Описание параметров ионного легирования., Удаление защитной маски., Описание процесса разгонки., Сохранение выходных файлов. - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)
Implant(element=B, dose=6.3e14, energy=80keV, tilt=7)
Удаление защитной маски.
Etch(mat=re)
Описание процесса разгонки.
Diffusion(time=40, Temperature=1000., Atmosphere=N2)
Сохранение выходных файлов.
Save(file=FINAL_BOR2CORRGATES_VERNO, type=mdraw,
EPSLoc=0, EPSAngle=0)
End
Приложение 2
Командный файл для программы электрофизического моделирования Sentaurus Device для модели №2.
1. Описание входных и выходных файлов.
File {
Grid = "./BORODIN_DIOD_3_msh. tdr"
Plot = n@node@
Current = n@node@
}
2. Секция описания электродов
Electrode {
{ Name="SUB" Voltage= @VSUB@
}
{ Name="KONT1" Voltage= ( @VES@ at 0.0
@VES@ at 180.0
@VES@ at 200.0
@VES@ at 1000.0 )
}
{ Name="KONT2" Voltage= (
@VES@ at 0.0
@VES@ at 180.0
@VES@ at 200.0
@VES@ at 1000.0
)
}
{ Name="T4" Voltage= (
@GA_VNAK@ at 0.0,
@GA_VNAK@ at 20.0e-9
@GA_VREAD@ at 40.e-9
@GA_VREAD@ at @TN1@
@GA_VNAK@ at @<TN1+20.0E-9>@
@GA_VNAK@ at @<TN1+80.0E-9>@
@GA_VREAD@ at @<TN1+100.0E-9>@
@GA_VREAD@ at @TSTOP@
)
}
{ Name="T1" Voltage= (
@GA_VNAK@ at 0.0,
@GA_VNAK@ at 60.0e-9
@GA_VREAD@ at 80.0e-9
@GA_VREAD@ at @TSTOP@
)
}
{ Name="T2" Voltage= (
@GA_VNAK@ at 0.0,
@GA_VNAK@ at 60.0e-9
@GA_VREAD@ at 80.0e-9
@GA_VREAD@ at @TSTOP@ )
)
}
3. Секция описания физических процессов, которые будут учитываться в модели.
Physics {
EffectiveIntrinsicDensity( OldSlotboom )
OptBeam (
WaveLength =0.535e-4
WavePower =@PB1@
SemAbs (model=ODB)
SemSurf = 0.05000e-4
SemWindow = (10.8e-4 81.74e-4)
WaveTime = (10.0E-9 1.00)
WaveTsigma = 0.5e-13
SemVelocuty = 0
)
Recombination (
SRH( DopingDep )
)
Temperature=250.0
}
File {
Current = "str"
Output = "log"
}
4. Секция описания электро-физических характеристик, которые должны быть посчитаны в результате моделирования
Plot {
EDensity eCurrent eMobility
Potential
Doping
}
5. Секция описания характеристик математического аппарата.
Math {
Extrapolate Derivatives RelErrControl
Digits=8 NotDamped=30 Iterations=40
RelErrControl Transient=BE NoCheckTransientError
Method = pardiso Number_of_Threads = 4
Number_of_Solver_Threads = 4 ComputeIonizationIntegral
}
6. Секция описания точности схождения модели.
Solve {
Poisson
Transient (
InitialTime=0 FinalTime=@TSTOP@
InitialStep=1e-16 MaxStep=1.0e-2 MinStep=1.0e-17
)
{ Coupled {Poisson Electron Hole }
7. Секция задания временных точек эксперимента, для которых необходимо получить выходные файлы.
Plot (
Fileprefix="n@node@"
Time = (0;
@<TN1+100e-9>@
)
NoOverwrite)
}
}
Приложение 3
Командный файл для программы технологического моделирования DIOS для модели №3
Похожие статьи
-
Секция описания сетки. Title('BORODIN_2_0',newdif=1) Grid(x=(0.0, 95.0) y=(-15.0, 0.0), nx=200, ny=40)...
-
В результате работы была создана двумерная приборно-технологическая модель фотоприемной ячейки КМОП-ФД СБИС в среде Sentaurus TCAD (Synopsys),...
-
Удобство использования модели. В модели №1, не имеющей дополнительных емкостей, процесс изменения величины емкости узла предполагает изменение...
-
Моделирование фотоприемной ячейки КМОП-ФД требует создания трехмерной модели, так как в плоскости топологии элементы фотоприемной ячейки имеют разные...
-
Для экономии времени было решено моделировать ячейку в два этапа. Для моделирования технологического процесса была использована программа Sentaurus DIOS....
-
Нанесение защитной маски. Mask(material=resist, thickness=2950nm, x( -15.0 17 19 20 22 23 25 29 31 100.0 )) Описание параметров ионного легирования....
-
История развития КМОП-ФД Временной интервал появления КМОП-ФД является размытым. После обнаружения фоточувствительности диодных структур и создания...
-
Постановка задачи ВКР На предприятии ОАО "НПП "Пульсар" в рамках ОКР (опытно конструкторской разработки) "Фотик-10" разработаны первые в России матричные...
