Фотолитография и травление, Контроль, Межоперационная очистка - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора
Поместить подложку на столик центрифуги.
Нанести фоторезист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин, время вращения - 1 минута.
Повторить операцию для всех пластин.
Сушить подложки в термостате в течение 15 минут при.
Совместить подложку с фотошаблоном №2, экспонировать в течение 1 минуты.
Приготовить раствор проявителя: 1% KOH, 99% H2O.
Проявить изображение схемы, поместив подложку в держателе в фарфоровую чашку с раствором проявления.
Промыть подложку в потоке дистиллированной воды в течение 1 минуты.
Сушить подложку до полного высыхания струей сжатого воздуха, пропущенного через фильтр "Фасто".
Произвести контроль изображения. Изображение должно быть четким с ровными краями, без разрывов.
Поместить пластину в термостат, дубить в течение 5 минут при.
Извлечь подложку из шкафа и охладить в течение 10 минут в темном месте.
Проверить качество фоторезистивного слоя под микроскопом при 25-кратном увеличении. Слой должен быть гладким, равномерным, глянцевым, без пузырей и отслоений.
Произвести травление алюминия в растворе (6: 4).
Промыть проточной дистиллированной водой в течение 1 минуты.
Проконтролировать качество травления визуально под микроскопом.
Произвести травление хрома в растворе концентрированной соляной кислоты с присадкой Al.
Промыть проточной дистиллированной водой.
Проконтролировать качество проявление визуально под микроскопом.
Удалить фоторезистивную маску в диоксане.
Промыть дистиллированной водой в течение 1 минуты.
Контролировать качество удаления фоторезиста визуально под микроскопом.
При необходимости повторить операцию удаления фоторезиста.
Провести окончательную очистку подложки. Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить 1 минуту, сушить в парах спирта.
Поместить подложки в тару для хранения и транспортировки.
Требования безопасности
- 1. Все работы выполнять в белых халатах шапочках и тапочках. 2. При выполнении данного техпроцесса необходимо выполнять правила по технике безопасности согласно следующим инструкциям:
- А) УЭ0.019.111И "Инструкция по технике безопасности и производственной санитарии для лаборатории и микроэлектроники". Б)"Инструкция по эксплуатации установки проявления фоторезиста ПФ". В)"Инструкция по эксплуатации установки нанесения фоторезиста ПНФ".
Меры предосторожности
- 1. Работать только в перчатках и напальчниках. 2. Проверять исправность приточно-вытяжной вентиляции. 3. Все работы с диоксаном производить в вытяжном шкафу.
Оборудование: Микроскоп тип МБС-1 ТУ3-3.201-71, установка нанесения фоторезиста ПНФ-1, установка сушки и дубления фоторезиста УСДФ-192М2.250.00Ф, шкаф вытяжной 2ШНЖТУ 95.7028-73, весы лабораторные квадратные модели ВЛК-500гТУ 25-06-1101-72, установка совмещения и экспонирования ЭМ-526Я2М2.252.05 ФО, дистиллятор Д-4.
Инструмент: Термометр ртутный стеклянный до 1500С ГОСТ 9871-75, секундомер ГОСТ 5072-72, пинцет МН 500-60.
Оснастка: Фильтр "Факто" УЭ 7887-4165, кассета для подложек УЭ 7893-4411, фторопластовая ванна для травления УЭ 5682-4694.
Материалы: Фоторезист ФН-11 ТУ 6-14-631-71, спирт этиловый ректификованный 1 сорт, диоксан сцинтилляционный ГОСТ 10455-75, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, вода дистиллированная ГОСТ 6709-72, плавиковая кислота ГОСТ 10484-73, перчатки хирургические ГОСТ 3-75, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69, калий едкий чешуированный ТУ 6-18-5О-86, кислота ортофосфорная ГОСТ 6552-80.
Контроль
Контролировать качество полученной структуры под микроскопом МБС-1.
Отбраковывать подложки с дефектами.
Оборудование: Микроскоп МБС-1.
Инструмент: Пинцет МН500-60, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73.
Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73.
Межоперационная очистка
Поместить подложку в посуду с этиловым спиртом, кипятить в течение 5 мин.
Сушить подложку в парах спирта в течении 2-3 мин.
Поместить подложку в тару для хранения и транспортирования.
Оборудование: Электрическая плитка ЭПК-7А ГОСТ 306-69,
Инструмент: Пинцет МН500-60.
Оснастка: Кассета для подложек УЭ 7893-4411, эксикатор 2-250 ГОСТ 6371-73, тара для хранения и транспортирования УЭ 78934412-01, ванна для отмывки УЭ 7893-4380.
Материалы: Спирт этиловый ГОСТ 10157-73, батист отбеленный 1402 1с ГОСТ 8474-64, напальчники резиновые ГОСТ 14681-69.
Похожие статьи
-
Погрузить подложку в раствор с травителем (состав: хромовый ангидрид - 450 г; серная кислота 160 мл; дистиллированная вода - 450 мл). Произвести...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторизист, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500 об/мин,...
-
Поместить подложку на столик центрифуги; Нанести фоторезист ФН-11, включить вакуумный прижим, включить центрифугу. Скорость вращения центрифуги 2500...
-
Изготовление слоя технологических перемычек Напыление слоя Cr-Cu Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации....
-
Визуальный контроль под микроскопом на наличие дефектов (царапин, сколов, пятен, трещин) При наличии дефектов произвести отбраковку. Подложки, прошедшие...
-
Поместить пластину на столик центрифуги Нанести фоторезист (скорость вращения центрифуги 2000 об/мин, время вращения 1 мин); Сушить фоторезистивную...
