Метод магнетронного розпилення - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
Методи катодного i iонно-плазмового розпилення матеріалів мають ряд переваг перед методами термічного випаровування у вакуумі, однак їх використання в плівковій технології стримується такими суттєвими недоліками:
Низькі швидкості випаровування;
Високі робочі напруги, що призводять до інтенсивного нагріву пiдкладинок i появи радіаційних дефектів у плівках;
Високі робочі тиски інертного газу i забруднення атомами газу одержаних плівок.
Спроби усунути ці недоліки призвели до розвитку i створення більш вдосконалених систем розпилення, зокрема магнетронних розпилювальних систем (МРС). МРС відносяться до систем розпилення дiодного типу, в яких розпилення речовини здійснюється за рахунок бомбардування мішені iонами інертного газу, а плазма розряду локалізується магнітним полем безпосередньо біля розпилювальної мішені.
Принципова схема МРС зображена на рис. 2.8. Основними елементами системи є катод (мішень), анод i магнітна система. Характерна особливість МРС - наявність замкнутого кільцеподібного магнітного поля біля розпилювальної поверхні мішені, яке дозволяє локалізувати плазму розряду безпосередньо біля мішені. Силові лінії магнітного поля замикаються у вигляді дуг між полюсами магніту. Поверхня мішені, розміщена між входом i виходом силових ліній, інтенсивно розпилюється i має вигляд замкнутої доріжки, геометрія якої визначається формою полюсів магнітної системи.
При прикладанні постійної електричної напруги між мішенню (від'ємний потенціал) i анодом (додатній або нульовий потенціал) виникає сильне електричне поле i збуджується аномальний тліючий розряд. Емiтованi з катоду під дією іонного бомбардування електрони захоплюються магнітним полем, їм надається складний циклоїдальний рух по замкнених траєкторіях вздовж поверхні мішені.
Рис. 2.8. Схема i принцип дiї магнетронної розпилювальної системи:
- 1 - катод-мiшень; 2 - магнiтна система; 3 - анод; 4 - силові лiнiї магнiтного поля; 5 - траєкторія руху електронів; 6 - зона розпилення; 7 - межі зони розпилення; 8 - джерело високої напруги.
Електрони знаходяться в пастці, яка створюється з одного боку магнітним полем, що повертає електрони на катод, а з другого - поверхнею мішені, яка відштовхує електрони. Таким чином, основна частка енергії електрона, одержаної від електричного поля, використовується на багаторазову iонiзацiю i збудження атомів інертного газу, що значно збільшує інтенсивність іонного бомбардування мішені i швидкість розпилення [10].
МРС характеризується суттєвими перевагами перед звичайними системами розпилення, а саме:
- - високими швидкостями осадження матеріалів (до 60 нм/с при робочих напругах 500 В, тобто на два порядки вище звичайних); - низькими тисками робочого газу (0.1 - 1.0 Па, тобто на порядок нижче звичайних); - низьким радіаційним впливом на плівку i відсутністю перегріву підкладки, що дає змогу осаджувати плівки на нетермостійкі підкладки; - висока чистота одержаних плівок; - простота i надійність конструкції технологічного обладнання.
Похожие статьи
-
На рис.2.3 представлено схема експериментальної установки для осадження плівок з абляційної плазми, отриманої при лазерній дії. В установці застосований...
-
Варіанти методів CVD - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
Різноманіття варіантів методу хімічного осадження з газової фази логічно виходить із "класичного" CVD, у якому реакційне середовище формується...
-
З хімічної точки зору, безпрецедентні труднощі при отриманні сучасних класів ВТНП-матеріалів безпосередньо пов'язані з хімічною і структурною складністю...
-
Основні методи одержання надпровідних плівок Існує достатньо велике число технологій отримання тонких плівок, які умовно можуть бути розділені на фізичні...
-
1. Зроблено огляд літератури по проблемі методів отримання надпровідних плівок для надпровідних ІС. 2. На даний час великий інтерес виготовленню ВТНП...
-
Найважливіші фундаментальні характеристики ВТНП-фаз природним чином визначаються особливостями їх кристалічної структури, розглянутої вище. Синтез фаз з...
-
Вступ - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
У новітній історії природознавства важко назвати подію, яка викликала б такий величезний суспільний і науковий інтерес, як відкриття високотемпературних...
-
Чутливість надпровідної петлі СКВІДів до зміни енергії озволяє використовувати їх у якості датчиків енергії [11]. Передача енергії надпровідному...
-
Сквід СКВІД (SQUID) - надпровідниковий квантовий інтерференційний пристрій, являє собою дуже чутливий вимірювальний універсального призначення, у якому...
-
CVD - технології ВТНП - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС
Хімічне осадження з газової фази є методом осадження металів і/або сполук, що містять метал, на поверхні або в об'ємі з метою одержання функціональних...
