Моделирование технологического процесса в программе Sentaurus TCAD (Synopsys) - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)
Для экономии времени было решено моделировать ячейку в два этапа. Для моделирования технологического процесса была использована программа Sentaurus DIOS. Все поверхносные окислы, поликремниевые затворы и контакты созданы в программе Sentaurus Structure Editor.
Structure editor - это программа для создания полупроводниковых структур и для оптимизации сетки для приборного моделирования. На первом этапе в программе Sentaurus Structure Editor была создана модель, состаящая из кремневой подложки, всевозможных поверхностных окислов и поликремневых затворов. Так же в этой программе к структуре были подведены основные контакты: контакт подложки (SUB), контакты СБРОСА (T1, T2), контакт ПЕРЕНОСА (FD), а так же два контакта виртуальных емкостей (CVIRT1, CVIRT2). Для расчетов электрофизической модели во всех областях фотоприемной ячейки задаются сетки, с шагом, достаточным для адекватного обсчета модели.
DIOS - это программа для одно-, двух - и трехмерного моделирования технологических процессов. Она позволяет моделировать травление, ионную имплантацию, все высокотемпературные операции, а именно быстрый термический отжиг, окисление, эпитаксию и предварительные термообработки, а также рост силицида. Моделировать можно как весь технологический маршрут, так и отдельные операции.
Для проведения моделирования в DIOS необходимо создание командного файла, содержащего описание технологического маршрута. Результатами моделирования отдельных операций могут быть профили распределения примесей, значения поверхностных сопротивлений (или поверхностных концентраций), глубины p-n переходов.
Если необходимо моделирования полного технологического маршрута, то из него выделяют структурообразующие операции. В этом случае результатом моделирования будет физическая структура прибора.
Данные командного файла технологической модели для программы DIOS представлены ниже.
- 1) Создание кремневой подложки p-типа. 1.1 ) Размеры х=(0 90) у=(-15 0) 1.2 ) Количество узлов сетки: nx=240 ny=40 1.3 ) Тип подложки КДБ 4.08е14, (1 0 0)
Рис. 22 Сформированная подложка. Сверху защитный окисел
- 2) Создание n-слоя фотодиода. 2.1 ) Нанесение резиста: 2950 нм ( -15 11.3 83.38 100) 2.2 ) Ионная имплантация: P 5е12 600keV угол=7 поворот пластины=0
P 5е12 600keV угол=7 поворот пластины=180
- 2.3 ) Удаление резиста 2.4 ) Разгонка: 0.25 Т=1100 атмосфера N2
Рис. 23Сформированный n-слой фотодиода
- 3) Создание p-кармана под контактные области. 3.1 ) Нанесение резиста: 2950 нм ( -15 0 9.18 100) 3.2 ) Ионная имплантация: В 5е12 400keV угол=7 поворот пластины0
В 5е12 400keV угол=7 поворот пластины180
- 3.3 ) Удаление резиста 3.4 ) Разгонка: 0.25 Т=1100 атмосфера N2 4)Создание p-слоя фотодиода. 4.1 ) Нанесение резиста: 2950 нм ( -15 10,8 13,26 15,36 82,88 100) 4.2 ) Ионная имплантация: BF2 9.375е15 30keV угол=7 поворот пластины=0
BF2 9.375е15 30keV угол=7 поворот пластины=180
- 4.3 ) Удаление резиста 4.4 ) Разгонка: 0.1 Т=1100 атмосфера N2
Рис. 24 Сформированные p+-слой фотодиода и p-карман
- 5)Создание контактных n+ областей 5.1 ) Нанесение резиста: 2950 нм ( -15 0 0,42 0,96 2,88 3,48 4,68 5,38 6,58 7,18 8,28 13,83 14,79 100) 5.2 ) Ионная имплантация: As 1е15 100keV угол=7 поворот пластины0
As 1е15 100keV угол=7 поворот пластины180
- 5.3 ) Удаление резиста 5.4 ) Разгонка: 0.25 Т=1100 атмосфера N2
Рис. 25 Сформированные n+ контактные области.
Похожие статьи
-
Моделирование фотоприемной ячейки КМОП-ФД требует создания трехмерной модели, так как в плоскости топологии элементы фотоприемной ячейки имеют разные...
-
Удобство использования модели. В модели №1, не имеющей дополнительных емкостей, процесс изменения величины емкости узла предполагает изменение...
-
Постановка задачи ВКР На предприятии ОАО "НПП "Пульсар" в рамках ОКР (опытно конструкторской разработки) "Фотик-10" разработаны первые в России матричные...
-
Результатами моделирования стали свет-сигнальные характеристики, построенные для: - Фотоприемной ячейки без подключенных к ней емкостей. - Фотоприемной...
-
Моделируемая фотоприемная ячейка, разработанная в ОКР "Фотик-10), имеет в своей основе ячейку два с половиной КМОП-ФД "два с половиной транзистора на...
-
История развития КМОП-ФД Временной интервал появления КМОП-ФД является размытым. После обнаружения фоточувствительности диодных структур и создания...
-
Результатами расчетов электрофизических параметров структуры стали двумерные распределения потенциала. С их помощью можно увидеть наглядно, каким был...
