Характеристики. Степень пористости, Свойства. Удельная площадь поверхности - Пористый кремний

Важнейшей характеристикой пористого кремния, определяющей большинство его физических параметров, является степень пористости или пористость (П).

В настоящее время (2005 год) значения пористости могут варьироваться от 5 до 95 %. Степень пористости образца определяется обычно гравиметрическим методом (взвешиванием). Определение пористости этим методом проводится в три этапа:

    - Взвешивание монокристаллической кремниевой пластины; - Вытравливание на ней пористого слоя и взвешивание получившегося образца; - Удаление пористого слоя путем стравливания его с кремниевой подложки и повторное взвешивание образца.

Погрешность гравиметрического метода при малых толщинах (до 10 мкм) пористого слоя и больших пористостях (более 70 %) может достигать 15-20 %. Более того, использование такого контроля степени пористости приводит к разрушению образца, так как пористый слой в процессе измерений с него удаляется.

Свойства. Удельная площадь поверхности

Характерной чертой пористого кремния является большая суммарная площадь его внутренней поверхности. В зависимости от величины пористости и геометрии пор она может составлять для макропористого кремния от 10 до 100 мІ/смі, для мезопористого от 100 до 300 мІ/смі и для нанопористого от 300 до 800 мІ/смі.

Удельное сопротивление.

Пористый кремний в зависимости от условий травления обладает широким интервалом величин удельного сопротивления 10?2?1011Ом-см.

Теплопроводность.

Теплопроводность высокопористого кремния более чем на порядок ниже, чем у монокристаллического (~10 W/mK при 300K).

Похожие статьи




Характеристики. Степень пористости, Свойства. Удельная площадь поверхности - Пористый кремний

Предыдущая | Следующая