Выводы - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)

В результате работы была создана двумерная приборно-технологическая модель фотоприемной ячейки КМОП-ФД СБИС в среде Sentaurus TCAD (Synopsys), предназначенная для целей практического промышленного проектирования. Данная модель, в отличие о трехмерных моделей, позволяет сократить временные затраты до уровня, достаточного для реального проектирования.

В процессе разработки модели были предложены и исследованы три варианта модели структуры КМОП-ФД ячейки, отличающиеся способом задания емкостей фотодиода и плавающего узла:

Модель 1: с помощью изменения физического размера элементов;

Модель 2: С помощью подключенных к элементам МОП-конденсаторов;

Модель 3: С помощью подключенных к элементам внешних виртуальных конденсаторов.

Разработаны командные файлы для программы технологического моделирования Sentaurus DIOS, файл структуры для программы Sentaurus Structure Editor, командный файл для программы электрофизического моделирования Sentaurus Device.

Проведено моделирование фотоприемной ячейки КМОП-ФД, позволившее выбрать наилучший вариант модели о продемонстрировать ее работоспособность.

Отработана методика построения свет-сигнальных характеристик фотоприемной ячейки КМОП-ФД с помощью разработанной модели.

Все три модели являются работоспособными, однако по показателям удобства использования и скорости расчетов, наилучшей оказалась третья модель. Разработанные модели начали применяться на предприятии ОАО "НПП "Пульсар" при проектировании и исследовании КМОП-ФД СБИС.

Проведен анализ опасных и вредных факторов, присутствующих на производстве, а так же проведен анализ требований к работе с ПЭВМ.

Похожие статьи




Выводы - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)

Предыдущая | Следующая