Висновки, Список використаної літератури - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС

    1. Зроблено огляд літератури по проблемі методів отримання надпровідних плівок для надпровідних ІС. 2. На даний час великий інтерес виготовленню ВТНП плівок становлять CVD-технології, які дешевші ніж фізичні методи. Істотна перевага методу MOCVD полягає в тому, що металеві компоненти плівки транспортують у вигляді пари металоорганічних летючих з'єднань в реактор, змішуються з газоподібним окислювачем, після чого відбувається розкладання пари в реакторі з гарячими стінками або на нагрітій підкладці і утворення надалі плівки ВТНП-фази. 3. Метод магнетронного напилення дозволяє отримати тонкі плівки високої якості. Але в той же час, цей дорогий фізичний метод практично непридатні для отримання масштабних зразків. 4. СКВІДи - найбільш чутливі детектори широкого застосування. СКВІДи потрібні у багатьох галузях сучасної електроніки, в основному як чутливі сенсори.
Список використаної літератури
    1. Высокотемпературная сверхпроводимость. Фундаментальные и прикладные исследования. Под ред. проф. Киселева А. А.- Ленинград: Машиностроение, 1990, с.7-60 2. M. J. Hampden-Smith, T. T. Kodas. Chemical Vapour Deposition of Metals. Part 1. An Overview of CVD Processes // Journal Chemical Vapour Deposition, 1, pр.8-23 (1995). 3. O. Y. Gorbenko, A. L. Kaul, A. A. Molodyk et al. MO CVD of perovskites with metallic conductivity //Journal of Alloys and compounds, 251, рр. 337-341 (1997). 4. Y. A. Mazurenko, V. P. Ovsyannikov, G. V. Lashkarev, V. J. Malahov. PE MOCVD Synthesis of oxide functional layers// Mat. VI Int. Symp."Thin films in electronics", Pр. 59-62 (1995). 5. E. A. Mazurenko, A. I. Gerasimchuk. Volatile Metal Coordination Compounds as Precursors for Functional Materials Synthesis by CVD-Method // Journal de physique IV C-5, 5, рр. 547-551 (1995). 6. Е. А. Мазуренко, А. Ф. Гурко, В. П. Овсянников, А. И. Герасимчук. Лазерохимическое осаждение оксида алюминия из газовой фазы в-дикетонатных комплексов // Укр. Хим. Журн., 58(2), сс. 230-235 (1992). 7. A. I. Gerasimchuk, Y. A. Mazurenko, V. P. Ovsyannikov, T. V. Tabenskaya. Laser stimulated drawing on hard substrate // Electrochem. Soc. Proc., 97(25), pр. 304-307 (1997) 8. Y. Mazurenko, V. Nazarenko, L. Zheleznova, A. Medvedev. Research of formation pronective layers process from volative в-dicetonates Cu by CVD-method // Abstr. Inter. Meeting Electr. Chem. Society Paris, Р. 2816 (1997) 9. А. Д. Погребняк, О. П. Кульментьева, А. Марку и др. Получение пленок YBa2Cu3O7-X из абляционной плазмы, инициированной лазерным воздействием // В кн. 5-я Международная конференция "Взаимодействие излучений с твердым телом", Минск, сс. 73-75 (2003). 10. С. А.Гавричков, В. П.Кононов. Молекулярно-лучевое и лазерное напыление пленок: технология и возможные применения. Препринт №378Ф ИФ СО АН СССР, Красноярск, 1986, 41 c. 11. Kupriyanov M. Yu., Golubov A. A., Siegel M. Nanoscale Devices - Fundamentals and Applications. Amsterdam: Springer, 2006. P. 173. 12. John Gallop " Applications of Josepson junctions and SQUIDs", lectures 1,2.

Похожие статьи




Висновки, Список використаної літератури - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС

Предыдущая | Следующая