Практическое использование аморфных сплавов - Принцип получения аморфных материалов

Использование аморфных сплавов в качестве диффузионных барьеров устройств привело к тому, что линейные размеры токоведущих дорожек, контактных площадок и других элементов современных интегральных схем не превышают 0,5-1 мкм. При субмикронных размерах рабочих элементов создаются условия для взаимного проникновения атомов - диффузии на границе раздела металл-полупроводник. Этот процесс со временем приводит к замыканию токоведущих дорожек и выходу прибора из строя. Чтобы предотвратить диффузию, необходимо создать тонкий барьерный слой между полупроводником и металлом. Наилучшими барьерными свойствами обладают аморфные металлические сплавы. Диффузия через аморфные слои сильно затруднена вследствие нерегулярности атомной структуры. Особенно хорошими барьерными свойствами обладают аморфные сплавы тугоплавких металлов, например Re - Ta, Re - Nb.

Использование аморфных сплавов для изготовления магнитных головок и датчиков

Как известно, для записи и хранения информации используются ферромагнитные материалы. В результате исследований, направленных на увеличение информационной плотности, уже получены материалы, плотность записи на которых достигает 108 бит/см2. При этом размер области, хранящей один бит, не превышает 1 мкм2. Такие носители делают из магнитожестких материалов, обладающих большиим коэрцитивным полем. При этом магнитная головка, используемая при записи информации, должна быть из материала, имеющего высокое значение намагниченности насыщения МГ. К тому же при считывании информации важно, чтобы материал сердечника головки имел высокую начальную магнитную проницаемость.

Всем этим требованиям удовлетворяют аморфные ферромагнитные сплавы. Используя напыление, можно изготовить головку, обладающую высокой намагниченностью насыщения МГ = 1,2-1,5 Тл, любых мыслимых размеров, способную перемагничивать микроскопические области носителя (около 0,1 мкм). Аморфные головки относительно дешевы, обладают высокой износостойкостью (время работы порядка 10000 часов), характеризуются высокими значениями начальной электромагнитной проницаемости на частотах 5-15 МГц.

Аморфные слои, полученные с помощью ионно-плазменного напыления можно использовать для создания высокочувствительных датчиков, сенсорных устройств и малогабаритных трансформаторов. Новые сенсорные устройства можно использовать в технологических процессах производства автомобилей, индустриальных роботов, в промышленных измерителях различного рода свойств.

Похожие статьи




Практическое использование аморфных сплавов - Принцип получения аморфных материалов

Предыдущая | Следующая