-
Особливості кристалічної структури Аналіз вже наявних відомостей про будову і склад ВТНП дозволив зробити ряд узагальнень. По-перше, практично всі вони є...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
Коэффициент отражения в конце линии: В случае согласования линии связи R Н = Z и стало быть K R = 0! В зависимости от значения R Н и Z меняется знак...
-
На IBM PC наиболее популярны редакторы Cool Edit Pro (Syntrillium) Sound Forge (Sonic Foundry), WaveLab (Steinberg) и системы многодорожечной записи SAW...
-
1. Монтаж. Состоит в выpезании из записи одних участков, вставке дpугих, их замене, pазмножении и т. п. Hазывается также pедактиpованием. Все совpеменные...
-
Одной из важнейших задач современного производства является внедрение в производственный процесс новейших прикладных компьютерных технологий. Это вызвано...
-
Перегрузка является проблемой неэффективного совместного использования разделяемых ресурсов. В сети ресурсы распределены между всеми узлами,...
-
S/PDIF (Sony/Philiрs Digital Interface Format - формат цифрового интерфейса фирм Sony и Philiрs) - цифровой интерфейс для бытовой радиоаппаратуры....
-
Составление выражения для операторного изображения искомой функции Рис. 7 Схема замещения для операторного метода При составлении операторной схемы все...
-
Цель и метод расчета, состав теплопоступлений В данном курсовом проекте цель теплотехнического расчета эксплуатационная, поскольку по результатам этого...
-
Мета роботи: набуття практичних навичок щодо використання методів статистичних рішень в задачах діагностування авіаційної техніки. Стислі теоретичні...
-
В этой технологии ОВ выполняются на временной подложке, затем присоединяются к концам балочных выводов ленты-носителя, что существенно снижает стоимость...
-
Рис 3 : 1 - сформированный шарик из припоя 5%Sn-0.5%Pb; 2 - слой фазового состава Cr+Cu; 3 - стекло; 4 - первоначально осажденный припой; 5 -...
-
Проволочные методы Соединения проволокой является в настоящее время, к сожалению, пока наиболее распространенным способом монтажа ИМС. Рассмотрим...
-
Теоретические основы Сигнал, поступающий с выхода канала постоянного тока (КПТ), должен быть отождествлен на приемной стороне с "0" или "1". Необходимо...
-
При регистрации методом стробирования посылка регистрируется в середине, то допускается смещение любого значащего момента на величину 0,5ф 0 =м , где М -...
-
1. Аддитивный (additive). Основан на утвеpждении Фуpье о том, что любое пеpиодическое колебание можно пpедставить в виде суммы чистых тонов...
-
В этом подразделе, на основании сведений, полученных при прохождении преддипломной практики, необходимо отразить, кем и как планируется отбор вагонов в...
-
Всі знають, що таке кут випередження запалювання. Цей параметр роботи системи необхідно налаштовувати час від часу на будь-якому автомобілі, оснащеному...
-
Фасетна система класифікації - Стиснення даних по методу Лемпеля-Зіва
Фасетна система класифікації на відміну від ієрархічної дозволяє вибирати ознаки класифікації незалежно як один від одного, так і від семантичного змісту...
-
Метод построен на конформных преобразованиях (раздел теории функции комплексного переменного). Суть метода заключается в существовании двух систем...
-
Устройства для отображения информации применяются в системах, где информацию требуется представить в форме, удобной для визуального восприятия. Их...
-
Система класифікаційного кодування - Стиснення даних по методу Лемпеля-Зіва
Класифікаційним кодуванням називається процедура привласнення об'єкту кодового позначення. Система класифікаційного кодування застосовується для заміни...
-
Перш ніж перейти до класифікації систем кондиціонування, слід зазначити, що загальноприйнятої класифікації до цих пір не існує, і пов'язано це з...
-
Синтез настроек регуляторов в системах автоматического управления методом расширенных частотных характеристик Цель работы: рассчитать оптимальные...
-
Робота по формуванню образу систем рухомого зв'язку третього покоління почалася відразу після того, як Всесвітня адміністративна конференція з...
-
Ієрархічна система класифікації - Стиснення даних по методу Лемпеля-Зіва
Ієрархічна система класифікації рис. 11 будується таким чином: Початкова безліч елементів складає 0-й рівень і ділиться залежно від вибраної...
-
Графоаналитический метод анализа Этот метод используется в тех случаях, когда отсутствует отсечка тока. Этот метод известен под названием трех (пяти,...
-
Расчет токов и напряжений до коммутации. Докоммутационная схема приведена на рис. 2. Рис. 2 Докоммутационная схема Расчет токов и напряжений в момент...
-
Роль транспорту в національній економіці Виробничо-господарський комплекс країни - це складна організаційно-економічна система, яка об'єднує...
Метод магнетронного розпилення - Фізико-технологічні основи одержання надпровідних плівок для надпровідних ІС