор нужного типа микросхемы ПЗУ; Б) подготовка данных в нужной области буфера...
-
В основе развития этого класса методов лежит утверждение, что анализ речи, основанный на модели слуха человека, будет более успешным, чем анализ,...
-
Процесс перевозки грузов затрагивает большое число участников транспортного процесса и должен рассматриваться комплексно на основе технологии,...
-
Введение - Проектирование терминала для автомобильных перевозок готовой продукции ЗАО "Искра"
При грузовых перевозках автомобильный транспорт участвует практически во всех взаимосвязях производителей и потребителей продукции производственного...
-
Методы с разнесенным измерением - Бездатчиковое управление электроприводом
Метод тестовых импульсов - в одну или несколько неработающих фаз подаются импульсы с известным напряжением. При этом контролируется либо амплитуда...
-
В помещении для испытания турбокомпрессоров предусмотренна вытяжная механическая вентиляция из комнаты, где находится установка. Дело в том, что при...
-
Используя цифровой регулятор, построенный методом переменных коэффициентов время переходного процесса составляет tПп ? 5,9 сек. при установлении...
-
Аналитический Метод применим только при линейных нагрузках. Графический Метод применим Для любых нагрузок (линейных или нелинейных), и отличается...
-
Висновок - Однокристальні мікроЕОМ для побутового застосування
В даний час випускається ряд серій однокристальних микроЕОМ: К1813, К1814, К1816, К1820, призначених для використання в побутовій радіоелектронній...
Варіанти методів CVD - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС