Жидкофазная эпитаксия арсенида индия - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

Несмотря на то, что получение эпитаксиальных слоев из паровой фазы является основным направлением в технологии изготовления полупроводниковых приборов процесс эпитаксиального оста из жидкой фазы в ряде случаев обладает некоторыми преимуществами к примеру

- при получении сильнолегированных слоев; - p-n переходов высокого качества.

Выращивание эпитаксиальных слоев арсенида индия производится с использованием легкоплавких металлов или их смесей, которые могут быть как донорными так и акцепторными примесями в получаемых слоях.

На качество и электрофизические свойства эпитаксиальных слоев, выращиваемых из жидкой фазы, влияют следующие факторы:

- скорость охлаждения раствора-расплава; - начальная равновесная температура раствора-расплава; - увеличение веса растворяющего вещества сверх равновесного значения; - соотношение объема расплава и контактирующей площади поверхности подложки с расплавом; - физико-химическая природа растворителя и растворимого вещества; - металлографическое состояние поверхности подложки; - чистота используемых в процессе веществ и конструкционных материалов.

Электронографические и металлографические исследования установили, что слои выращенные в высокотемпературных областях, имеют более совершенную структуру по сравнению с теми, которые получены в низкотемпературных областях.

Похожие статьи

• Эпитаксиальное наращивание арсенида индия из газовой фазы - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

  Газотранспортные процессы, в основе которых лежат обратимые химические реакции, широко применяются для получения эпитаксиальных структур...

• Молекулярно лучевая эпитаксия арсенида индия - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

  МЛЭ - один из современных и много обещающих технологических методов выращивания тонких монокристаллических полупроводниковых структур. Для осаждения...

• Электрофизические свойства объемного арсенида индия, Зонная структура арсенида индия, Зона проводимости, Валентная зона - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

  Зонная структура арсенида индия Зона проводимости Арсенид индия является прямозонным полупроводником, у которого зона проводимости сферически симметрична...

• Система InAs-SiCl4-H2 - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

  Эпитаксиальные пленки арсенида индия высокой чистоты можно получать с использованием в качестве транспортирующего агента тетрахлорид кремния. Водород,...

• Методы глубокой очистки индия и мышьяка, Методы глубокой очистки индия - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

  Для получения монокристаллов арсенида индия с высокими и стабильными электрофизическими параметрами необходимо использовать высокочистые исходные...

• Получение., Применение. - Свойства фтора как химического элемента

  Источником для производства фтора служит фтористый водород, получающийся в основном либо при действии серной кислоты H2SO4 на флюорит CaF2, либо при...

• Общая характеристика 3 ПС. Нахождение алюминия в природе, его получение, физические свойства. Применение алюминия и сплавов на его основе в строительстве - Основы химии

  Алюминий - основной представитель металлов главной подгруппы III группы Периодической системы. Свойства его аналогов - галлия, индия и таллия -...

• Способы получения и химические свойства оксидов - Основы химии

  Оксиды - это сложные вещества, состоящие из двух химических элементов, один из которых кислород, со степенью окисления -2. Окисление кислородом простых...

• Амальгамация, Цианирование, Регенерация - Особенности получения и применения золота

  Метод амальгамации основан на способности ртути образовывать сплавы -- амальгамы с различными металлами, в том числе и с золотом. В этом методе...

• Введение - Особенности получения и применения золота

  Зомлото -- элемент побочной подгруппы первой группы, шестого периода периодической системы химических элементов Д. И. Менделеева, с атомным номером 79....

• Введение, История открытия азота - Азот, его соединение и свойства. Азот в природе

  Целью данной работы является изучение и анализ химического элемента - азота. Азот - это бесцветный газ, без вкуса и запаха. Один из самых...

• Реакции образования и технология получения полиарилатов, Взаимодействие хлорангидридов дикарбоновых кислот с двухатомными фонолами - Поликонденсация

  Существует два основных способа получения полиарилатов: переэтерификация и взаимодействие хлорангидридов карбоновых кислот с двухатомными фонолами. 1....

• Диффузия в металлах - Изменение физико-химических свойств материалов путем диффузии

  Диффузией называется процесс перемещения частиц вещества в направлении меньшей его концентрации. В результате диффузии происходит выравнивание состава...

• Химические свойства, Список использованной литературы - Получение, строение и свойства полистирола

  Химические свойства стирола обусловлены высокой реакционной способностью боковой винильной группы. Фенильное ядро затрагивается в процессе термической...

• Свойства и области применения углеродных адсорбентов - Анализ удельной поверхности активированного угля, основанный на использовании метода тепловой десорбции газа-адсорбата (азота) с поверхности в динамических условиях с помощью специального адсорбера, прибора для текстурных измерений "Термосорб" серии М

  Попытаемся дать общее представление о свойствах и применении адсорбентов на примере весьма распространенных углеродных материалов. Углеродные адсорбенты...

• Некоторые свойства мембран для диализа и ультрафильтрации - Методы очистки и получения коллоидных растворов

  Пористые полупроницаемые мембраны, применяемые для диали-за, электродиализа, ультрафильтрации и осмометрии, как правило, не являются инертными чисто...

• Способы получения - Свойства графена

  Кусочки графена получают при механическом воздействии на высокоориентированный пиролитический графит или киш-графит. Сначала плоские куски графита...

• Кремний. Физические и химические свойства кремния, Кремнезем, его свойства и применение. Природные и промышленные силикаты. Их применение в строительстве - Основы химии

  Кремний - элемент главной подгруппы четвертой группы третьего периода периодической системы химических элементов Д. И. Менделеева, с атомным номером 14....

• Получение, Применение - Арены. Толуол

  Известны следующие способы получения ароматических углеводородов. 1) Каталитическая дегидроциклизация алканов, т. е. отщепление водорода с одновременной...

• Свойства фенолформальдегидных смол, Фенопласты. Применение - Фенолформальдегидная смола. Антиоксиданты

  Фенолформальдегидная смола ( Формула [-C6H3(OH)-CH2-]n ) имеет высокую электроизоляционность, хорошую коррозионную и механическую устойчивость. Прекрасно...

• КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ ПРЕПАРАТОВ КАЛИЙ ЙОДАТА - Получение калий йодата и изучение некоторых его свойств

  Неперекристаллизованный препарат, полученный по методике, описанной выше, содержал примесь калий йодида. Это легко обнаруживалось при слабом подкислении...

• Применение спиртов - Химические свойства и характеристики спиртов

  Способность спиртов участвовать в разнообразных химических реакциях позволяет их использовать для получения всевозможных органических соединений:...

• Физические свойства меди. Применение в медицине и в народном хозяйстве - Медь

  Медь -- тяжелый розово-красный металл, мягкий и ковкий, ее температура плавления 1083° С, является отличным проводником электрического тока и теплоты...

• Фуллерен как фоторезист, Фуллереновые добавки для роста алмазных пленок методом CVD - История открытия фуллеренов, их свойства

  Под действием видимого, ультрафиолетового и более коротковолнового излучения фуллерены полимеризуются и в таком виде не растворяются органическими...

• ТЕХНОЛОГИЯ СЕРНОЙ КИСЛОТЫ., ПРИМЕНЕНИЕ СЕРНОЙ КИСЛОТЫ. - Получение серной кислоты

  Среди минеральных кислот, производимых химической промышленностью, серная кислота по объему производства и потребления занимает первое место. Объясняется...

• Способы получения благородных газов - Благородные газы и их свойства

  Благородные газы встречаются в земной коре и атмосфере. Гелий - второй по распространенности элемент во Вселенной, в земной коре содержание гелия...

• Основная часть, Свойства, получение и применение компонентов разделяемой смеси, Анизол - Разработка технологической схемы получения анизола и крезола

  Свойства, получение и применение компонентов разделяемой смеси Анизол C7H8O / С6Н5ОСН3 Молекулярная масса: 108.1 Температура кипения: 155°C Температура...

• ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ИНДИЯ. ПРИМЕНЕНИЕ - Химические элементы главной подгруппы III группы

  В соответствии с электронной конфигурацией атома 4d105s255p1 индий в соединениях проявляет валентность 1, 2 и 3 (преимущественно). На воздухе в твердом...

• Получение, Промывка - Особенности получения и применения золота

  Для получения золота используются его основные физические и химические свойства: присутствие в природе в самородном состоянии, способность реагировать...

• Как делают бумагу в наши дни - Бумага. Классификация бумаги, ее свойства

  Начальным звеном в технологической цепочке изготовления бумаги служит открытый склад древесного сырья, называемый лесной биржей. Такие склады есть у...

• Свойства веществ при низких температурах - Свойства веществ при низких температурах

  Работы в области жидкого гелия представляют интерес в основном потому, что проводятся вблизи абсолютного нуля, т. е. при очень низких температурах. В то...

• Области применения процесса фильтрования - Процесс фильтрования

  Фильтрация находит самое широкое применение в производстве полимеров и эластомеров, пищевых продуктов, минеральных удобрений, органических веществ,...

• Применение - Важнейшие представители полимеров

  В строительной технике полистирол в основном применяют для производства пенополистирола методом поризадии полистирола, в результате чего он получает...

• Электролиз водных растворов солей с активными инертными анодами. Примеры, Закон Фарадея. Применение электролиза в промышленности - Основы химии

  Электролиз - физико-химический процесс, состоящий в выделении на Электродах составных частей растворенных веществ или других веществ, который возникает...

• Получение литиевых сплавов, Получение металлических рубидия и цезия - Металлургия лития, рубидия и цезия

  Получение литиевых сплавов электролизом представляет боль-шой практический интерес: легко осуществляется легирование алюминия, меди, свинца и других...

• Квантовая механика и фуллерен, Гидратированный фуллерен, Фуллерен в качестве материала для полупроводниковой техники - История открытия фуллеренов, их свойства

  В 1999 исследователи из Университета Вены продемонстрировали применимость корпускулярно-волнового дуализма к таким молекулам как фуллерен Гидратированный...

• Процессы окисления. - Методы очистки и получения коллоидных растворов

  Наряду с серой в реакциях окисления обычно образуются политио-новые кислоты, главным образом пентатионовая кислота H2S5O6 Реакции двойного обмена....

• Прагматические свойства информации - Системная революция и принцип дуального управления

  Если семантические свойства информации отражают ситуационный аспект существования системы (осмысленность, оформленность ее бытия), то прагматические...

• Понятие кристаллизации насыщенных растворов и способы получения насыщенных растворов, Понятие кристаллизации - Синтез ацетата натрия ("Горячий лед")

  Понятие кристаллизации Кристаллизамция -- процесс фазового перехода вещества из жидкого состояния в твердое кристаллическое с образованием кристаллов....

• Физические и химические свойства воды - Оценка показателей количественного содержания хрома в реке Москва

  Физические свойства воды. В современной шкале измерений вода принята за эталон по очень многим показателям. Температурой таяния льда является 0 градусов...

Жидкофазная эпитаксия арсенида индия - Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок

Предыдущая | Следующая