-
Autodesk 3ds Max (ранее 3D Studio MAX) -- полнофункциональная профессиональная программная система для создания и редактирования трехмерной графики и...
-
Постановка задачи Целью работы является изучение основных этапов автоматизированного структурного проектирования технологических маршрутов: -...
-
Моделирование представляет собой один из основных методов познания, является формой отражения действительности и заключается в выяснении или...
-
Данная компания является ведущем производителем оборудования и выпуска квалифицированных специалистов в мире. Это одна из самых оцененных компаний в...
-
Понятие линейной стохастической сети Одним из важных этапов технологического проектирования электронных вычислительных средств является расчет запусков...
-
Конструкция современных электронно-вычислительных средств отличается значительной сложностью и разнообразием. Они представляют собой сложные комплексы,...
-
Моделирование параллельных программ Рассмотренная схема проектирования и реализации параллельных вычислений дает способ понимания параллельных алгоритмов...
-
Состояние рынка САПР в 90-е гг. За последние в 90-е гг. промышленными предприятиями был накоплен немалый автоматизации локальных служб конструкторских и...
-
В данном параграфе описывается процесс "Управление ОРД", детальная модель которого представлена в Приложении А. Для наглядной демонстрации была создана...
-
Для проверки соответствия требованиям ТЗ, была поставлена задача разработки 3-D модели корпуса Kyocera KD-PB1D79 при помощи системы AutoCAD. В этой части...
-
Обозначение элементов моделирования При экспресс-анализе для описания бизнес-процессов и построении их моделей, использовался программный продукт...
-
Программы, используемые для верстки текстового и иллюстративного материала при обработке прежде всего книжно-журнальной продукции и газетной продукции -...
-
Для начала работы создадим несколько примитивных объектов, используя элементы пункта "Object type", который находиться в правом верхнем углу (рис. 23)....
-
Работа со слоями в программе Google SketchUp Для того, чтобы начать работу в Google SketchUp, необходимо запустить данную программу. Создадим несколько...
-
История создания - Среда визуального моделирования Simulink
MATLAB - одна из старейших, тщательно проработанных и проверенных временем систем автоматизации математических расчетов, построенная на расширенном...
-
Для создания банка данных использовали пошаговый алгоритм, последовательно фотографируя картотеки встреч видов птиц с отметкой карточек, которые были...
-
Дальнейшим развитием локальных средств разработки программ, являются интегрированные программные среды разработчиков. Основное назначение инструментария...
-
Инструментарий технологии программирования - программные продукты поддержки (обеспечения) технологии программирования. В рамках этого направления...
-
Стремительное развитие технологий в последнее десятилетие привело к такому же быстрому росту в области компьютерной техники и программного обеспечения....
-
Программы (ресурсы) для создания презентаций - Структура презентации
1.Microsoft PowerPoint Говоря "программа для презентаций" большинство подразумевают PowerPoint, аналогично и с другими программами пакета Microsoft...
-
Конечно-элементный анализ широко применяется при решении задач механики деформируемого твердого тела, теплообмена, гидро - и газодинамики, электро - и...
-
Цели создания проекта - Администрирование параллельных процессов
Создание кластера для организации параллельных вычислений связано с развитием и внедрением таких суперсистем, использование которых позволит упростить...
-
Создание конфигурационного файла - Моделирование беспроводных сенсорных сетей
Для моделирования сети необходимо создать файл конфигурации omnetpp. ini: [General] Network = SN Include../Parameters/Castalia. ini Sim-time-limit =...
-
В ранних проектах достаточно простых ИС каждое приложение представляло собой единый, функционально и информационно независимый блок. Для разработки...
-
Инструментальное программное обеспечение -- это программное обеспечение, предназначенное для использования в ходе проектирования, разработки и...
-
Разработать и создать аналог системной утилиты "Диспетчер задач" по дисциплине "Системное программирование". "Диспетчер задач" должен содержать следующие...
-
Достоинства и недостатки Simulink - Среда визуального моделирования Simulink
Важными достоинствами пакета MATLAB являются его открытость и расширяемость. Большинство команд и функций системы реализованы в виде текстовых m-файлов...
-
Технология создания баз данных в программе Microsoft Access
Введение Базы данных играют особую роль в современном мире. Любой из нас многократно начиная с детства, сталкивался с "базами данных". Это - всевозможные...
-
Модель сущность-связь - модель данных, позволяющая описать концептуальные схемы предметной области. Для визуализации данной модели используются диаграммы...
-
Автоматизированное извлечение текстов для корпуса политических статей сайта Lenta. ru Для создания полезного обучающего корпуса требуется постоянное...
-
"Конкуренты" - Среда визуального моделирования Simulink
Рассмотрим универсальные пакеты, позволяющие моделировать структурно-сложные гибридные системы. Их можно условно разделить на три группы: 1) пакеты...
-
Исследование имитационной модели процесса сборки готовых изделий
Филиал федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московского...
-
Аннотация, Общие сведения и назначение пакета Simulink - Среда визуального моделирования Simulink
В работе представлено общее описание, исторические сведения, "конкуренты" пакета визуального моделирования Simulink компании MathWorks. Приведены...
Моделирование технологического процесса в программе Sentaurus TCAD (Synopsys) - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)