-
Подложку поместить в ванну с электролитом (состав: 100 гр. сульфосалициловой кислоты C7H6O6S-2H2O, 10 гр. борной кислоты H3BO3, 0,1 гр. уксусной кислоты...
-
Напыление слоя Cr-Al Включить вакуумную установку в соответствии с инструкцией по ее эксплуатации. Подготовить вакуумную камеру к напылению в...
-
Общие положения При работе с подложками пользоваться напальчниками, которые периодически протираются батистом, смоченным спиртом. Спирт хранить в...
-
При установлении нормы времени на выполнение данной операции определяется разряд квалификации работы по тарифно-квалификационному справочнику [2]. В...
-
В качестве заготовки для шестерни используем поковку, изготовленную на горячештамповочном кривошипном прессе. Существует ряд основных принципов...
-
Нанесение защитной пленки диэлектрика (Si02) - Электроника и схемотехника аналоговых устройств
После формирования кремниевой подложки наступает этап создания сложнейшей полупроводниковой структуры. Для этого в кремний нужно внедрить так называемые...
-
Введение - Разработка и исследование алгоритма очистки речевого сигнала
Алгоритм очистка речевой сигнал Записанный или передаваемый по проводным или радиоканалам с помощью различных технических средств, звуковой, в частности,...
-
Микросхема диэлектрический биполярный полупроводниковый Полупроводниковая ИС - это микросхема, которая представляет собой кристалл полупроводника, в...
-
Принципы построения ВОСПИ Оптические волокна производятся разными способами, они обеспечивают передачу оптического излучения на разных длинах волн, имеют...
-
Устройство СИТОВ-1 предназначено для проверки технических характеристик тормоза грузовых вагонов после постройки или ремонта и используется в...
-
На сегодняшний день охранная сигнализация является обязательным атрибутом для всех автомобилей. Поэтому интерес к таким системам постоянно возрастает....
-
Термином оптимальный синтез определяют процесс построения устройства с заданными свойствами, оптимально учитывающий совокупность технико-экономических...
-
В основе развития этого класса методов лежит утверждение, что анализ речи, основанный на модели слуха человека, будет более успешным, чем анализ,...
-
В связи с тем, что питание измерительных приборов осуществляется от сети напряжением 220 В и не исключается возможность одновременного прикосновения...
-
Выходной каскад для согласования с внешней нагрузкой выполнен по схеме эмиттерного повторителя. При этом RН=50 Ом и ток покоя выбирается достаточно...
-
Учитывая все вышеперечисленное, можно сделать вывод, что при коротких линиях аналоговых ВОСПИ для исключения искажений сигнала необходимо использовать...
-
Конструктивные, технологические и эксплуатационные преимущества миниатюрных радиотехнических устройств сопровождаются увеличением диссипативных потерь в...
-
В результате выполнения данной работы была проведена разработка технологического процесса изготовления партии деталей, установлены и рассчитаны: материал...
-
Рассчитываем элементы схемы автогенератора, Расчет ГУНа - Разработка радиопередающего устройства
Для улучшения стабильности частоты целесообразно выбрать контур с высокой добротностью (Qнен - добротность ненагруженного контура ) и большим...
-
Очистка и мойка двигателя автомобиля - обязательная операция, предшествующая его ремонту в любых автосервисах и на станциях техобслуживания. Она во...
-
Технологический анализ чертежа Деталь - колесо зубчатое, изготовляется из легированной стали 45Х ГОСТ 4543-71 (С=0,41% ; Si=0,17% ; Mn=0,5% ; Cr=0,8%),...
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
Припуском на обработку называется слой материала, удаляемый с поверхности заготовки в процессе ее обработки для обеспечения заданного качества детали....
-
Введение - Разработка технологического процесса изготовления зубчатого колеса
Одной из важнейших задач стоящих перед машиностроением, является всемерное повышение технического уровня производства. Решение этой задачи определяется...
-
Классификация основных способов и методов (обеззараживания) воды приведена на Рисунке 1. Рисунок 1 Классификация основных способов и методов...
-
Расчет характеристик НВЛ начинается с введения исходных данных. Оно происходит следующим образом. Сначала вводится тип первого четырехполюсника (всего...
-
В настоящей главе анализируются особенности, свойства и характеристики речевых сигналов. Виды шумов акустических помех и искажений, а так же особенности...
-
При деповском и капитальном ремонте вагонов производится полный осмотр автосцепного устройства. При этом все его съемные узлы и детали независимо от...
-
Пожарная безопасность - Разработка и исследование алгоритма очистки речевого сигнала
Особое внимание к пожарной безопасности является обоснованным, так как в случае пожара будет нанесен значительный материальный ущерб (даже если в...
-
В данной работе разрабатывается микропроцессорная система минимальной конфигурацией, что предполагает использование управляющих сигналов, формируемых...
-
Выбор и обоснование принципиальной схемы предварительного усилителя ФПУ В соответствии со структурной схемой приведенной ранее, ФПУ конструктивно делится...
-
Электробезопасность Электричество широко применяется во всех отраслях народного хозяйства, в быту, в медицине и т. д. Поэтому вопросам...
-
СХЕМА КОНТРОЛЯ ЧЕТНОСТИ (НЕЧЕТНОСТИ) - Цифровые устройства и микропроцессоры
Схема применяется для выявления одиночных ошибок, вызванных помехами в линии связи или в блоках памяти. Метод основан на подсчете числа единиц в...
-
Наименование и марка материала Сумма (руб.) Примечание 1. Материалы, необходимые дляоформлениядокументации 300 Все необходимые материалы принимаются за...
Фотолитография и травление, Контроль, Межоперационная очистка - Разработка технологической инструкции на изготовление устройства барьерного автогенератора