-
Рис.26 Фотоприемные ячейки на кристалле Рис. 27 Общий вид ячейки 2.5Т Рис. 28 Фотошаблон для изготовления фотодиодов Рис. 29. Фотошаблон для изготовления...
-
Результатами моделирования стали свет-сигнальные характеристики, построенные для: - Фотоприемной ячейки без подключенных к ней емкостей. - Фотоприемной...
-
Общие положения об охране труда. "Охрана труда - система сохранения жизни и здоровья работников в процессе трудовой деятельности, включающая в себя...
-
Моделируемая фотоприемная ячейка, разработанная в ОКР "Фотик-10), имеет в своей основе ячейку два с половиной КМОП-ФД "два с половиной транзистора на...
-
Результатами расчетов электрофизических параметров структуры стали двумерные распределения потенциала. С их помощью можно увидеть наглядно, каким был...
-
Моделирование представляет собой один из основных методов познания, является формой отражения действительности и заключается в выяснении или...
-
Обозначение элементов моделирования При экспресс-анализе для описания бизнес-процессов и построении их моделей, использовался программный продукт...
-
Имитационное моделирование - Разработка машиностроительных чертежей средствами AutoCAD
Имитационное моделирование (от англ. simulation) - это распространенная разновидность аналогового моделирования, реализуемого с помощью набора...
-
Моделирование различных вычислительных систем можно разделить на два главенствующих класса: матечатическое моделировании и имитационное. Математическое...
-
Введение, Правила и порядок выполнения курсовой работы - Программирование в среде Turbo Pascal
Настоящие методические указания предназначены для выполнения курсовой работы "Расчеты на ЭВМ характеристик выходных сигналов электрических цепей" по...
-
IDEF0 - графическая нотация, предназначенная для формализации и описания бизнес-процессов. Отличительной особенностью IDEF0 является ее акцент на...
-
Инфологические и даталогические модели данных - Теория экономических информационных систем
СУБД должна предоставлять доступ к данным любым пользователям, включая и тех, которые практически не имеют и (или) не хотят иметь представления о: -...
-
Этапы компьютерного моделирования при исследовании термодинамических процессов в композиционных материалах Композиционные материалы, состоящие из...
-
1.4 Средства спецификаций типовых моделей - Средства для создания программных агентов
Рассмотрим типовую модель, которая получила название Reticular Agent Mental Model (RAMM) и является развитием модели Шохама (Shoham), где все действия...
-
Алгоритмом работы программы является пошаговое описание каждой функции программы. При запуске информационной базы откроется окно авторизации, которое...
-
По Р. Шеннону (Robert E . Shannon - профессор университета в Хантсвилле, штат Алабама, США ), "имитационное моделирование - Есть процесс конструирования...
-
Объектно-ориентированное программирование (ООП) является парадигмой программирования, которая представляет понятия, как "объекты", которые имеют поля...
-
Исследование имитационной модели процесса сборки готовых изделий
Филиал федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московского...
-
Создание модели хранилища данных Модель хранилища данных будет создаваться на основе описания предметной области, сделанного во 2 главе. Хранилища данных...
-
Общие сведения о процессе моделирования в P-CAD 2004 P-CAD 2004 использует модуль моделирования (Simulator) системы Altium Designer 2004 (Protel 2004)....
-
Моделирование параллельных программ Рассмотренная схема проектирования и реализации параллельных вычислений дает способ понимания параллельных алгоритмов...
-
Модели параллельных вычислений - Администрирование параллельных процессов
Параллельное программирование представляет дополнительные источники сложности необходимо явно управлять работой тысяч процессоров, координировать...
-
2.1 Процесс проектирования БД на основе принципов нормализации представляет собой последовательность переходов от неформального словесного описания...
-
Visual Basic представляет собой интегрированную среду разработки, которая содержит набор инструментов, облегчающих и ускоряющих процесс разработки...
-
Описание предметной области ООО ИСК "Волгастройинвест" является официальным представителем ряда отечественных и зарубежных фирм, предлагающих на...
-
Autodesk 3ds Max (ранее 3D Studio MAX) -- полнофункциональная профессиональная программная система для создания и редактирования трехмерной графики и...
-
Описание пакета Simulink - Среда визуального моделирования Simulink
С помощью Simulink возможно быстрое создание, моделирование и управление детализированной блок-диаграммой системы, использующей предопределенные блоки....
-
Понятие линейной стохастической сети Одним из важных этапов технологического проектирования электронных вычислительных средств является расчет запусков...
-
В среде электронного ресурса ИИС "MD_SLAGMELT" (Рис. 6) для доступа к компоненту "моделирование" необходима учетная запись (пара логин/пароль) (Рис.7)....
-
В работе использовались следующее программное обеспечение для решения поставленных задач: AutoCAD, ANSYS Workbench, ANSYS Icepak. Система AutoCAD...
-
Постановка задачи Целью работы является изучение основных этапов автоматизированного структурного проектирования технологических маршрутов: -...
-
В качестве инструмента моделирования был выбран программный продукт RunaWFE. Данный продукт позволяет не только создать модель бизнес-процесса, но и...
Описание параметров ионного легирования., Удаление защитной маски., Описание процесса разгонки., Сохранение выходных файлов. - Создание двумерной модели фотоприемной ячейки КМОП-ФД в среде приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD (Synopsys)