Разработка конструкции МС КМОП-ФД ячеек, Экологическая часть - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)

Рис.26 Фотоприемные ячейки на кристалле

Рис. 27 Общий вид ячейки 2.5Т

Рис. 28 Фотошаблон для изготовления фотодиодов

Рис. 29. Фотошаблон для изготовления поликремневых затворов

Рис. 30 Фотошаблон для изготовления контактных областей (ионная имплантация мышьяка)

Рис. 31 Фотошаблон для изготовления металлизации первого уровня

Рис. 32 Фотошаблон для изготовления металлизации второго уровня

Рис. 33 Фотошаблон для изготовления металлизации третьего уровня

Экологическая часть

Общие положения и требования по обращению с отходами производства, нормирование, государственный учет и отчетность в области обращения с отходами производства, экономическое регулирование, государственный надзор, а так же ответственность за нарушение законодательства РФ в области обращения с отходами, прописаны в федеральном законе "Об отходах производства и потребления". [25]

Ответственность за нарушение установленных правил использования, обращения, учета и хранения изделий, содержащих драгоценные металлы, а так же правил сбора и сдачи в государственный фонд лома и отходов таких изделий, описано в кодексе РФ об административных правонарушениях. [26]

Общие положения об охране окружающей среды, касающиеся обязательных требований к процессам утилизации [ст 2] охраны и рационального использования природных ресурсов [ст 2], приведены в федеральном законе "Об охране окружающей среды". [27]

Моделирование фотоприемной ячейки КМОП-ФД проводилось с помощью ПЭВМ. Работа с ПЭВМ не наносит вред окружающей среде. Так как элементы ПЭВМ содержат пластики, щелочи, стекло, а так же цветные металлы, необходимо при выходе оборудования из строя надлежащим образом утилизировать его. В ходе моделирования фотоприемной ячейки КМОП-ФД вред окружающей среде нанесен не был.

Похожие статьи




Разработка конструкции МС КМОП-ФД ячеек, Экологическая часть - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)

Предыдущая | Следующая